The estimated depth resolution when

The estimated depth resolution when using 16 keV Cs+ ions for the primary ion beam was approximately 15 nm

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ความลึกโดยประมาณเมื่อใช้ 16 keV Cs + ประจุสำหรับคานไอออนหลักมีประมาณ 15 นาโนเมตร

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความละเอียดระดับความลึกประมาณเมื่อใช้ไอออน 16 เคฟ Cs + สำหรับลำแสงไอออนหลักประมาณ 15 นาโนเมตร

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การประมาณความลึกความละเอียดเมื่อใช้ 16 เคฟ CS ไอออนสำหรับไอออนเบื้องต้นประมาณ 15 nm