The voids can be interpreted as inv

The voids can be interpreted as inverse flakes, generated by a lifting off of the flakes. They found that the main factors which influence defect density are the cleanness of the chamber, the ion cleaning step, the sputtering power and shielding of the substrates.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

Voids สามารถตีความเป็นผกผัน flakes สร้างขึ้น โดยการยกออก flakes พวกเขาพบว่า ปัจจัยหลักที่มีอิทธิพลต่อความหนาแน่นความบกพร่องสะอาดหอการค้า ขั้นตอนทำความสะอาดของไอออน พ่นไฟ และ shielding ของพื้นผิว

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ช่องว่างสามารถตีความได้ว่าสะเก็ดผกผันสร้างขึ้นโดยการยกออกจากเกล็ด พวกเขาพบว่าปัจจัยหลักที่มีอิทธิพลต่อความหนาแน่นของข้อบกพร่องที่เป็นความสะอาดของห้องขั้นตอนการทำความสะอาดไอออนพลังงานสปัตเตอร์และการป้องกันของพื้นผิว

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ว่างสามารถถูกตีความว่าเป็นสะเก็ดผกผัน , ที่สร้างขึ้นโดยการปิดของเกล็ด พวกเขาพบว่า ปัจจัยที่มีอิทธิพลต่อความหนาแน่นข้อบกพร่องมีความสะอาดของห้องสะอาดขั้นไอออน พลังงานสปัตเตอริง และป้องกันของท