An axial flow cyclone with an inner

An axial flow cyclone with an inner diameter of was designed and tested to remove fine particles at low pressure (6–) and low flow rate (0.455 and ) conditions. Pressure inside the cyclone was found to have a considerable effect on the particle collection efficiency. At lower pressure, the particle collection efficiency was also found to be higher. The cyclone with higher pressure drop has higher collection efficiency. At a fixed inlet pressure, higher pressure drop of design 1 with one 3-turn vane was found to have a higher collection efficiency than design 2 with three half-turn vanes. At lowest achievable pressure of at the flow rate of in this study, the axial flow cyclone of design 2 is able to remove particles below efficiently, and the cutoff aerodynamic diameter is .

Theoretical prediction of cutoff aerodynamic diameter was found to agree with published experimental data in the literature at ambient conditions. However, at vacuum and low flow rate conditions, experimental collection efficiency was found to be much lower than theoretical efficiency. Based on the experimental data, a semi-empirical equation incorporating the flow Reynolds number was developed to predict the cutoff aerodynamic diameter with good accuracy at different inlet pressures, flow rates and cyclone designs.

This low flow rate axial flow cyclone is applicable for fine particle removal in the low pressure exhaust gas of reaction chambers, such as in the semiconductor and optoelectronic industries. In the future, it is worthwhile to study the effect of particle loading in the cyclone and particle material on the particle collection efficiency.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

พายุการไหลตามแนวแกน มีเส้นผ่าศูนย์กลางภายในของถูกออกแบบ และทดสอบการเอาละอองที่ความดันต่ำ (6 –) และอัตราการไหลต่ำ (0.455 และ) เงื่อนไขการ ความดันภายในพายุที่พบจะมีผลมากกับประสิทธิภาพการเก็บอนุภาค ที่ความดันต่ำ ประสิทธิภาพการเก็บอนุภาคยังพบจะสูง พายุกับหล่นความดันสูงมีประสิทธิภาพในการคอลเลกชันสูง ที่ความดันทางเข้าของถาวร ปล่อยความดันสูงออกแบบ 1 กับ vane 3 เปิดหนึ่งพบมีประสิทธิภาพคอลเลกชันที่สูงกว่าออกแบบ 2 กับ 3 ครึ่งเปิด vanes ที่สุดทำได้แรงกดดันของอัตราไหลของในการศึกษานี้ ไซโคลนกระแสแกน 2 การออกแบบสามารถเอาอนุภาคด้านล่างได้อย่างมีประสิทธิภาพ และเส้นผ่าศูนย์กลางอากาศพลศาสตร์ตัดยอดจะพบทำนายทฤษฎีของเส้นผ่าศูนย์กลางอากาศพลศาสตร์ตัดยอดให้ตรงกับข้อมูลการทดลองเผยแพร่วรรณคดีที่มอง อย่างไรก็ตาม ที่ดูดและเงื่อนไขอัตราไหลต่ำ ประสิทธิภาพชุดทดลองพบมากต่ำกว่าทฤษฎีประสิทธิภาพ ตามข้อมูลทดลอง สมการกึ่งประจักษ์ที่เพจกระแสเลขเรย์โนลด์สถูกพัฒนาเพื่อทำนายเส้นผ่าศูนย์กลางอากาศพลศาสตร์ตัดยอดที่ มีความแม่นยำที่ดีที่ทางเข้าแตกต่างกันของแรงดัน กระแสราคา และออกแบบไซโคลนสำหรับการกำจัดอนุภาคดีในก๊าซไอเสียความดันต่ำปฏิกิริยาแชมเบอร์ส อุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำและ optoelectronic เช่นนี้กระแสต่ำอัตราการไหลตามแนวแกนพายุได้ ในอนาคต มันจะคุ้มค่าที่จะศึกษาผลของโหลดในไซโคลนและอนุภาควัสดุประสิทธิภาพการเก็บอนุภาคอนุภาค

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

พายุไซโคลนไหลตามแนวแกนที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายในได้รับการออกแบบและทดสอบเพื่อเอาอนุภาคที่ความดันต่ำ (6) และอัตราการไหลต่ำ (0.455 และ) เงื่อนไข ความดันภายในพายุไซโคลนก็พบว่ามีผลกระทบอย่างมากต่อประสิทธิภาพการจัดเก็บอนุภาค ที่ความดันต่ำประสิทธิภาพในการรวบรวมอนุภาคก็พบว่าจะสูงขึ้น พายุไซโคลนที่มีความดันลดลงที่สูงขึ้นมีประสิทธิภาพการจัดเก็บที่สูงขึ้น ที่ความดันคงที่ไหลเข้าลดลงความดันที่สูงขึ้นของการออกแบบ 1 กับใบพัด 3 กลับพบว่ามีประสิทธิภาพการจัดเก็บสูงกว่าการออกแบบ 2 กับสามใบพัดครึ่งทางกลับกัน ความดันต่ำสุดที่ทำได้ของอัตราการไหลในการศึกษาครั้งนี้พายุไซโคลนไหลตามแกนของการออกแบบ 2 สามารถลบอนุภาคด้านล่างได้อย่างมีประสิทธิภาพและตัดเส้นผ่าศูนย์กลางอากาศพลศาสตร์เป็น. ทำนายตามทฤษฎีของเส้นผ่านศูนย์กลางพลศาสตร์ตัดพบว่าเห็นด้วยกับข้อมูลการทดลองที่ตีพิมพ์ ในวรรณคดีที่สภาวะแวดล้อม อย่างไรก็ตามในสูญญากาศและเงื่อนไขอัตราการไหลต่ำประสิทธิภาพการเก็บรวบรวมการทดลองพบว่าต่ำกว่าที่มีประสิทธิภาพในเชิงทฤษฎี บนพื้นฐานของข้อมูลการทดลองสมการกึ่งเชิงประจักษ์ผสมผสานจำนวนการไหลนาดส์ได้รับการพัฒนาที่จะทำนายตัดเส้นผ่าศูนย์กลางพลศาสตร์ด้วยความถูกต้องดีที่แรงกดดันทางเข้าที่แตกต่างกัน, อัตราการไหลและการออกแบบที่พายุไซโคลน. นี้อัตราการไหลต่ำพายุไซโคลนไหลตามแนวแกนมีผลบังคับใช้สำหรับอนุภาคขนาดเล็ก ในการกำจัดก๊าซไอเสียแรงดันต่ำของห้องปฏิกิริยาเช่นในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ optoelectronic ในอนาคตก็คุ้มค่าที่จะศึกษาผลกระทบของการโหลดอนุภาคในพายุไซโคลนและวัสดุอนุภาคที่มีต่อประสิทธิภาพการเก็บอนุภาค

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ไซโคลนแบบไหลตามแกนที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางของถูกออกแบบและทดสอบเพื่อเอาอนุภาคที่ความดันต่ำ ( 6 ) ) และอัตราการไหลต่ำ ( ติดแล้ว ) เงื่อนไข ความดันภายในไซโคลน พบว่าจะมีผลมากในการดักจับอนุภาคประสิทธิภาพ ที่ความดันลดลง , ประสิทธิภาพการดักจับอนุภาค พบได้สูงกว่าพายุไซโคลนที่มีความดันสูงกว่าคอลเลกชันที่มีประสิทธิภาพสูงกว่า ที่คงที่ความดันขาเข้า แรงดันที่สูงส่งของแบบที่ 1 กับ 3-turn เวนพบว่ามีสูงกว่าประสิทธิภาพมากกว่าการออกแบบคอลเลกชัน 2 ใบพัดเปิดสามครึ่ง ที่ถูกที่สุดคือความดันของอัตราการในการศึกษานี้ ไซโคลนแบบไหลตามแกนของแบบที่ 2 คือสามารถเอาอนุภาคด้านล่าง ได้อย่างมีประสิทธิภาพและตัดให้ขนาด

ทฤษฎีทำนายตัว aerodynamic เส้นผ่านศูนย์กลางพบเห็นด้วยกับการเผยแพร่ข้อมูลในวรรณคดีที่สภาวะแวดล้อม อย่างไรก็ตาม ในภาวะสุญญากาศและอัตราการไหลต่ำ ประสิทธิภาพชุดทดลองพบว่ามีค่าต่ำกว่าประสิทธิภาพทางทฤษฎี จากข้อมูลการทดลองกึ่งผสมผสานเชิงสมการเลขเรย์โนลด์ถูกพัฒนาขึ้นเพื่อทำนายการไหลตัวที่ดีหรือความถูกต้องที่ความดันขาเข้าขนาดแตกต่างกัน อัตราการไหลและการออกแบบไซโคลน .

นี้อัตราการไหลต่ำไซโคลนแบบไหลตามแกนจะใช้สำหรับการกำจัดอนุภาคในไอเสียต่ำปรับความดันห้องปฏิกิริยา เช่น ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ Optoelectronic .ในอนาคต มันคุ้มค่าที่จะศึกษาผลของอนุภาคและอนุภาคโหลดจากวัสดุในการดักจับอนุภาคประสิทธิภาพ