pro- posed a surface film growth mod

pro- posed a surface film growth model to investigate the ALD film growth as a function of various process parameters. These models can fundamentally reveal ALD process on the substrate surface and the related chemical kinetics

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โปร - อึ้งแบบ film ผิวเจริญเติบโตสืบ ALD film เจริญเติบโตเป็นฟังก์ชันของพารามิเตอร์กระบวนการต่าง ๆ โมเดลเหล่านี้สามารถเปิดเผยภาระ ALD ระหว่างพื้นผิวของพื้นผิวและจลนพลศาสตร์เคมีที่เกี่ยวข้อง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

โปรวางรูปแบบพื้นผิวการเจริญเติบโต Fi LM ในการตรวจสอบการเจริญเติบโต LM ALD Fi เป็นหน้าที่ของพารามิเตอร์กระบวนการต่างๆ รุ่นพื้นฐานเหล่านี้สามารถที่จะเปิดเผยกระบวนการมรกตบนพื้นผิวพื้นผิวและจลนพลศาสตร์เคมีที่เกี่ยวข้อง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โปร - วางพื้นผิวจึง LM การพัฒนาแบบจำลองเพื่อศึกษาการถ่ายทอด ald LM เป็นฟังก์ชันของพารามิเตอร์ในกระบวนการต่าง ๆ โมเดลเหล่านี้สามารถช่วยเปิดเผยกระบวนการ ald บนพื้นผิวพื้นผิวและเกี่ยวข้องทางเคมีจลนศาสตร์