FIG. 9. (Color online) Time average

FIG. 9. (Color online) Time averaged ion energy distribution for Ti þ ions from HiPIMS and dcMS discharges measured at 0.80 Pa and 1 cm below the target using equal average power. Note that the displayed intensities are in arbitrary units and that no correlation between the different abundances of Ti þ can be made based on this measurement only. Furthermore, the distributions have been normalized to fit into one single plot. The mass spectrometer was inserted from the side of the chamber (i.e., parallel to the target surface). From Lundin et al. (Ref. 168).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

FIG. 9 (สีออนไลน์) เวลา averaged กระจายพลังงานไอออนประจุþตี้จากวัดที่ 0.80 ปล่อย HiPIMS และ dcMS Pa และ 1 ซม.ด้านล่างเป้าหมายการใช้พลังงานเฉลี่ยเท่ากัน หมายเหตุว่า การปลดปล่อยก๊าซที่แสดงอยู่ในหน่วยที่กำหนด และที่ไม่มีความสัมพันธ์ระหว่าง abundances ต่าง ๆ ของþตี้ได้ยึดวัดนี้เท่านั้น นอกจากนี้ การแจกจ่ายได้แล้วตามปกติเพื่อ fit เป็นแผนหนึ่งเดียว สเปกโตรมิเตอร์มวลถูกแทรกจากด้านของหอการค้า (เช่น แบบขนานพื้นผิวเป้าหมาย) จาก Lundin et al. (อ้างอิงที่ 168)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มะเดื่อ 9 (สีออนไลน์) เวลาเฉลี่ยไอออนกระจายพลังงานไอออน Ti þจาก HiPIMS และปล่อย DCMS วัดที่ 0.80 ป่าและ 1 ซมต่ำก​​ว่าเป้าหมายการใช้พลังงานเฉลี่ยเท่ากับ ทราบว่าเข้มที่แสดงอยู่ในหน่วยโดยพลการและที่ความสัมพันธ์ระหว่างปริมาณที่แตกต่างกันของ Ti þไม่สามารถทำตามที่วัดนี้เพียง นอกจากนี้การกระจายที่ได้รับปกติเพื่อประกอบเข้าเป็นล็อตเดียว สเปกโตรมิเตอร์มวลถูกแทรกจากด้านข้างของห้อง (เช่นขนานไปกับพื้นผิวเป้าหมาย) จาก Lundin และคณะ อาหาร (Ref. 168)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

รูปที่ 9 ออนไลน์ ( สี ) เวลาเฉลี่ยการกระจายพลังงานไอออนและไอออนจากทิþ hipims dcms ปล่อยวัดที่ 0.80 PA และ 1 ซม. ด้านล่าง เป้าหมายการใช้พลังงานเฉลี่ยเท่ากับ โปรดทราบว่าแสดงความเข้มกำลังพลในหน่วย และไม่มีความสัมพันธ์ระหว่าง abundances แตกต่างกันของ Ti þสามารถทำบนพื้นฐานของการวัดนี้เท่านั้น นอกจากนี้การแจกแจงปกติ เพื่อที่จะได้รับจึงเป็นหนึ่งเดียวที่แปลง สเปกโตรมิเตอร์มวลแทรกจากข้างห้อง ( เช่น ขนานกับพื้นผิวของชิ้นงาน ) จาก LUNDIN et al . ( อ้างอิงที่ 168 )