In order to convert the change in r

In order to convert the change in resistance of the sensor
into an electrical signal (voltage), a Wheatstone bridge circuit
(Figure 3A) is commonly used for signal processing in
piezoresistive sensing systems. There are two ways in
conventional MEMS to integrate signal processing circuits
with the MEMS sensor: (i) A two-chip approach, where a
MEMS device is mounted on a printed circuit board (PCB)
on which the signal processing circuit is laid out; the
electrical connection is achieved using wire-bonding [9]. (ii)
A monolithic approach, where a MEMS device and a
conventional IC signal processing circuit (e.g., CMOS) are
microfabricated on the same silicon chip (e.g.,
CMOS-MEMS) [10]. The monolithic approach provides
smaller chip footprint and much lower noise levels, but is
more complicated to fabricate

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การแปลงการเปลี่ยนแปลงในความต้านทานของการเซ็นเซอร์ในการไฟฟ้าสัญญาณ (แรงดัน), วงจรวีตสโตนบริดจ์(รูปที่ 3A) โดยทั่วไปใช้สำหรับการประมวลผลสัญญาณpiezoresistive ไร้สายระบบ มีสองวิธีในMEMS ปกติการรวมวงจรประมวลผลสัญญาณด้วยเซ็นเซอร์ MEMS: (i) อะชิสองวิธี ที่เป็นติดตั้งอุปกรณ์ MEMS บนบอร์ดวงจรพิมพ์ (PCB)ซึ่งวงจรประมวลผลสัญญาณจะวางออก ที่เชื่อมต่อไฟฟ้าสามารถทำได้โดยใช้ลวดยึด [9] (ii)วิธีการแบบเสาหิน อุปกรณ์ MEMS และเป็นมีวงจรประมวลผลสัญญาณ IC ธรรมดา (เช่น CMOS)ชิ microfabricated บน silicon เดียวกัน (เช่นCMOS-MEMS) [10] แสดงวิธีเสาหินมีขนาดเล็กกว่ารอยเท้าชิและมากลดระดับเสียง แต่เพื่อสานความซับซ้อนมากขึ้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เพื่อแปลงการเปลี่ยนแปลงในความต้านทานของเซ็นเซอร์เป็นสัญญาณไฟฟ้า (แรงดัน) วงจรสะพาน Wheatstone (รูปที่ 3A) โดยทั่วไปจะใช้สำหรับการประมวลผลสัญญาณในระบบสัมผัสpiezoresistive มีสองวิธีมีMEMS ธรรมดาเพื่อบูรณาการวงจรประมวลผลสัญญาณกับเซ็นเซอร์MEMS (i) วิธีการที่สองชิปซึ่งเป็นอุปกรณ์MEMS ติดตั้งบนแผงวงจรพิมพ์ (PCB) ที่วงจรการประมวลผลสัญญาณจะวางออก เชื่อมต่อไฟฟ้าจะประสบความสำเร็จโดยใช้ลวดเชื่อม [9] (ii) วิธีเสาหินที่อุปกรณ์ MEMS และวงจรประมวลผลสัญญาณแบบเดิม IC (เช่น CMOS) จะ microfabricated บนชิปซิลิกอนเดียวกัน (เช่นCMOS-MEMS) [10] วิธีที่เสาหินมีรอยชิปขนาดเล็กและต่ำกว่าระดับเสียงแต่เป็นความซับซ้อนมากขึ้นในการประดิษฐ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เพื่อแปลงเปลี่ยนความต้านทานของเซ็นเซอร์
ให้เป็นสัญญาณไฟฟ้า ( แรงดัน ) , วงจรวีทสโตนบริดจ์
( รูปที่ 3 ) เป็นที่ใช้กันทั่วไปสำหรับการประมวลผลสัญญาณใน
Piezoresistive สัมผัสระบบ มีสองวิธีในการรวมวงจรการประมวลผลซึ่งปกติ

สัญญาณกับ MEMS เซนเซอร์ : ( ฉัน ) เป็นวิธีที่ 2 ที่
ชิอุปกรณ์ซึ่งติดตั้งบนแผ่นวงจรพิมพ์ ( PCB )
ที่การประมวลผลสัญญาณวงจรถูกวางไว้ ;
เชื่อมต่อได้โดยใช้ลวดเชื่อม [ 9 ] . ( 2 )
วิธีการเสาหินที่ MEMS อุปกรณ์และการประมวลผลสัญญาณวงจร IC
ปกติ ( เช่น CMOS )
microfabricated ในชิปซิลิคอนเดียวกัน ( เช่น
cmos-mems ) [ 10 ] วิธีการให้
เสาหินรอยเท้าเล็กชิปและระดับเสียงที่ต่ำกว่า แต่เป็น
ซับซ้อนมากขึ้น เพื่อสาน