In addition to the surface reaction

In addition to the surface reaction kinetics, the ALD process also includes the continuous precursor gas transport in the reactor chamber. To capture the detailed process dynamics, the momen- tum, mass and energy transport of gas species need to be coupled with the surface chemical processes. Since the operating tempera- ture of the reactor chamber is maintained at a constant value, in this study, we assume that the energy variation during the ALD operation is negligible, and then an isothermal condition is employed. According to the geometry of Cambridge NanoTech Savannah S100 system, a two-dimensional geometry is applied in the modeling, where the Navier–Stokes equations for compressible fluid flow are applied to describe the momentum conservation in the ALD reactor [18],

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

นอกจากจลนพลศาสตร์ปฏิกิริยาผิว ALD กระบวนการรวมการขนส่งก๊าซสารตั้งต้นอย่างต่อเนื่องในห้องเครื่องปฏิกรณ์ด้วย การจับภาพการเปลี่ยนแปลงรายละเอียดกระบวนการ momen-ตุ่ม ขนส่งมวลและพลังงานของแก๊สชนิดต้องสามารถควบคู่ไปกับกระบวนการเคมีพื้นผิว ตั้งแต่อุณหภูมิ-ture ปฏิบัติของห้องเครื่องปฏิกรณ์เป็นแบบคงที่ค่าคง ในการศึกษานี้ เราสมมติว่า การเปลี่ยนแปลงพลังงานในระหว่างการดำเนินงาน ALD เป็นระยะ แล้ว จ้างเงื่อนไขการ isothermal ตามรูปทรงเรขาคณิตของระบบเคมบริดจ์ NanoTech สวันนาห์ S100 เรขาคณิตสองมิติจะใช้ในการสร้างโมเดล ที่ Navier-สโตกส์สมการ flow fluid อัดตัวได้มีใช้เพื่ออธิบายการอนุรักษ์โมเมนตัมในเครื่องปฏิกรณ์ ALD [18],

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

นอกจากปฏิกิริยาจลนพลศาสตร์พื้นผิวกระบวนการมรกตยังมีอย่างต่อเนื่องขนส่งก๊าซสารตั้งต้นในห้องปฏิกรณ์ การจับภาพการเปลี่ยนแปลงของกระบวนการรายละเอียดตูมมวลและพลังงานการขนส่ง momen- ชนิดก๊าซจะต้องควบคู่ไปกับพื้นผิวกระบวนการทางเคมี เนื่องจากการดำเนินงานที่อุณหภูมิข้อมูล ture ของห้องปฏิกรณ์จะคงที่ค่าคงที่ในการศึกษาครั้งนี้เราคิดว่าการเปลี่ยนแปลงพลังงานในระหว่างการดำเนิน ALD เป็นเล็กน้อยแล้วสภาพ isothermal เป็นลูกจ้าง ตามรูปทรงเรขาคณิตของระบบเคมบริดจ์ NanoTech วานนาห์ S100, เรขาคณิตสองมิติที่นำมาใช้ในการสร้างแบบจำลองที่ Navier-Stokes สมการอัดชั้น UID ชั้นโอ๊ยถูกนำมาใช้ในการอธิบายถึงการอนุรักษ์โมเมนตัมในเครื่องปฏิกรณ์มรกต [18]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

นอกจากผิวปฏิกิริยาจลนศาสตร์กระบวนการ ald ยังรวมถึงสารตั้งต้นก๊าซขนส่งต่อเนื่องในเครื่องปฏิกรณ์หอ จับพลวัตกระบวนการรายละเอียด มัว - ตูม มวลและพลังงานในการขนส่งของชนิดก๊าซต้องคู่กับพื้นผิวทางเคมี กระบวนการ ตั้งแต่ใช้สีฝุ่น - ture ของเครื่องปฏิกรณ์หอเป็นที่เก็บรักษามูลค่า คงที่ในการศึกษานี้เราสมมติว่า พลังงานการเปลี่ยนแปลงในระหว่างงาน ald กระจอกแล้ว สภาวะคงที่คือลูกจ้าง ตามเรขาคณิตของระบบ s100 Savannah นาโนเทคเคมบริดจ์ เรขาคณิตแบบสองมิติที่ใช้ในการสร้างโมเดลที่นักพากย์สำหรับอัดfl uid flโอ๊ยจะใช้เพื่ออธิบายการอนุรักษ์โมเมนตัมในเครื่องปฏิกรณ์ ald [ 18 ]