Electron and ion fluxes from direct

Electron and ion fluxes from direct current and high-power impulse magnetron sputtering (dcMS and HiPIMS) plasmas were measured in the plane of the target surface

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

Fluxes อิเล็กตรอนและไอออนจากกระแสตรงและกระแสกำลังแรงสูง magnetron สปัตเตอร์ (dcMS และ HiPIMS) plasmas ถูกวัดในระนาบของพื้นผิวของเป้าหมาย

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

อิเล็กตรอนและไอออนจากฟลักซ์ในปัจจุบันและแรงกระตุ้นพลังงานสูงโดยตรงแมกนีตรอนสปัตเตอร์ (DCMS และ HiPIMS) พลาสมาถูกวัดในระนาบของพื้นผิวเป้าหมาย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อิเล็กตรอนและไอออนเมมเบรนจากไฟฟ้ากระแสตรงแรงสูงแมกนีตรอนสปัตเตอริงและแรงกระตุ้น ( dcms และ hipims ) พลาสมาที่วัดในระนาบของพื้นผิวเป้าหมาย