Projection lithography using a liqu

Projection lithography using a liquid crystal display (LCD) panel in place of a reticle is expected as a low-
cost reticleless patterning method. However, because LCD had high bright and dark contrasts only in the

wavelength range of longer than 440 nm, thick resists sensitive to ultra violet light were not applicable.

To break this inconvenience, new pattern transfer process was developed. In the new process, tri-layer

composition of OFPR 800, aluminum film and SU-8 were formed. Top-layer OFPR 800 was patterned

using LCD projection lithography without any baking but using the vacuum treatment, and the occur-
rences of wrinkles and cracks of the aluminum films in the conventional processes were completely pre-
vented. It was also verified that the formed patterns were available for electroplating molds, and nickel

micro-parts were fabricated.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ภาพพิมพ์หินฉายภาพที่ใช้แผงผลึกเหลว (LCD) แสดงแทน reticle คาดว่าเป็นต่ำต้นทุนวิธี reticleless patterning อย่างไรก็ตาม เพราะ LCD มีสูง สว่าง และมืดตัดเฉพาะในการช่วงความยาวคลื่นเกินกว่า 440 nm หนาพยายามขัดขวางความไวต่อแสงอุลตร้าไวโอเลทไม่สามารถใช้การนี้ มีพัฒนากระบวนการถ่ายโอนรูปแบบใหม่ ในกระบวนการใหม่ ชั้นตรีส่วนประกอบของ OFPR 800 อลูมิเนียมฟิล์ม และ SU-8 ก็เกิดขึ้น 800 OFPR ชั้นด้านบนมีลวดลายใช้ LCD ฉายภาพพิมพ์หินโดยไม่ต้องมีอบ แต่ใช้รักษาสิว occur-rences ของริ้วรอยและรอยแตกของฟิล์มอะลูมิเนียมในกระบวนการปกติได้อย่างสมบูรณ์ก่อนvented ยังจะถูกตรวจสอบว่า รูปแบบถูกต้องได้สำหรับแม่พิมพ์ไฟฟ้า และนิกเกิลส่วนไมโครได้หลังสร้าง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การฉายภาพพิมพ์หินโดยใช้จอแสดงผลคริสตัลเหลว (LCD)
แผงในสถานที่ของเส้นเล็งคาดว่าเป็นต่ำค่าใช้จ่ายreticleless วิธีการบรรเลง แต่เนื่องจากจอแอลซีดีมีสูงสดใสและความแตกต่างที่มืดได้เฉพาะในช่วงความยาวคลื่นนานกว่า 440 นาโนเมตรหนาทนทานต่อความไวต่อแสงสีม่วงเป็นพิเศษไม่ได้บังคับ. ที่จะทำลายความไม่สะดวกนี้ขั้นตอนการโอนรูปแบบใหม่ที่ได้รับการพัฒนา ในกระบวนการใหม่สามชั้นองค์ประกอบของ OFPR 800, ฟิล์มอลูมิเนียมและ SU-8 กำลังก่อตัวขึ้น ชั้นบนสุด OFPR 800 ถูกลวดลายโดยใช้การพิมพ์หินฉายแอลซีดีโดยไม่ต้องอบใดๆ แต่การใช้การรักษาสูญญากาศและ occur- rences ของริ้วรอยและรอยแตกของภาพยนตร์อลูมิเนียมในกระบวนการแบบเดิมได้อย่างสมบูรณ์ก่อนระบาย มันได้รับการตรวจสอบแล้วว่ารูปแบบที่เกิดขึ้นมีอยู่สำหรับแม่พิมพ์ไฟฟ้าและนิกเกิลชิ้นส่วนขนาดเล็กได้รับการประดิษฐ์