In this manuscript, we demonstrate

In this manuscript, we demonstrate the effect
of levitation (out-of-plane motion) in capacitive comb drive
actuators. This motion can be used for additional control along
the orthogonal axis of the preferred motion. Minimization of
unwanted vertical actuation can be achieved while simultaneously
enhancing lateral displacement. This is the result of
increased electromechanical coupling that extends the lateral
range of the linear comb drive for the same actuation voltage.
The comb drive’s appeal is the linear dependency of the
capacitance with respect to displacement. As a result of this

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในฉบับนี้ เราแสดงผลของ levitation (เคลื่อนไหวออกของเครื่องบิน) หวีควบคุมไดรฟ์หัวขับ เคลื่อนไหวนี้สามารถใช้สำหรับการควบคุมเพิ่มเติมตามแกน orthogonal ของการเคลื่อนไหวที่ต้องการ ลดภาระของactuation แนวตั้งที่สามารถทำได้ในขณะที่เวลาเดียวกันเพิ่มด้านข้างแทน นี้เป็นผลของคลัปโดยกว่าที่ขยายด้านข้างเพิ่มขึ้นช่วงของไดรฟ์หวีเส้นสำหรับแรงดันไฟฟ้า actuation เดียวกันอุทธรณ์ของไดรฟ์หวีเป็นการขึ้นต่อกันเชิงเส้นของการความเกี่ยวข้องกับการเคลื่อนย้าย จากนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในต้นฉบับนี้เราแสดงให้เห็นถึงผลกระทบของลอย (ออกจากเครื่องบินเคลื่อนไหว) ในหวี capacitive ไดรฟ์ตัวกระตุ้น การเคลื่อนไหวนี้สามารถใช้สำหรับการควบคุมเพิ่มเติมพร้อมแกนมุมฉากของการเคลื่อนไหวที่ต้องการ ลดของการดำเนินการที่ไม่พึงประสงค์ในแนวตั้งสามารถทำได้ในขณะเดียวกันการเสริมสร้างการเคลื่อนที่ด้านข้าง นี้เป็นผลมาจากการมีเพศสัมพันธ์เพิ่มขึ้นไฟฟ้าที่ขยายด้านข้างช่วงของไดรฟ์หวีเชิงเส้นสำหรับแรงดันไฟฟ้าที่ดำเนินการเดียวกัน. อุทธรณ์หวีไดรฟ์คือพึ่งพาเชิงเส้นความจุที่เกี่ยวกับการเคลื่อนที่ ในฐานะที่เป็นผลจากการนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในบทความนี้เราจะแสดงผล
ของการลอยตัว ( ออกจากการเคลื่อนไหวเครื่องบิน ) ในแบบหวีขับรถ
ตัวกระตุ้น . การเคลื่อนไหวนี้สามารถใช้สำหรับการควบคุมเพิ่มเติมตาม
แกนตั้งฉากของการเคลื่อนไหวที่ต้องการ การสั่งการแนวดิ่งที่ไม่พึงประสงค์สามารถทำได้

เพิ่ม ในขณะเดียวกัน การเคลื่อนตัวด้านข้าง . นี่คือผลของ
เพิ่มการเชื่อมต่อไฟฟ้าที่ขยายด้านข้าง
ช่วงของไดรฟ์หวีเชิงเส้นสำหรับแรงดันไฟฟ้าที่ปลุกเร้าเดียวกัน
หวีขับอุทธรณ์คือการเชิงเส้นของ
ความจุเทียบกับการกระจัด ผลนี้