No, C2F6 flow rate does not affect

No, C2F6 flow rate does not affect average etch uniformity.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ไม่ อัตราการไหล C2F6 ไม่มีผลต่อค่าเฉลี่ยกัดใจ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ไม่มีอัตราการไหล C2F6 ไ​​ม่ได้ส่งผลกระทบต่อความเท่าเทียมจำหลักเฉลี่ย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ไม่ c2f6 อัตราการไหลเฉลี่ย etch ไม่มีผลต่อความสม่ำเสมอ .