FabricationA huge number of convent

Fabrication
A huge number of conventional techniques already used by the microelectronics
industry can be successfully applied for fabricating thermoelectric devices. Such
techniques include the photolithography, electroplating, wafer dicing, and pick-andplace
systems. This allows the fabrication of a wide spectrum of thermoelectric devices
that range from the simple modules for handling a few microwatts [58] (in cooling or
energy conversion) to more complex module arrays (to handle higher power
levels) [59].
The quality of the deposited thin-films (either both constitutive layers or the entire
superlattice) must be high in order to successfully fine-tuning the thin-film thicknesses
in a superlattice so as to hinder lattice vibrations (thus decreasing heat flow) and
transmit electrons (increasing electrical conductivity), using materials that intrinsically
have a large thermopower; this generates a thermoelectric material with a particularly
high figure-of-merit [60]. The conventional imaging techniques based on X-rays
diffractions don’t offer satisfactory resolution to make a quality assessment of the
surface of the deposited thin-films. In this context, the Scanning Probe
Microscopy (SPM) technique fills such a gap, because high-resolutions of a few
picometres can be obtained. This is due to the resolution to be only dependent of the
size of the probe-sample interaction volume [61].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ประดิษฐ์
จำนวนมากของเทคนิคแล้วใช้ไมโครอิเล็กทรอนิกส์
อุตสาหกรรมสามารถถูกนำไปใช้สำหรับ fabricating แบบเทอร์โมอิเล็กทริกส์อุปกรณ์ได้ เช่น
เทคนิครวม photolithography ไฟฟ้า wafer dicing และรับ andplace
ระบบการ นี้ช่วยให้ผลิตของหลากหลายอุปกรณ์แบบเทอร์โมอิเล็กทริกส์
ช่วงจากโมดูง่ายสำหรับการจัดการ microwatts กี่ [58] (ในเย็น หรือ
แปลงพลังงาน) การอาร์เรย์ของโมดูซับซ้อน (การจัดการพลังงานสูง
ระดับ) [59] .
คุณภาพของนำฝากบางภาพยนตร์ (ทั้งขึ้นชั้นหรือทั้งหมด
superlattice) ต้องสูงตามลำดับให้เรียบร้อยเพื่อให้เกิดความหนาฟิล์มบาง
ใน superlattice เพื่อขัดขวางการสั่นสะเทือนโครงตาข่ายประกอบ (จึงลดกระแสความร้อน) และ
ส่งอิเล็กตรอน (เพิ่มค่าการนำไฟฟ้า), ใช้วัสดุที่ทำ
มี thermopower ใหญ่ นี้สร้างวัสดุแบบเทอร์โมอิเล็กทริกส์กับเป็นอย่างยิ่ง
สูงรูปของบุญ [60] เทคนิคการถ่ายภาพโดยใช้รังสีเอกซ์
diffractions ไม่มีความละเอียดพอจะทำให้มีการประเมินคุณภาพของการ
ผิวของใบนำฝากบางฟิล์ม ในบริบทนี้ การสแกนการโพรบ
เทคนิค Microscopy (SPM) กรอกข้อมูลเช่นช่องว่าง เนื่องจากความละเอียดสูงของกี่
picometres ได้ นี่คือเนื่องจากความละเอียดจะขึ้นอยู่กับของ
ขนาดของไดรฟ์ข้อมูลแบบโต้ตอบตัวอย่างโพรบ [61]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การผลิต
จำนวนมากของเทคนิคทั่วไปที่ใช้แล้วโดยไมโครอิเล็กทรอนิกส์
อุตสาหกรรมสามารถนำมาใช้ประสบความสำเร็จในการผลิตอุปกรณ์เทอร์โม ดังกล่าว
รวมถึงเทคนิคการ photolithography, ไฟฟ้า, เวเฟอร์ดและรับ andplace
ระบบ นี้จะช่วยให้การผลิตของสเปกตรัมกว้างของอุปกรณ์เทอร์โม
ที่หลากหลายจากโมดูลที่ง่ายสำหรับการจัดการไมโครวัตต์น้อย [58] (ในการทำความเย็นหรือ
การแปลงพลังงาน) เพื่ออาร์เรย์โมดูลที่ซับซ้อนมากขึ้น (การจัดการพลังงานที่สูงขึ้น
ในระดับที่) [59]
ที่มีคุณภาพ ของฝากฟิล์มบาง (ทั้งสองชั้นที่เป็นส่วนประกอบหรือทั้งหมด
SUPERLATTICE) จะต้องสูงในการที่จะประสบความสำเร็จในการปรับเปลี่ยนความหนาฟิล์มบาง
ใน SUPERLATTICE เพื่อที่จะเป็นอุปสรรคต่อการสั่นสะเทือนตาข่าย (จึงลดการไหลของความร้อน) และ
ส่งอิเล็กตรอน ( เพิ่มการนำไฟฟ้า) โดยใช้วัสดุภายในที่
มีขนาดใหญ่ thermopower; นี้สร้างวัสดุเทอร์โมด้วยโดยเฉพาะอย่างยิ่ง
บุญร่างของสูง [60] เทคนิคการถ่ายภาพแบบเดิมขึ้นอยู่กับรังสีเอกซ์
diffractions ไม่ได้มีความละเอียดที่น่าพอใจที่จะทำให้การประเมินคุณภาพของ
พื้นผิวของฝากฟิล์มบาง ในบริบทนี้สแกน Probe
Microscopy (SPM) เทคนิคการเติมช่องว่างดังกล่าวเพราะความละเอียดที่สูงในไม่กี่
picometres สามารถรับได้ นี่คือสาเหตุที่ความละเอียดเป็นเพียงขึ้นอยู่กับ
ขนาดของปริมาณการปฏิสัมพันธ์สอบสวนตัวอย่าง [61]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ผลิต
ตัวเลขขนาดใหญ่ของเทคนิคปกติอยู่แล้วที่ใช้โดยอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์
สามารถสมัครเรียบร้อยแล้วสำหรับ fabricating อุปกรณ์เทอร์โม . เทคนิคดังกล่าว
รวม 43 , ไฟฟ้า , เวเฟอร์ หั่น และเลือกระบบการตลาด

นี้จะช่วยให้การผลิตของสเปกตรัมกว้างของ
อุปกรณ์ เทอร์โมช่วงจากโมดูลที่เรียบง่ายในการจัดการไม่กี่มวล [ 58 ] ( ในเย็นหรือ
แปลงพลังงาน ) อาร์เรย์โมดูลที่ซับซ้อนมากขึ้น ( เพื่อจัดการกับระดับที่สูงขึ้นพลังงาน
) [ 59 ] .
คุณภาพของการเคลือบ ( ทั้งสองและชั้นหรือซูเปอร์แลตทิซทั้งหมด
) จะต้องสูงเพื่อ ปรับจูนแบบฟิล์มหนา
เรียบร้อยแล้วในซูเปอร์แลตทิซเพื่อขัดขวางการสั่นของโครงผลึก ( จึงลดลงและการไหลของความร้อน )
ส่งอิเล็กตรอน ( เพิ่มค่าการนำไฟฟ้า โดยใช้วัสดุที่ภายในมีขนาดใหญ่ thermopower
; นี้จะสร้างวัสดุ เทอร์โม กับโดยเฉพาะ
สูงรูปบุญ [ 60 ] เทคนิคการถ่ายภาพแบบธรรมดาตามอายุ
diffractions ไม่เสนอความละเอียดน่าพอใจเพื่อให้การประเมินคุณภาพ
พื้นผิวของฝากฟิล์มบาง ในบริบทนี้การสแกนกล้องจุลทรรศน์สอบสวน
( SPM ) เทคนิคเติมช่องว่างดังกล่าว เพราะมีความละเอียดสูงไม่กี่
1 พฤษภาคมสามารถรับ นี้เป็นเพราะความละเอียดเป็นเพียงขึ้นอยู่กับของ
ขนาดของมัน ตัวอย่างปฏิสัมพันธ์ระดับเสียง [ 61 ]