TF-SOFC were produced starting from

TF-SOFC were produced starting from double-side polished (100) silicon wafers coated with 200 nm of low-stress silicon nitride. Free-standing silicon nitride square membranes arrays with 150 μm sidelength were fabricated using lithography, 12
reactive ion etching and KOH anisotropic etching. The fuel cells were then fabricated by sequentially sputtering the electrolyte 80 to 95 nm thick from a 8 mol % yttria-stabilized zirconia (YSZ) target, dry-etching the silicon nitride from the bottom side, depositing the vanadium oxide (VOx) and/or porous Pt anode on the bottom side and sputtering the porous Pt cathode through a stainless steel shadow mask. RF- sputtering of the oxide electrolyte and vanadium oxide anode were performed at 550 °C at pressures of 5 and 20 mTorr Ar and powers of 100 and 150 W, respectively. The composition of the vanadium oxide target was V2O5. DC-sputtering of Pt porous cathode and anode were performed without substrate heating at 75 and 85 mTorr, respectively. The fuel cells were tested in a custom-built environmental station.12 The anode- side was exposed to humidified 5% H2−Ar (specified purity of 99.999%) flowing at 30 mL min−1, while the cathode-side was exposed to ambient stationary air. As shown schematically in Figure 1a, fuel cells were fabricated with anodes consisting either of a porous Pt film, a VOx film, or a bilayer VOx/porous Pt film (further referred to as VOx/Pt). As we show later, the VOx/Pt anode has higher performance than the VOx anode due to lower anodic polarization losses.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

รหัส SOFC ผลิตเริ่มต้นจากสองด้านขัดเงารับซิลิคอน (100) ที่เคลือบ ด้วย 200 nm nitride ซิลิคอนต่ำความเครียด อาร์เรย์ตารางสาร nitride ซิลิคอนยืนฟรีกับ 150 μm sidelength ถูกหลังสร้างโดยใช้ภาพพิมพ์หิน 12
ไอออนปฏิกิริยากัดและกัด anisotropic เกาะ เซลล์เชื้อเพลิงได้แล้วหลังสร้าง โดยพ่น nm อิเล็กโทร 80-95 หนาจากโมล 8% เป้าหมายเสถียร yttria zirconia (YSZ) ตามลำดับ แห้งกัด nitride ซิลิคอนจากด้านล่าง ฝากออกไซด์ของวาเนเดียม (VOx) หรือแอโนด Pt porous ด้านล่างพ่นแคโทด Pt porous ผ่านตัวสเตนเลสเงาพราง RF - พ่นของออกไซด์อิเล็กโทรและวาเนเดียมออกไซด์ขั้วบวกมีดำเนินการที่ 550 ° C ที่ความดัน 5 และ 20 mTorr Ar และอำนาจของ 100 และ 150 W ตามลำดับ องค์ประกอบของเป้าหมายออกไซด์ของวาเนเดียม V2O5 ได้ พ่น DC ของ Pt porous แคโทดและแอโนดมีดำเนินการ โดยความร้อนพื้นผิวที่ 75 และ 85 mTorr ตามลำดับ เซลล์เชื้อเพลิงที่ทดสอบใน station.12 สิ่งแวดล้อมมามีสัมผัสด้านแอโนด humidified 5% H2−Ar (ระบุความบริสุทธิ์ 99.999%) ไหลที่ 30 mL min−1 ในขณะที่ด้านแคโทดได้สัมผัสกับอากาศแวดล้อมด้วย แสดง schematically ในรูปที่ 1a เซลล์เชื้อเพลิงถูกหลังสร้าง ด้วย anodes ประกอบภาพยนตร์ Pt porous ภาพยนตร์ VOx อย่างใดอย่างหนึ่ง หรือภาพยนตร์ Pt VOx/porous bilayer (ต่อไปเรียกว่า VOx/Pt) เราแสดงในภายหลัง แอโนด VOx/Pt มีประสิทธิภาพสูงกว่าแอโนด VOx เนื่องจากขาดทุนโพลาไรซ์ anodic ล่าง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

TF-SOFC ได้รับการผลิตที่เริ่มต้นจากสองด้านขัดเวเฟอร์ (100) ซิลิกอนที่เคลือบด้วย 200 นาโนเมตรต่ำความเครียดซิลิคอนไนไตรด์ ยืนฟรีซิลิคอนไนไตรด์อาร์เรย์เยื่อเมตรมี 150 ไมโครเมตร sidelength ถูกประดิษฐ์โดยใช้การพิมพ์หิน, 12
ไอออนแกะสลักปฏิกิริยาและการแกะสลักเกาะ anisotropic เซลล์เชื้อเพลิงได้รับการประดิษฐ์แล้วโดยลำดับสปัตเตอร์อิเล็ก 80-95 นาโนเมตรหนาจาก% yttria-เสถียรภาพเซอร์โคเนีย (YSZ) เป้าหมาย 8 mol แห้งแกะสลักซิลิคอนไนไตรด์จากด้านล่างฝากวาเนเดียมออกไซด์ (VOX) และ / หรือมีรูพรุนขั้วบวก Pt ด้านล่างและสปัตเตอร์แคโทด Pt รูพรุนผ่านหน้ากากเงาสแตนเลส สปัตเตอร์ RF- ของอิเล็กโทรไลออกไซด์และวานาเดียมออกไซด์ขั้วบวกได้ดำเนินการที่ 550 ° C ที่แรงกดดันจาก 5 และ 20 mTorr Ar และอำนาจของ 100 และ 150 วัตต์ตามลำดับ องค์ประกอบของเป้าหมายวาเนเดียมออกไซด์เป็น V2O5 DC-สปัตเตอร์ของ Pt แคโทดรูพรุนและขั้วบวกได้ดำเนินการโดยไม่ต้องความร้อนของพื้นผิวที่ 75 และ 85 mTorr ตามลำดับ เซลล์เชื้อเพลิงได้รับการทดสอบใน station.12 สิ่งแวดล้อมที่กำหนดเองที่สร้างขึ้นด้าน anode- ได้สัมผัสกับความชื้น 5% H2-Ar (ความบริสุทธิ์ระบุ 99.999%) ไหลวันที่ 30 มิลลิลิตรต่อนาที-1 ขณะที่แคโทดด้านได้สัมผัสกับ อากาศนิ่งโดยรอบ ดังแสดงแผนผังในรูปที่ 1a, เซลล์เชื้อเพลิงถูกประดิษฐ์ด้วย anodes ประกอบด้วยทั้งของฟิล์มที่มีรูพรุน Pt, ฟิล์ม VOX หรือ bilayer VOX / ฟิล์มที่มีรูพรุน Pt (ต่อไปเรียกว่า VOX / PT) ในขณะที่เราแสดงต่อขั้วบวก VOX / Pt มีประสิทธิภาพที่สูงกว่าขั้วบวก VOX เนื่องจากการลดการสูญเสียไลโพลาไรซ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

tf-sofc ถูกผลิตเริ่มจากคู่ด้านขัด ( 100 ) ซิลิคอนเวเฟอร์เคลือบด้วยซิลิคอนไนไตรด์ 200 nm ของความเครียดต่ำ ยืนฟรีตารางแผ่นซิลิคอนไนไตรด์ เรย์กับ 150 μ M sidelength ถูกประดิษฐ์ที่ใช้ทั้งหมด 12
ปฏิกิริยาไอออนแกะสลัก และเกาะ Anisotropic แกะสลัก .เซลล์เชื้อเพลิงถูกประดิษฐ์โดยราวเตอร์ไลท์ 80 ถึง 95 nm หนาจาก 8 โมล % อิทเทรีเซอร์โคเนียเสถียร ( ซึ่ง ) เป้าหมายบริการแกะสลักในซิลิคอนไนไตรด์จากด้านล่าง ฝากวานาเดียมออกไซด์ ( VOX ) และ / หรือรูพรุน PT ขั้วบวกด้านล่างและ sputtering แคโทดโดยผ่านพ. สแตนเลสเงาหน้ากากRF - สปัตเตอร์ริงของออกไซด์และออกไซด์โลหะวาเนเดียมอิเล็กโทรไลต์มีการปฏิบัติที่ 550 องศา C ที่ความดัน 5 และ 20 mtorr AR และพลังของ 100 และ 150 วัตต์ ตามลำดับ ส่วนผสมของวานาเดียมออกไซด์เป้าหมายคือ V2O5 . ดีซีสปัตเตอร์ PT วัสดุแคโทดและขั้วบวกได้โดยไม่ต้องใช้ความร้อนที่อุณหภูมิ 75 และ 85 mtorr ตามลำดับเซลล์เชื้อเพลิงทดสอบเป็นสินค้าสิ่งแวดล้อม station.12 ขั้วบวกด้านเปิดเผย humidified 5 % H2 − AR ( ระบุความบริสุทธิ์ของ 99.999 % ) ไหล 30 มิลลิลิตรต่อนาที− 1 , ในขณะที่ฝั่งแคโทดถูกแวดล้อมนิ่งอากาศ แสดงแผนผังในรูป 1A , เซลล์เชื้อเพลิงถูกประดิษฐ์ด้วยไม่ประกอบด้วยอย่างใดอย่างหนึ่งของภาพยนตร์ PT พรุน , VOX ภาพยนตร์หรือสองชั้น VOX / พรุน PT ภาพยนตร์ ( ต่อไปเรียกว่า VOX / PT ) ขณะที่เราแสดง ต่อมา เสียง / PT ขั้วบวกมีสมรรถนะสูงกว่า VOX ขั้วบวกเนื่องจากการลดความสูญเสียด้านการ .