Vacuum 56(2000) 159-172 In the UK,

Vacuum 56(2000) 159-172 In the UK, Teer Coatings Ltd. were quick to recognise the potential of multiple magnetron systems, and, in early 1990s, developed a patented design of commercial and research scale CFUBMS systems[28]. In these, and other similar systems developed elsewhere[8,29], an even number of vertically opposed magnetrons surround the rotating substrate holder. Adjacent magnetrons have opposite magnetic polarities and the field lines are closed As stated above, such systems are capable of transporting high ion currents to the substrate. However, recent developments in magnetron design and the use of high strength rare earth magnets in the magnetic arrays have led to significant further increases in the magnitude of the ion currents drawn at the substrate. Early magnetrons generally made use of ferrite magnets which gave a maximum field strength of the order of 300-500 G at the target surface[27,30]. With improved magnetron design and the introduction of rare earth magnets, field strengths in excess of 1 kG are now obtainable at the

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สูญญากา 56(2000) 159-172 ใน UK, Teer เคลือบ จำกัดได้ตระหนักถึงศักยภาพของการผลิตกล่องจากกระดาษหลายระบบได้รวดเร็ว และ ในช่วงปี 1990 พัฒนาออกแบบสิทธิบัตรเชิงพาณิชย์และระบบวิจัยขนาด CFUBMS [28] เหล่านี้ และระบบอื่น ๆ คล้ายพัฒนาอื่นๆ [8,29], เป็นจำนวนในแนวตั้งโดยเสล้อมรอบตัวหมุนยึดพื้นผิว ติดเสมีขั้วแม่เหล็กตรงข้าม และเส้นปิดตามที่ระบุไว้ข้างต้น ดังกล่าวมีความสามารถในการขนส่งไอออนสูงกระแสกับพื้นผิว อย่างไรก็ตาม การพัฒนาล่าสุดในการผลิตกล่องจากกระดาษออกแบบและการใช้แรงแม่เหล็กโลกที่หายากในอาร์เรย์แม่เหล็กได้นำไปเพิ่มขึ้นต่อไปที่สำคัญขนาดของกระแสไอออนวาดที่พื้นผิว ต้นเสโดยทั่วไปใช้แม่เหล็กเฟอร์ไรท์ซึ่งให้ความแข็งแรงสูงสุดฟิลด์ลำดับ 300-500 กรัมพื้นผิวเป้าหมาย [27,30] ออกแบบผลิตกล่องจากกระดาษดีขึ้นได้ ด้วยและแนะนำของแม่เหล็กโลกที่หายาก ความเข้มเกิน 1 กก.ตอนนี้หาได้ที่นี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เครื่องดูดฝุ่น 56 (2000) 159-172 ในสหราชอาณาจักร Teer เคลือบ จำกัด ได้อย่างรวดเร็วเพื่อตระหนักถึงศักยภาพของระบบแมกหลายและในช่วงปี 1990 การพัฒนาการออกแบบการจดสิทธิบัตรของเชิงพาณิชย์และการวิจัย CFUBMS ระบบ [28] ในเหล่านี้และระบบที่คล้ายกันอื่น ๆ ที่พัฒนาอื่น ๆ [8,29] แม้จำนวน magnetrons ตรงข้ามแนวตั้งล้อมรอบหมุนผู้ถือสารตั้งต้น magnetrons ที่อยู่ติดกันมีขั้วตรงข้ามแม่เหล็กและเส้นสนามที่มีการปิดตามที่ระบุไว้ข้างต้นระบบดังกล่าวมีความสามารถในการขนส่งกระแสไอออนสูงกับพื้นผิว อย่างไรก็ตามความคืบหน้าล่าสุดในการออกแบบแมกและการใช้ความแข็งแรงสูงแม่เหล็กโลกที่หายากในอาร์เรย์แม่เหล็กได้นำไปสู่การเพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญต่อไปในขนาดของกระแสไอออนวาดที่พื้นผิว magnetrons ช่วงต้นทำโดยทั่วไปการใช้แม่เหล็กเฟอร์ไรต์ซึ่งให้ความแรงของสนามสูงสุดของคำสั่งของ 300-500 G ที่พื้นผิวเป้าหมาย [27,30] ด้วยการออกแบบที่ดีขึ้นและแมกแนะนำของแม่เหล็กโลกที่หายากจุดแข็งเขตข้อมูลในส่วนที่เกิน 1 กก. ตอนนี้หาได้ที่

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สูญญากาศ 56 ( 2000 ) 159-172 ในสหราชอาณาจักร เตี้ย เคลือบ จำกัด เป็นอย่างรวดเร็วเพื่อให้รับรู้ศักยภาพของระบบ ตรอนหลายและในช่วงต้นทศวรรษ 1990 พัฒนาสิทธิบัตรการออกแบบ พาณิชย์และการวิจัยระดับ cfubms ระบบ [ 28 ] ในเหล่านี้และที่คล้ายกันอื่น ๆ ระบบที่พัฒนา 8,29 ที่อื่น [ ] , เลขคู่แนวตั้งตรงข้ามสามารถ magnetrons ล้อมรอบหมุนแผ่นยึด ที่อยู่ติดกันสามารถ magnetrons มีขั้วตรงข้ามกับสนามแม่เหล็กเส้นปิดตามที่ระบุข้างต้น ระบบดังกล่าวมีความสามารถในการขนส่งกระแสไอออนสูงเพื่อผิว . อย่างไรก็ตาม การพัฒนาล่าสุดในการออกแบบและการใช้งานของโลหะมีความแข็งแรงสูงแม่เหล็กโลกหายากในอาร์เรย์แม่เหล็กมีไฟ led เพื่อพบการเพิ่มขึ้นในขนาดของไอออนกระแสวาดที่หลากหลาย ต้นสามารถ magnetrons โดยทั่วไปใช้แม่เหล็กเฟอร์ไรท์ที่ให้สูงสุดสนามพลังของ 300-500 กรัมที่พื้นผิว 27,30 [ เป้าหมาย ] ด้วยการปรับปรุงตรอนออกแบบเบื้องต้นของแม่เหล็กโลก จุดแข็งด้านเกิน 1 กก. ตอนนี้หาได้ที่