pro- posed a surface film growth model to investigate the ALD film growth as a function of various process parameters. These models can fundamentally reveal ALD process on the substrate surface and the related chemical kinetics
โปรวางรูปแบบพื้นผิวการเจริญเติบโต Fi LM ในการตรวจสอบการเจริญเติบโต LM ALD Fi เป็นหน้าที่ของพารามิเตอร์กระบวนการต่างๆ รุ่นพื้นฐานเหล่านี้สามารถที่จะเปิดเผยกระบวนการมรกตบนพื้นผิวพื้นผิวและจลนพลศาสตร์เคมีที่เกี่ยวข้อง