ZnO thin films have been prepared u

ZnO thin films have been prepared using several deposition techniques such as pulsed laser deposition [9],
magnetron sputtering [10], spray pyrolysis [11], and sol–gel [12]. Compared to others techniques, spray pyrolysis is
simple, non-vacuum and inexpensive method. Moreover, it is useful for producing large scale films. The quality and
physical properties of films prepared using the spray pyrolysis technique depend on different deposition and postdeposition
conditions such as the nature and concentration of precursor, substrate temperature, spray rate, nozzle to
substrate distance, pressure of carrier gas, and annealing. In these parameters, substrate temperature usually plays a
crucial role in growth of ZnO films. It has been revealed that these conditions have a significant effect on properties
of ZnO based TCO films.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มีการเตรียมฟิล์มบางของ ZnO ใช้เทคนิคการสะสมหลายเช่นเลเซอร์พัลสะสม [9],magnetron พ่น [10], สเปรย์ไพโรไลซิ [11], และโซลเจล [12] เมื่อเทียบกับผู้อื่นเป็นเทคนิค สเปรย์ไพโรไลซิวิธีง่าย ไม่ดูด และราคาไม่แพง นอกจากนี้ มันมีประโยชน์สำหรับการผลิตฟิล์มขนาดใหญ่ คุณภาพ และคุณสมบัติทางกายภาพของฟิล์มที่ใช้เทคนิคสเปรย์ไพโรไลซิพึ่งสะสมแตกต่างกันและ postdepositionสภาพธรรมชาติและความเข้มข้นของสารตั้งต้น อุณหภูมิพื้นผิว อัตราสเปรย์ หัวฉีดไปห่างจากพื้นผิว แรงกดดันของผู้ขนส่งก๊าซ และการอบเหนียว ในพารามิเตอร์เหล่านี้ อุณหภูมิพื้นผิวมักจะเล่นเป็นบทบาทสำคัญในการเจริญเติบโตของฟิล์ม ZnO มันได้รับการเปิดเผยว่า เงื่อนไขเหล่านี้มีผลสำคัญในคุณสมบัติของ ZnO ใช้ฟิล์มโดย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์เตรียมโดยใช้เทคนิคต่างๆเช่นการสะสมของเลเซอร์ [ 9 ] ,
แมกนีตรอนสปัตเตอริง [ 10 ] สเปรย์ไพโรไลซีส [ 11 ] และโซล - เจล [ 12 ] เมื่อเปรียบเทียบกับเทคนิคอื่น สเปรย์ไพโรไลซีสคือ
ง่ายสูญญากาศไม่และวิธีการที่ไม่แพง นอกจากนี้ยังเป็นประโยชน์สำหรับการผลิตภาพยนตร์ขนาดใหญ่ คุณภาพและ
สมบัติทางกายภาพของฟิล์มที่เตรียมได้โดยใช้เทคนิคสเปรย์ไพโรไลซีส ขึ้นอยู่กับการสะสมที่แตกต่างกันและ postdeposition
เงื่อนไขเช่นธรรมชาติและความเข้มข้นของ สารตั้งต้น อุณหภูมิ อัตราฉีดพ่นพื้นผิว , หัวฉีด

( ระยะทาง ความดันของแก๊สตัวพา และการอบ . ในพารามิเตอร์เหล่านี้ อุณหภูมิพื้นผิวมักจะเล่นเป็นบทบาทสำคัญในการเจริญเติบโตของซิงค์ออกไซด์ฟิล์มมันได้รับการเปิดเผยว่า เงื่อนไขเหล่านี้จะมีผลต่อคุณสมบัติของฟิล์ม ZnO โดย
ภา .