shows an observed SEM secondary ele

shows an observed SEM secondary electron image obtained from a specimen for astigmatism correction. The image restored by the accelerated RL is shown in Fig. 7(b) and that restored by the accelerated SRP in Fig. 7(c). The line profiles are taken at the same position as indicated by the line AB in Fig. 7(a). The beam intensity distribution in this experiment estimated with the electro-optical simulator under corresponding imaging condition was used as PSF. The image was reconstructed with five iterations for both algorithms. The image restored with the RL (Fig. 7(b)) has more improved edge sharpness than the observed image. In contrast, the image restored with the SRP (Fig. 7(c)) has additional improvements in sharpness and has excellent resolution , which can be especially seen in the dotted circles depicted in the line profile of Fig. 7(c). Note that the raised areas of the specimen, i.e., areas near the sharp edges, are generally much brighter than the flat areas in the SEM secondary electron images, which is called the edge effect. The edge effect can clearly be seen in the image restored with the SRP, while it is difficult to identify this in the observed image.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แสดงสังเกต SEM อิเล็กตรอนรองภาพได้จากตัวอย่างในการแก้ไขสายตาเอียง มีแสดงรูปภาพที่เรียกคืนจาก RL เร่ง Fig. 7(b) และที่เรียกคืนจาก SRP เร่งใน Fig. 7(c) โพรไฟล์บรรทัดจะถ่ายที่ตำแหน่งเดียวกันตามที่ระบุ โดยเส้น AB ใน Fig. 7(a) การกระจายความเข้มแสงในการประเมิน ด้วยการจำลองออปติคอลจี้ภายใต้เงื่อนไขที่เกี่ยวข้องเกี่ยวกับภาพการทดลองนี้ถูกใช้เป็น PSF. ภาพถูกเชิด ด้วยซ้ำห้าสำหรับอัลกอริทึมทั้งสอง รูปที่คืนค่า ด้วย RL (Fig. 7(b)) ได้มากขึ้นดีขึ้นขอบคมชัดกว่าภาพที่สังเกต ในทางตรงกันข้าม ภาพคืน ด้วยการ SRP (Fig. 7(c)) ได้ปรับปรุงเพิ่มเติมในความคมชัด และมีความละเอียดดี ซึ่งโดยเฉพาะอย่างยิ่งจะเห็นได้ในวงกลมจุดที่แสดงในรายการส่วนกำหนดค่าของ Fig. 7(c) หมายเหตุพื้นที่ยกตัวอย่าง เช่น พื้นที่ใกล้ขอบคม ใช้โดยทั่วไปมากยิ่งกว่าพื้นที่ราบในภาพอิเล็กตรอนรอง SEM ซึ่งเรียกว่าลักษณะขอบ ลักษณะขอบชัดเจนสามารถดูได้ในรูปที่คืนค่า ด้วย SRP ในขณะที่ระบุนี้ในรูปสังเกตยาก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แสดงให้เห็นถึงการสังเกตภาพอิเล็กตรอน SEM รองที่ได้รับจากตัวอย่างสำหรับการแก้ไขสายตาเอียง ภาพบูรณะโดย RL เร่งแสดงในรูป 7 (ข) และการบูรณะโดย SRP เร่งในรูป 7 (c) โปรไฟล์สายให้ดำเนินการในตำแหน่งเดียวกันตามที่ระบุโดยสาย AB ในรูป 7 (ก) การกระจายความเข้มแสงในการทดลองนี้มีประมาณจำลองไฟฟ้​​าแสงภายใต้เงื่อนไขที่สอดคล้องกันในการถ่ายภาพที่ใช้เป็นตารางฟุต ภาพที่ถูกสร้างขึ้นกับห้าซ้ำสำหรับขั้นตอนวิธีการทั้งสอง ภาพการบูรณะด้วย RL (รูปที่ 7. (ข)) มีความคมชัดขอบที่ดีขึ้นกว่าภาพที่สังเกต ในทางตรงกันข้ามการบูรณะภาพกับ SRP (รูปที่ 7. (c)) มีการปรับปรุงเพิ่มเติมในความคมชัดและมีความละเอียดที่ยอดเยี่ยมซึ่งสามารถมองเห็นได้โดยเฉพาะอย่างยิ่งในวงการประปรากฎในรายละเอียดของเส้นรูป 7 (c) โปรดทราบว่าพื้นที่ยกตัวอย่างเช่นพื้นที่ใกล้ขอบคมที่มักจะมีความสว่างมากกว่าพื้นที่ราบในภาพอิเล็กตรอน SEM รองซึ่งเรียกว่าผลกระทบที่ขอบ ผลขอบอย่างชัดเจนสามารถมองเห็นได้ในภาพการบูรณะด้วย SRP ในขณะที่มันเป็นเรื่องยากที่จะระบุในภาพที่สังเกต

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แสดงภาพ SEM รองอิเล็กตรอน สังเกตได้จากตัวอย่างสำหรับการแก้ไขสายตาเอียง ภาพการบูรณะโดยเร่ง RL จะแสดงในรูปที่ 7 ( b ) และการบูรณะ โดยเร่ง SRP ในรูปที่ 7 ( C ) บรรทัดที่มีโปรไฟล์ที่ถ่ายที่ตำแหน่งเดียวกัน ( เส้น AB ในรูปที่ 7 ( )ลำแสงความเข้มกระจายในการทดลองนี้ประมาณกับ electro-optical จำลองภายใต้เงื่อนไขที่สามารถใช้เป็น PSF . ภาพที่ถูกสร้างขึ้นด้วยซ้ำ ทั้ง 5 วิธี ภาพการบูรณะกับ RL ( รูปที่ 7 ( ข ) มีการปรับปรุงความคมชัดกว่าและขอบภาพ ในทางตรงกันข้าม , ภาพเรียกคืนกับ SRP ( ฟิค7 ( C ) มีการปรับปรุงเพิ่มเติมในความคมชัดและมีความละเอียดที่ยอดเยี่ยมซึ่งสามารถโดยเฉพาะอย่างยิ่งเห็นในจุดวงกลมที่กล่าวถึงในบรรทัดโปรไฟล์ของรูปที่ 7 ( C ) หมายเหตุที่ยกพื้นที่ของชิ้นงาน เช่น บริเวณใกล้ขอบคม โดยทั่วไปจะสว่างมากเกินกว่าพื้นที่ที่ราบใน SEM รองอิเล็กตรอนภาพซึ่งเรียกว่าผลกระทบขอบ .ขอบผลอย่างชัดเจนสามารถเห็นภาพการบูรณะกับ SRP ในขณะที่มันเป็นเรื่องยากที่จะระบุในลักษณะภาพ