As a first step, decreasing the dut

As a first step, decreasing the duty cycle allows a corresponding increase in power during the on-time. When a power density about two orders of magnitude higher than for conventional sputtering is maintained, a qualitative new process, termed high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) is observed . Here, typical pulse lengths of 10–400 µs are used with pulse frequencies in the range of 50–500 Hz, yield a duty cycle around 0.5–5% at instantaneous power densities larger than 1 kW/cm2 .
At these greatly enhanced power densities, ionization of sputtered atoms occurs
much more frequently than in conventional magnetron sputtering, thus increasing the fraction of ionized sputter material and reducing the necessary amount of sputter gas . In the extreme case, gasless sputtering, using for instance a pulsed cathodic arc for initiation of the self-sputter mode, is achieved .

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ก้าวแรก ลดภาษีรอบได้เพิ่มขึ้นสอดคล้องกันในอำนาจบนเวลา เมื่อรักษาความหนาแน่นไฟเกี่ยวกับสองอันดับของขนาดสูงกว่าการพ่นแบบธรรมดา กระบวนการใหม่เชิงคุณภาพ เรียกว่า magnetron กระแสพลังงานสูงสังเกตสปัตเตอร์ (HIPIMS) ที่นี่ ความยาวปกติชีพจรของ µs 10-400 ใช้พัลส์ความถี่ในช่วง 50-500 Hz ผลตอบแทนรอบภาษีประมาณ 0.5 – 5% ที่ความหนาแน่นกำลังไฟฟ้ามากกว่า 1 กิโลวัตต์/cm2.
ที่แน่นเหล่านี้กำลังเพิ่มมากขึ้น เกิด ionization ของอะตอม sputtered
มากบ่อยครั้งมากกว่าใน magnetron ธรรมดาพ่น ดังนั้นเศษวัสดุ ionized sputter เพิ่ม และลดจำนวน sputter ก๊าซจำเป็น ในกรณีมาก gasless พ่น ใช้การอาร์ค cathodic พัลตัวอย่างสำหรับการเริ่มต้นของโหมด sputter ตนเอง ที่ทำ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป็นขั้นตอนแรก ลดรอบหน้าที่จะช่วยให้พลังงานที่เพิ่มขึ้นในช่วงเวลาที่ เมื่อความหนาแน่นพลังงานเกี่ยวกับคำสั่งของขนาดชิ้นงานที่สูงกว่าปกติรักษาสอง เชิงคุณภาพกระบวนการใหม่ termed อำนาจสูงแมกนีตรอนสปัตเตอริง ( แรงกระตุ้น hipims ) เป็นที่สังเกต ที่นี่ปกติชีพจรยาว 10 – 400 µ S ใช้กับชีพจรความถี่ในช่วง 50 - 500 Hz ทำให้วัฏจักรหน้าที่ประมาณ 0.5 – 5% ทันที พลังที่มีขนาดใหญ่กว่า 1 กิโลวัตต์ / cm2 .
ที่เหล่านี้มากเพิ่มความหนาแน่นของพลังงานไอออไนเซชัน , sputtered อะตอมเกิดขึ้น
มากขึ้นบ่อยกว่าในแบบโลหะ ส ,ดังนั้น การเพิ่มสัดส่วนของประจุละล่ำละลักวัสดุและลดปริมาณมิดหมีเป็นก๊าซ ในกรณีที่รุนแรง gasless สปัตเตอริงโดยใช้ตัวอย่างการกัดกร่อน Arc สำหรับการริเริ่มของตนเองมิดหมี โหมดได้