Various materials were studied to e

Various materials were studied to eliminate cracking of the thin film step edge structure during the fabrication of AlN sensors, as schematically shown in Fig. 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วัสดุต่าง ๆ ได้ศึกษาเพื่อกำจัดถอดโครงสร้างฟิล์มบางขั้นตอนขอบระหว่างการผลิตของ AlN เซ็นเซอร์ แสดงเป็น schematically ใน Fig. 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

วัสดุต่าง ๆ มีการศึกษาที่จะกำจัดการแตกของฟิล์มบางขั้นตอนโครงสร้างขอบในระหว่างการผลิตของเซ็นเซอร์ ALN ดังแสดงในรูปแผนผัง 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

วัสดุต่าง ๆศึกษาเพื่อลดการแตกร้าวของโครงสร้างบางขั้นตอนในระหว่างการผลิตฟิล์มขอบของ ALN เซ็นเซอร์ เป็นแผนผังที่แสดงในรูปที่ 1