with silicon representing a larger

with silicon representing a larger fraction than aluminum. However, as silicon is often the subject of abrasion in CMP, further study will be necessary to concretely demonstrate that these particles originate in the CMP slurry versus being generated as a byproduct of the process. Such a study might be conducted using a system in which silicon-containing slurries are not used, thus eliminating the slurry as a source for any observed silicon in the waste.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

พร้อมแสดงเศษส่วนที่มีขนาดใหญ่กว่าอลูมิเนียม อย่างไรก็ตาม เป็นซิลิคอนมักจะเป็นเรื่องของรอยขีดข่วนใน CMP ศึกษาต่อจะได้จำเป็นรูปธรรมแสดงว่า อนุภาคเหล่านี้มาในสารละลาย CMP เมื่อเทียบกับการสร้างจิตสำนึกของการเป็น อาจดำเนินการศึกษาโดยใช้ระบบที่ประกอบด้วยซิลิคอน slurries ไม่ใช้ จึง ขจัดสารละลายที่เป็นแหล่งสำหรับซิลิคอนการสังเกตในขยะ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

กับซิลิกอนที่เป็นตัวแทนส่วนใหญ่กว่าอลูมิเนียม อย่างไรก็ตามในขณะที่ซิลิกอนมักจะเป็นเรื่องของการขัดสีใน CMP, การศึกษาต่อไปจะมีความจำเป็นที่จะเป็นรูปธรรมแสดงให้เห็นว่าอนุภาคเหล่านี้เกิดในสารละลายซีเอ็มพีเมื่อเทียบกับที่ถูกสร้างขึ้นเป็นผลพลอยได้จากกระบวนการ การศึกษาดังกล่าวอาจจะมีการดำเนินการโดยใช้ระบบที่ slurries ซิลิกอนที่มีไม่ได้ใช้จึงช่วยลดสารละลายเป็นแหล่งข้อมูลสำหรับซิลิกอนสังเกตใด ๆ ในเสีย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ด้วยซิลิโคนเป็นเศษส่วนที่มีขนาดใหญ่กว่าอลูมิเนียม อย่างไรก็ตาม ซิลิคอน มักจะเป็นเรื่องของการขัดสีในซีเอ็มพี ศึกษาเพิ่มเติม จะต้องเป็นรูปธรรม แสดงให้เห็นว่า อนุภาคเหล่านี้เกิดใน CMP Slurry และถูกสร้างขึ้นเป็นผลพลอยได้ของกระบวนการ เช่น การเรียนอาจจะดำเนินการโดยใช้ระบบที่ซิลิคอนที่มี slurries ไม่ได้ใช้ดังนั้น การขจัดน้ำเป็นแหล่งสำหรับการใด ๆพบซิลิคอนในขยะ