The sensor requirements of a nanopo

The sensor requirements of a nanopositioning system are among the most demanding of any control system. The sensors must be compact, high-speed, immune to environmental variation, and able to resolve position down to the atomic scale. In many applications,such as atomic force microscopy [1,2] or nanofabrication [3,4], the performance of the machine or process is primarily dependent on the performance of the position sensor, thus, sensor optimization is a foremost consideration.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ความต้องการของระบบเซ็นเซอร์ nanopositioning เป็นหนึ่งในความต้องการมากที่สุดของระบบการควบคุมใด ๆ เซ็นเซอร์จะต้องมีขนาดกะทัดรัดความเร็วสูงมีภูมิคุ้มกันต่อการเปลี่ยนแปลงสิ่งแวดล้อมและสามารถแก้ไขตำแหน่งลงไปในระดับอะตอม ในการใช้งานเป็นจำนวนมากเช่นการใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม [1,2] nanofabrication หรือ [3,4],ประสิทธิภาพการทำงานของเครื่องหรือกระบวนการเป็นหลักขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพการทำงานของเซ็นเซอร์ตำแหน่งดังนั้นการเพิ่มประสิทธิภาพการเซ็นเซอร์คือการพิจารณาที่สำคัญที่สุด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความต้องการเซ็นเซอร์ของระบบ nanopositioning ในการเรียกร้องมากที่สุดของระบบการควบคุมได้ เซนเซอร์ต้องมีขนาด ความเร็วสูง ภูมิคุ้มกันการเปลี่ยนแปลงสิ่งแวดล้อม และสามารถแก้ไขตำแหน่งจนถึงระดับอะตอม ในโปรแกรมประยุกต์มากมาย เช่นแรงอะตอม microscopy [1, 2] หรือ nanofabrication [3, 4], ประสิทธิภาพของเครื่องจักรหรือกระบวนการเป็นหลักขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพของเซนเซอร์ตำแหน่ง ดังนั้น เซ็นเซอร์ปรับให้เหมาะสมเป็นปัจจัยสำคัญ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ความต้องการของระบบเซ็นเซอร์ที่ nanopositioning ที่อยู่ท่ามกลางความต้องการอย่างสูงสุดของระบบการควบคุมใดๆ เซนเซอร์ได้จะต้องมีขนาดกะทัดรัดความเร็วสูงทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงทางด้านสิ่งแวดล้อมและมีความสามารถในการแก้ปัญหาตำแหน่งลงไปในการขยายขนาดปรมาณู ในแอปพลิเคชันจำนวนมากเช่นการตรวจวิเคราะห์สารเคมีมีผลใช้บังคับปรมาณู[ 1,2 nanofabrication ]หรือ[ 3.4 ]ประสิทธิภาพ การทำงานของกระบวนการหรือเครื่องที่มีเป็นหลักขึ้นอยู่กับ ประสิทธิภาพ การทำงานของเซนเซอร์ตรวจวัดตำแหน่งที่ทำให้การปรับแต่งเป็นเซนเซอร์ที่พิจารณามาก่อน