They suggested that the AlN thin fi

They suggested that the AlN thin film deposited near the step edge of Pt and the underlying thermal oxide layer showed cracks due to a large mechanical stress difference between the AlN grown on Pt and on thermal oxide.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

พวกเขาแนะนำว่า AlN ที่บางฟิล์มฝากใกล้ขอบขั้นตอนของ Pt และชั้นออกไซด์ความร้อนพื้นฐานที่แสดงให้เห็นว่ารอยแตกเนื่องจากความเครียดเครื่องจักรกลขนาดใหญ่ส่วนต่างระหว่าง AlN โต Pt และออกไซด์ที่ความร้อน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

พวกเขาบอกว่าฟิล์มบาง ALN ฝากใกล้ขอบขั้นตอนของพอยต์และชั้นออกไซด์ความร้อนต้นแบบแสดงให้เห็นรอยแตกเนื่องจากความแตกต่างความเครียดกลขนาดใหญ่ระหว่าง ALN ปลูกใน Pt ออกไซด์และความร้อน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

พวกเขาพบว่าฟิล์มบางขั้นตอนฝาก ALN ใกล้ขอบของ PT และภายใต้ความร้อนชั้นออกไซด์มีรอยแตกเนื่องจากการขนาดใหญ่ความเครียดเชิงกลแตกต่างระหว่าง ALN ปลูกใน PT และความร้อนออกไซด์