Macro–micro motion stage is mainly

Macro–micro motion stage is mainly applied in microelectronics manufacturing to realize a high-acceleration, high-speed and nano-positioning motion. The high acceleration and nano-positioning accuracy would be influenced by the vibration of the motion stage. In the paper, a concept of floating stage is introduced in the macro–micro motion for isolating vibration disturbances. The design model of the floating stage is established and its theoretical analyses including natural frequency, transient and frequency response analyses are investigated, in order to demonstrate the feasibility of the floating stator platform as a vibration isolator for the macro–micro motion stage. Moreover, an optimal design of the floating stator is conducted and then verified by experiments. In order to characterize and quantify the performance of isolation obtained from the traditional fixed stator and the floating stator, the acceleration responses at different accelerations, speeds and displacements are measured in x, y and z directions. The theoretical and experimental analyses in time and frequency domains indicate that the floating stator platform is effective to actively isolate the vibration in the macro–micro motion stage.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ระยะเคลื่อนไหวแม – ไมโครใช้เป็นหลักในการรับรู้การเคลื่อนไหวสูงเร่ง ความเร็วและ และ ตำแหน่งนาโนไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เร่งความเร็วสูงและความแม่นยำของตำแหน่งนาโนจะได้รับผลกระทบจากการสั่นของระยะการเคลื่อนไหว ในกระดาษ แนวคิดของเวทีลอยถูกนำมาใช้ในการเคลื่อนไหวแม – ไมโครสำหรับการแยกการสั่นสะเทือนรบกวน สร้างเวทีลอยรุ่นออกแบบ และการวิเคราะห์ทฤษฎีรวมทั้งความถี่ธรรมชาติ ชั่วคราวและการวิเคราะห์การตอบสนองความถี่มีการตรวจ สอบ เพื่อแสดงให้เห็นถึงความเป็นไปได้ของสเตเตอร์ลอยตัวเป็นการสั่นสะเทือนจาก isolator ขั้นเคลื่อนไหวแม – ไมโคร นอกจากนี้ การดีไซน์ของสเตเตอร์ลอยเป็นดำเนินการ และจากนั้น ตรวจสอบ โดยการทดลอง ลักษณะ และปริมาณการแยกได้จากความคงที่สเตเตอร์และสเตเตอร์ลอย เร่งการตอบสนองที่แตกต่างเร่ง ความเร็วและ displacements วัดใน x, y และ z วิเคราะห์ทางทฤษฎี และการทดลองในโดเมนเวลาและความถี่บ่งชี้ว่า แพลตฟอร์มสเตเตอร์ลอยประสิทธิภาพกำลังแยกการสั่นสะเทือนในเวทีเคลื่อนไหวแม – ไมโคร

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ขั้นตอนการเคลื่อนไหวมหภาคไมโครถูกใช้เป็นหลักในการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ตระหนักถึงสูงเร่งความเร็วสูงและนาโนวางตำแหน่งการเคลื่อนไหว สูงเร่งความเร็วและนาโนตำแหน่งความถูกต้องจะได้รับอิทธิพลจากการสั่นสะเทือนของขั้นตอนการเคลื่อนไหว ในกระดาษที่เป็นแนวคิดของเวทีลอยนำมาใช้ในการเคลื่อนไหวมหภาคขนาดเล็กสำหรับการแยกการรบกวนการสั่นสะเทือน รูปแบบการออกแบบของเวทีลอยมีการจัดตั้งและการวิเคราะห์เชิงทฤษฎีรวมทั้งความถี่ธรรมชาติ, การวิเคราะห์การตอบสนองความถี่ชั่วคราวและจะถูกตรวจสอบเพื่อที่จะแสดงให้เห็นถึงความเป็นไปได้ของแพลตฟอร์มสเตเตอร์ลอยเป็น isolator สั่นสะเทือนสำหรับขั้นตอนการเคลื่อนไหวมหภาคไมโคร นอกจากนี้ยังมีการออกแบบที่ดีที่สุดของสเตเตอร์ลอยจะดำเนินการและตรวจสอบโดยการทดลองแล้ว เพื่อที่จะแสดงลักษณะและปริมาณผลการดำเนินงานของการแยกที่ได้รับจากสเตเตอร์คงที่แบบดั้งเดิมและสเตเตอร์ลอย, การตอบสนองการเร่งความเร็วในการเร่งความเร็วที่แตกต่างกันและความเร็วในการเคลื่อนที่ที่วัดใน X, Y และ Z ทิศทาง การวิเคราะห์ทางทฤษฎีและการทดลองในเวลาและความถี่โดเมนระบุว่าแพลตฟอร์มสเตเตอร์ลอยมีประสิทธิภาพในการแข็งขันแยกการสั่นสะเทือนในขั้นตอนการเคลื่อนไหวมหภาคไมโคร

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แมโครและไมโครเคลื่อนไหวขั้นตอนส่วนใหญ่ใช้ในการผลิตและการตระหนักถึงความเร่งสูง ความเร็วสูง และนาโนเคลื่อนไหวตำแหน่ง อัตราเร่งสูง และนาโน ความถูกต้องตำแหน่งจะได้รับอิทธิพลจากการสั่นสะเทือนของการเคลื่อนไหวบนเวที ในกระดาษ แนวคิดของเวทีลอยมาใช้ในแมโครและไมโครเคลื่อนไหวเพื่อแยกตัวรบกวนการสั่นสะเทือน การออกแบบรูปแบบของเวทีลอยตั้งขึ้นและวิเคราะห์เชิงทฤษฎี รวมถึงความถี่ธรรมชาติและวิเคราะห์การตอบสนองความถี่ มาตรวจสอบ เพื่อแสดงให้เห็นถึงความเป็นไปได้ของลอยสู่แพลตฟอร์มความสั่นสะเทือน isolator สำหรับแมโครและไมโครการเคลื่อนไหวบนเวที นอกจากนี้ การออกแบบที่เหมาะสมที่สุดของลอยสเตเตอร์จะดำเนินการและจากนั้นตรวจสอบโดยการทดลอง เพื่ออธิบายลักษณะและปริมาณงานของการแยกได้จากแบบคงที่และลอยตัว เตอร์ เตอร์ ขึ้น การตอบสนองที่แตกต่างกันและความเร่ง ความเร็ว สูงสุดวัดได้ใน x , y และ z เส้นทาง ทฤษฎีและการวิเคราะห์ ทดลองในเวลาและโดเมนความถี่ บ่งชี้ว่า ลอยเตอร์แพลตฟอร์มมีประสิทธิภาพอย่างแยกการสั่นสะเทือนในแมโครและไมโครการเคลื่อนไหวบนเวที