The stability and accuracy of the m

The stability and accuracy of the measurements are compared with
those from a commercial incremental laser interferometer. The drifts of both systems have
the same tendency and a maximum difference is approximately 0.1 lm

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ความมั่นคงและความถูกต้องของการวัดเปรียบเทียบกับผู้จาก interferometer เลเซอร์เชิงพาณิชย์เพิ่มขึ้น Drifts ทั้งระบบได้แนวโน้มเดียวกันและความแตกต่างสูงสุดคือประมาณ 0.1 lm

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความมั่นคงและความถูกต้องของการวัดจะถูกเมื่อเทียบกับผู้ที่มาจากอินเทอร์เลเซอร์ที่เพิ่มขึ้นในเชิงพาณิชย์ ลอยของทั้งสองระบบมีแนวโน้มที่เหมือนกันและแตกต่างกันสูงสุดจะอยู่ที่ประมาณ 0.1 ไมครอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เสถียรภาพและความถูกต้องของการวัดเปรียบเทียบกับ
เหล่านั้นจากอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์เพิ่มการค้า การลอยของทั้งสองระบบมี
แนวโน้มเดียวกันและความแตกต่างสูงสุดประมาณ 0.1 โดย