Figure 6 shows the exterior appeara

Figure 6 shows the exterior appearance of the packaged pressure sensor (sacrifice-replacement
approach) and its cross-section image at section A-A. The top surface of the sensing membrane was
entirely free of EMC contamination, so the effectiveness of the photoresist block in shielding the
silicon membrane of the pressure sensor was confirmed. The top surface of the silicon membrane was
fully exposed to freely sense the environment pressure through the sensing-channel of the packaged
pressure sensor. To ensure a full contact between the mold surface and all of the sacrificial photoresist
blocks, a very small interference value was deliberately designed between the depth of the mold cavity
and the total package height. Consequently, the top surface of the photoresist block was squeezed as
the transfer mold was closed. The concave appearance of the photoresist block was due to the mold
squeeze and can be improved with a proper interference design. The photoresist block also effectively
protects the sensing membrane of the pressure sensor from EMC bleeding, improving the yield of the
packaging process. As shown in Figure 6(b), the sidewalls of the sensing channel tapered slightly in
the outward direction. The opening size of the sensing channel on the topside is slightly larger than
that on the bottom-side. The slight geometry deformation in the cross-section of the sensing-channel has no negative influence on the pressure sensing of the packaged pressure sensor. The sacrificereplacement
approach was verified as useful for a pressure sensor application. Due to the process
requirement of cold-mount specimens, a clear epoxy (CMA1-K02, Pentad Scientific Co., Taiwan) was
used to fill the cold-mound mold during the specimen preparation process. The original space of the
open channel is a real cavity instead of the cold-mounted clear epoxy, as shown in the cross-section
image of the packaged pressure sensor [Figure 6(b)].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ภาพที่ 6 แสดงลักษณะภายนอกของเซนเซอร์ความดันบรรจุ (เสียสละแทนวิธี) และรูปของหน้าตัดรายขวางในส่วน A a ผิวด้านของเมมเบรนที่ตรวจวัดได้ฟรีการปนเปื้อนของ EMC ดังนั้นประสิทธิภาพของเพียงบล็อกในการป้องกันการซิลิโคนเมมเบรนของเซนเซอร์ความดันได้รับการยืนยัน พื้นผิวด้านบนของเยื่อหุ้มซิลิโคนสัมผัสอิสระรู้สึกความดันสภาพแวดล้อมผ่านการจับช่องที่บรรจุของเต็มเซ็นเซอร์ความดัน เพื่อให้ผู้ติดต่อทั้งหมดระหว่างพื้นผิวแม่พิมพ์และทั้งหมดเพียงเสียสละจงใจออกแบบบล็อก ค่าเล็กมากรบกวนระหว่างความลึกของโพรงแม่พิมพ์และความสูงรวม ดังนั้น ผิวด้านของบล็อกเพียงถูกบีบเป็นแม่พิมพ์การโอนย้ายถูกปิด ลักษณะเว้าของบล็อกเพียงแก้ไขเนื่องจากแม่พิมพ์บีบ และสามารถแก้ไขได้ ด้วยการออกแบบที่เหมาะสมรบกวน เพียงการบล็อกยังมีประสิทธิภาพช่วยปกป้องเยื่อตรวจจับของเซนเซอร์ความดันจาก EMC เลือด การปรับปรุงผลผลิตของการกระบวนการบรรจุภัณฑ์ ดังแสดงในรูป 6(b) ท่อระบายของสถานีตรวจวัดที่เรียวเล็กน้อยในทิศทางออกไปด้านนอก ขนาดเปิดของสถานีตรวจวัดที่หน้ามีขนาดใหญ่กว่าเล็กน้อยที่ด้านล่าง เปลี่ยนรูปเรขาคณิตเพียงเล็กน้อยในสถานีตรวจวัดที่มีอิทธิพลเชิงลบไม่ตรวจสอบแรงดันของเซนเซอร์ความดันบรรจุ Sacrificereplacement การวิธีรับการตรวจสอบเป็นประโยชน์สำหรับโปรแกรมประยุกต์เซนเซอร์ความดัน เนื่องจากกระบวนการความต้องการของชิ้นงานเย็น-ภูเขา อีพ๊อกซี่ใส (CMA1 K02, Pentad ทางวิทยาศาสตร์ Co. ไต้หวัน) คือใช้ในการเติมแม่พิมพ์เย็นเนินดินในระหว่างกระบวนการเตรียมชิ้นงานทดสอบ พื้นที่เดิมของการเปิดช่องเป็นโพรงจริงแทนการติดตั้งเย็นใสอีพ็อกซี่ ดังแสดงในภาพของเซนเซอร์ความดันบรรจุ [รูป 6(b)]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

รูปที่ 6 แสดงให้เห็นถึงลักษณะภายนอกของเซ็นเซอร์ความดันบรรจุ (เสียสละทดแทน
วิธีการ) และภาพตัดขวางที่ส่วน AA พื้นผิวด้านบนของเยื่อตรวจจับเป็น
อิสระโดยสิ้นเชิงของการปนเปื้อนอีเอ็มซีเพื่อให้ประสิทธิภาพของบล็อกไวแสงในการป้องกันที่
เมมเบรนซิลิกอนของเซ็นเซอร์ความดันได้รับการยืนยัน พื้นผิวด้านบนของเมมเบรนซิลิกอนที่ถูก
เปิดเผยอย่างเต็มที่อย่างอิสระรู้สึกความดันสิ่งแวดล้อมผ่านการตรวจวัดช่องทางของแพคเกจ
วัดความดัน เพื่อให้แน่ใจว่าการติดต่อแบบเต็มระหว่างพื้นผิวแม่พิมพ์และทั้งหมดของไวแสงบูชายัญ
บล็อกค่ารบกวนขนาดเล็กมากได้รับการออกแบบจงใจระหว่างความลึกของโพรงแม่พิมพ์
และความสูงของแพคเกจรวม ดังนั้นพื้นผิวด้านบนของบล็อกไวแสงที่ถูกบีบเป็น
แม่พิมพ์โอนถูกปิด ลักษณะเว้าของบล็อกไวแสงเป็นเพราะแม่พิมพ์
บีบและสามารถนำมาปรับปรุงให้ดีขึ้นด้วยการออกแบบที่เหมาะสมรบกวน บล็อกไวแสงได้อย่างมีประสิทธิภาพนอกจากนี้ยัง
ช่วยปกป้องเยื่อตรวจจับของเซ็นเซอร์แรงกดดันจากอีเอ็มซีมีเลือดออก, การปรับปรุงผลผลิตของ
กระบวนการบรรจุ ดังแสดงในรูปที่ 6 (B), ชิดของช่องตรวจจับเรียวเล็กน้อยใน
ทิศทางออกไปด้านนอก ขนาดเปิดช่องตรวจจับในการประสานงานมีขนาดใหญ่กว่าเล็กน้อย
ที่ด้านล่างฝั่ง การเสียรูปทรงเรขาคณิตเล็กน้อยในข้ามส่วนของการตรวจวัดช่องทางที่มีอิทธิพลทางลบต่อการตรวจวัดความดันของการเซ็นเซอร์ความดันบรรจุ sacrificereplacement
วิธีการได้รับการยืนยันว่าเป็นประโยชน์สำหรับการประยุกต์ใช้เซ็นเซอร์ความดัน เนื่องจากกระบวนการ
ความต้องการของเย็น-mount ตัวอย่างอีพ็อกซี่ที่ชัดเจน (CMA1-K02, Pentad วิทยาศาสตร์ Co. , ไต้หวัน) ถูก
ใช้ในการกรอกแม่พิมพ์เย็นเนินดินในระหว่างขั้นตอนการเตรียมชิ้นงาน พื้นที่เดิมของ
ช่องเปิดเป็นโพรงจริงแทนของอีพ็อกซี่ที่ชัดเจนเย็นติดดังแสดงใน cross-section
ภาพของเซ็นเซอร์ความดันบรรจุ [รูปที่ 6 (ข)]