Arriving angle of precursoraffects

Arriving angle of precursor
affects step coverage:
bigger arriving angle, more
deposition

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มุมเดินทางเข้ามาของสารตั้งต้นมีผลต่อระดับความครอบคลุม:ใหญ่เดินทางเข้ามามุม เพิ่มเติมสะสม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มาถึงมุมของผู้นำ
ส่งผลกระทบต่อความคุ้มครองขั้นตอน:
มุมมาถึงใหญ่มากขึ้น
สะสม

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มาถึงมุมโอษฐ์
มีผลต่อขั้นตอนครอบคลุม :

ใหญ่มาถึงมุมสะสมมากขึ้น