4. ConclusionIn summary, the growth

4. Conclusion

In summary, the growth of AlN/GaN/AlN heterostruc-
tures on silicon substrate has been successfully performed
using plasma-assisted MBE. The microstructures and opti-
cal properties of the sample have been revealed by using
HR-XRD, photoluminescence, Raman, TEM, SAED, DF STEM
and HAADF STEM. XRD spectrum confirmed that the
sample was hexagonal structure. Raman spectrum showed
all four Raman-active modes inside the sample. The MSM
UV photodetector fabricated on AlN/GaN/AlN heterostruc-
tures has also been presented. A good photoresponse
result indicates that the device can detect UV light to
produce photo-current response.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

4. บทสรุปในสรุป การเจริญเติบโตของ AlN/ย่าน/AlN heterostruc-ดำเนินการ tures บนพื้นผิวซิลิกอนที่เรียบร้อยแล้ว ใช้พลาสม่าช่วย MBE Microstructures กับ opti-cal คุณสมบัติของตัวอย่างได้รับการเปิดเผยโดย HR-XRD, photoluminescence รามัน ยการ SAED ก้าน DF และ ก้าน HAADF สเปกตรัม XRD ยืนยันว่า การ ตัวอย่างโครงสร้างหกเหลี่ยมได้ พบสเปกตรัมรามัน รามันใช้งานสี่ทุกโหมดภายในตัวอย่าง MSM หลังสร้างบน AlN/ย่าน/AlN heterostruc - photodetector UVนอกจากนี้ยังได้ถูกนำเสนอ tures Photoresponse ดี ผลลัพธ์บ่งชี้ว่า อุปกรณ์สามารถตรวจจับแสง UV ผลิตตอบสนองภาพปัจจุบัน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

4. สรุปในการสรุปการเจริญเติบโตของ ALN / กาน / ALN heterostruc- Tures บนพื้นผิวซิลิกอนได้รับการดำเนินการประสบความสำเร็จในการใช้พลาสม่า MBE ช่วย จุลภาคและปรับปรุงคุณสมบัติ cal ของกลุ่มตัวอย่างที่ได้รับการเปิดเผยโดยใช้HR-XRD, สเซนต์, รามัน TEM, SAED, DF STEM และ STEM HAADF สเปกตรัม XRD ยืนยันว่ากลุ่มตัวอย่างที่เป็นโครงสร้างหกเหลี่ยม สเปกตรัมรามันแสดงให้เห็นว่าทั้งสี่โหมดรามันใช้งานภายในตัวอย่าง MSM photodetector UV ประดิษฐ์ใน ALN / กาน / ALN heterostruc- ตูเรสยังได้รับการเสนอ photoresponse ดีผลการวิจัยพบว่าอุปกรณ์ที่สามารถตรวจจับแสงยูวีที่จะผลิตการตอบสนองภาพปัจจุบัน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

4 . สรุป

สรุปแล้ว การเจริญเติบโตของ ALN / กัน / ALN heterostruc -
ตูเรสซิลิคอนได้ดำเนินการ
ใช้พลาสมาช่วย MBE . โครงสร้าง และ OPTI -
แคลคุณสมบัติของตัวอย่างที่ได้รับการเปิดเผยโดยการใช้แบบ hr-xrd
, ,
saed รามัน , เต็ม , ต้น , df haadf และก้าน วิเคราะห์สเปกตรัมยืนยันว่า
ตัวอย่างโครงสร้างหกเหลี่ยม รามานสเปกตรัมพบ
ทั้งหมดสี่รามันโหมดการใช้งานภายในตัวอย่าง MSM
ยูวีโฟโตดีเทกเตอร์ฟิล์ม ALN / กัน / ALN heterostruc -
ตูเรส ยังได้รับการเสนอ ผล photoresponse
ดีแสดงว่าอุปกรณ์ที่สามารถตรวจจับแสงยูวี เพื่อผลิตกระแสตอบรับภาพ

.