The multi-chamber has three stack w

The multi-chamber has three stack wafers, which are
fabricated by MEMS techniques. Figure 1 shows the proposed
device schematic with the vertical air gaps. First, the top glass
wafer has etched islands with thermally isolated sensors. This
design is the most key process in our device. Actually, it can
improve sensor reliability without thermal interference.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

หอการค้าหลายมีสามกองรับ ซึ่งเป็นหลังสร้าง โดยเทคนิค MEMS รูปที่ 1 แสดงการนำเสนออุปกรณ์มัน มีช่องว่างอากาศแนวตั้ง แรก แก้วด้านบนแผ่นเวเฟอร์มีสลักเกาะ มีเซ็นเซอร์แยกแพ นี้การออกแบบเป็นกระบวนการสำคัญที่สุดในอุปกรณ์ของเรา จริง สามารถปรับปรุงความน่าเชื่อถือของเซ็นเซอร์โดยไม่รบกวนความร้อน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

หลายห้องมีสามเวเฟอร์สแต็คซึ่งเป็นที่
ประดิษฐ์โดยใช้เทคนิค MEMS รูปที่ 1 แสดงการเสนอ
แผนผังอุปกรณ์ที่มีช่องว่างอากาศแนวตั้ง ก่อนที่กระจกด้านบน
เวเฟอร์ได้ฝังหมู่เกาะที่มีเซ็นเซอร์แยกความร้อน นี้
ออกแบบเป็นกระบวนการที่สำคัญมากที่สุดในอุปกรณ์ของเรา ที่จริงมันสามารถ
ปรับปรุงความน่าเชื่อถือเซ็นเซอร์โดยปราศจากการแทรกแซงทางความร้อน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ห้องอเนกประสงค์ มี 3 กองเวเฟอร์ ซึ่ง
ประดิษฐ์โดยเทคนิค MEMS . รูปที่ 1 แสดงเสนอ
อุปกรณ์วงจรที่มีช่องว่างอากาศแนวตั้ง แรก , เวเฟอร์ กระจกมีรอยเกาะกับแยก
ด้านบนซึ่งเซ็นเซอร์ การออกแบบนี้
เป็นกระบวนการคีย์ที่สุดในอุปกรณ์ของเรา จริงๆ แล้ว มันสามารถปรับปรุงความน่าเชื่อถือของเซนเซอร์ความร้อน
โดยไม่ต้องรบกวน