Low pressure glow discharge plasmas

Low pressure glow discharge plasmas are of great interest in fundamental research as well as in
the microelectronic industry and material technology. But, these plasmas must be contained in
costly air tight enclosures (massive vacuum reactors) making them highly expensive and time
consuming. Also, the density of activated particles is relatively low. Therefore, one of the recent
trends focuses on developing new plasma sources, which operate at atmospheric pressure, but
retain the properties of low pressure media. The economic and operational advantages of
operating at 1 atm have led to the development of a variety of atmospheric plasma sources for
several scientific and industrial applications.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ความดันต่ำเรืองแสงปล่อย plasmas ที่มีความสนใจในงานวิจัยพื้นฐานเช่นในmicroelectronic อุตสาหกรรมและเทคโนโลยีวัสดุ แต่ plasmas เหล่านี้ต้องอยู่ในค่าใช้จ่ายอากาศแน่นเปลือก (เตาปฏิกรณ์ดูดใหญ่) ทำให้มีราคาแพง และเวลาสูงใช้งาน นอกจากนี้ ความหนาแน่นของอนุภาคที่ใช้งานจะค่อนข้างต่ำ ดังนั้น หนึ่งเมื่อเร็ว ๆ นี้แนวโน้มเน้นการพัฒนาแหล่งพลาสม่าใหม่ ที่ทำงานที่ความดันบรรยากาศ แต่รักษาคุณสมบัติของสื่อความดันต่ำ ข้อได้เปรียบทางเศรษฐกิจ และการดำเนินงานของปฏิบัติการที่ 1 atm จะนำไปสู่การพัฒนาของพลาสม่าบรรยากาศแหล่งสำหรับงานวิทยาศาสตร์ และอุตสาหกรรมต่าง ๆ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

พลาสมาความดันเรืองแสงต่ำปล่อยเป็นที่น่าสนใจมากในการวิจัยพื้นฐานเช่นเดียวกับใน
อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์และเทคโนโลยีวัสดุ แต่พลาสมาเหล่านี้จะต้องมีอยู่ใน
เปลือกแน่นอากาศค่าใช้จ่าย (เครื่องปฏิกรณ์ขนาดใหญ่สูญญากาศ) ทำให้พวกเขาราคาแพงมากและใช้เวลา
นาน นอกจากนี้ยังมีความหนาแน่นของอนุภาคเปิดใช้งานค่อนข้างต่ำ ดังนั้นหนึ่งที่ผ่านมา
แนวโน้มมุ่งเน้นการพัฒนาแหล่งพลาสม่าใหม่ซึ่งทำงานที่ความดันบรรยากาศ แต่
ยังคงรักษาคุณสมบัติของสื่อความดันต่ำ ข้อได้เปรียบทางเศรษฐกิจและการดำเนินงานของ
การดำเนินงาน ณ วันที่ 1 ATM ได้นำไปสู่การพัฒนาความหลากหลายของแหล่งที่มาพลาสม่าบรรยากาศสำหรับ
การใช้งานทางวิทยาศาสตร์และหลายอุตสาหกรรม