, and preventshort circuiting cause

, and prevent
short circuiting caused by the occasional engagement
of the top and bottom electrode; the top of the cavity
is the integration membrane made by SOI top silicon.
When the sensor is operating in water, in order to
avoid the hydrolysis caused by a strong electric field
in the cavity, the vibration must be a vacuum-sealed
cavity. The top and bottom electrodes are deposited
on the membrane and substrate respectively.
Meanwhile, a MEMS capacitive ultrasonic transducer
is composed of many cells which are connected
parallel and distributed in a certain order

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

และป้องกันcircuiting สั้นเกิดจากความผูกพันเป็นครั้งคราวของไฟฟ้าบนและล่าง ด้านบนของช่องเป็นเมมเบรนรวมทำ ด้วยซิลิคอนสุดซอยเมื่อการปฏิบัติในน้ำ เซนเซอร์เพื่อหลีกเลี่ยงไฮโตรไลซ์เกิดจากสนามไฟฟ้าแรงในโพรง การสั่นสะเทือนต้องเป็น vacuum-sealedโพรง ฝากหุงตด้านบนและด้านล่างบนพื้นผิวเมมเบรนตามลำดับในขณะเดียวกัน เป็น MEMS ควบคุมอัลตราโซนิกพิกัดประกอบด้วยเซลล์จำนวนมากที่เชื่อมต่อแบบขนาน และแบบกระจายในใบสั่ง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

และป้องกันไม่ให้เกิด
ไฟฟ้าลัดวงจรที่เกิดจากการมีส่วนร่วมเป็นครั้งคราว
ของด้านบนและด้านล่างขั้ว; ด้านบนของช่อง
เป็นเมมเบรนบูรณาการที่ทำโดยซิลิกอนบนซ.
เมื่อเซ็นเซอร์มีการดำเนินงานอยู่ในน้ำเพื่อที่จะ
หลีกเลี่ยงการย่อยสลายที่เกิดจากสนามไฟฟ้าที่แข็งแกร่ง
ในช่องการสั่นสะเทือนจะต้องเป็นสูญญากาศปิดผนึก
ช่อง ขั้วไฟฟ้าบนและด้านล่างจะฝาก
ในเยื่อหุ้มเซลล์และสารตั้งต้นตามลำดับ.
ในขณะเดียวกัน transducer ล้ำเสียง MEMS capacitive
ประกอบด้วยเซลล์จำนวนมากที่มีการเชื่อมต่อ
แบบขนานและกระจายอยู่ในลำดับที่แน่นอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

และป้องกัน
circuiting สั้นเกิดจากเป็นครั้งคราวหมั้น
ของด้านบนและด้านล่าง ) ; ด้านบนของช่อง
เป็นการบูรณาการเมมเบรนโดยซอยด้านบน ซิลิคอน
เมื่อเซนเซอร์เป็นปฏิบัติการในน้ำ เพื่อหลีกเลี่ยงการย่อยสลายเกิดจาก

แรงสนามไฟฟ้าในโพรง การสั่นสะเทือน ต้องเป็นสูญญากาศปิดผนึก
โพรง ขั้วไฟฟ้าที่ด้านบนและด้านล่างจะฝาก
บนเยื่อแผ่นตามลำดับ
ในขณะเดียวกัน , MEMS capacitive ultrasonic transducer
ประกอบด้วยเซลล์จำนวนมากที่เชื่อมต่อกัน
แบบขนานและกระจายอยู่ในลำดับที่แน่นอน