We develop a MEMS-friendly electret

We develop a MEMS-friendly electret film using CYTOP,
and examine its performance with a prototype micro seismic
generator. We also evaluate the electrostatic force with a simplified
model. The following conclusions can be derived:
(1) The maximum output power of 0.278 mW and peak-to-peak
voltage of 120 V have been obtained at 20 Hz oscillation with 4
MΩ external load. Therefore, energy harvesting on the order of
1 mW is feasible with electret generators.
(2) The present generator model can mimic the response of the
in-plane electret generator with sufficient accuracy.
(3) When two separate generators with a 180˚ phase difference
are integrated on a single chip, the in-plane electrostatic force
becomes smaller by two orders of magnitude. The trend of the
in-plane force is much different from previous models, such as
velocity-damped resonant generator.
This work is supported through the New Energy and Industrial
Technology Development Organization (NEDO) of Japan.
Photomasks are made using the EB writer F5112+VD01 at the
University of Tokyo VLSI Design and Education Center
(VDEC), which is donated by ADVANTEST Corporation.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เราพัฒนาฟิล์มการวิมิตร MEMS ใช้ CYTOP,
และตรวจสอบประสิทธิภาพการทำงาน ด้วยไมโครต้นแบบสั่นสะเทือน
เครื่องกำเนิดไฟฟ้า นอกจากนี้เรายังประเมินแรงงาน มีความง่าย
รุ่น ข้อสรุปต่อไปนี้สามารถ derived:
(1) กำลังขับสูงสุด 0.278 mW และพีคพีค
แรงดัน 120 V ได้ถูกรับที่สั่น 20 Hz กับ 4
MΩ โหลดภายนอกได้ ดังนั้น เก็บเกี่ยวพลังงานบนใบสั่งของ
1 mW จะเป็นไปกับการวิ generators.
(2) แบบเครื่องกำเนิดไฟฟ้าปัจจุบันสามารถเลียนแบบการตอบสนอง
กำเนิดการวิในเครื่องบินกับ accuracy.
(3) เพียงพอเมื่อกำเนิดสองแยกต่างหากกับ 180˚ เป็นระยะที่แตกต่าง
รวมบนชิปที่เดียว ในเครื่องบินไฟฟ้าสถิตแรง
จะเล็กลง โดยอันดับสองของขนาด แนวโน้มของการ
ในเครื่องบินบังคับมีมากแตกต่างจากรุ่นก่อนหน้า เช่น
ความเร็วทำให้ชื้นคงกำเนิด.
งานนี้ได้รับการสนับสนุนพลังงานใหม่และอุตสาหกรรม
เทคโนโลยีพัฒนาองค์กร (NEDO) ของญี่ปุ่น
Photomasks จะใช้ตัวเขียน EB F5112 VD01 ที่
มหาวิทยาลัยโตเกียว VLSI และศึกษา Center
(VDEC) ซึ่งบริจาค โดย บริษัท ADVANTEST

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เราพัฒนาฟิล์มอิเล็ก MEMS ง่ายโดยใช้ CYTOP,
และตรวจสอบประสิทธิภาพการทำงานของตนกับต้นแบบแผ่นดินไหวขนาดเล็ก
เครื่องกำเนิดไฟฟ้า นอกจากนี้เรายังประเมินแรงไฟฟ้าสถิตกับง่าย
แบบ ข้อสรุปต่อไปนี้สามารถมา:
(1) กำลังขับสูงสุดของ 0.278 เมกะวัตต์และสูงสุดที่จุดสูงสุด
ของแรงดันไฟฟ้า 120 V ได้รับที่ 20 Hz ความผันผวนที่มี 4
MΩโหลดภายนอก ดังนั้นการเก็บเกี่ยวพลังงานในคำสั่งของ
1 mW เป็นไปได้กับเครื่องปั่นไฟอิเล็ก
(2) รูปแบบเครื่องกำเนิดไฟฟ้าในปัจจุบันสามารถเลียนแบบการตอบสนองของ
เครื่องกำเนิดไฟฟ้าอิเล็กในเครื่องบินกับความถูกต้องเพียงพอ
(3) เมื่อทั้งสองเครื่องกำเนิดไฟฟ้าแยกต่างหากที่มีขั้นตอนการ180˚ ความแตกต่างที่
มีการบูรณาการในชิปตัวเดียวแรงไฟฟ้าสถิตในเครื่องบิน
จะมีขนาดเล็กโดยสองคำสั่งของขนาด แนวโน้มของการ
บังคับใช้ในเครื่องบินเป็นอย่างมากแตกต่างจากรุ่นก่อนหน้านี้เช่น
ความเร็วชื้นกำเนิดจังหวะ
งานนี้ได้รับการสนับสนุนผ่านพลังงานใหม่และอุตสาหกรรม
องค์การพัฒนาเทคโนโลยี (NEDO) ของญี่ปุ่น
Photomasks จะทำโดยใช้นักเขียน F5112 EB + VD01 ที่
มหาวิทยาลัยโตเกียวออกแบบ VLSI และศูนย์การศึกษา
(VDEC) ซึ่งเป็นที่รับบริจาคมาจาก ADVANTEST คอร์ปอเรชั่น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เราพัฒนา MEMS เป็นกันเอง electret ภาพยนตร์โดยใช้ cytop
, และตรวจสอบผลการดำเนินงาน เป็นต้นแบบ ไมโครแผ่นดินไหว
เครื่องกำเนิดไฟฟ้า เรายังประเมินพลังสถิตกับตัวย่อ
นางแบบ ข้อสรุปต่อไปนี้ได้มา :
( 1 ) สูงสุดของพลังงานที่ 0.278 MW สูงสุดสูงสุด
แรงดัน 120 V ได้รับ 20 Hz มีค่า 4
M Ωภายนอกโหลด ดังนั้นพลังงานในการสั่งซื้อของ
1 เมกะวัตต์ มีความคุ้มค่ากับ electret เครื่องปั่นไฟ เครื่องกำเนิดไฟฟ้า
( 2 ) รูปแบบปัจจุบันสามารถเลียนแบบการตอบสนองของ
ใน electret เครื่องกำเนิดไฟฟ้ากับความถูกต้องเพียงพอ .
( 3 ) เมื่อสองเครื่องแยกด้วยเฟสต่างกัน 180 ˚
รวมอยู่ในชิปเดียวในป๊อบ
กลายเป็นมีขนาดเล็กลง โดยคำสั่งของขนาด 2 แนวโน้มของ
ในพลังที่แตกต่างจากรุ่นก่อนหน้านี้ เช่น

จังหวะความเร็วหดหู่เครื่องปั่นไฟ งานนี้ได้รับการสนับสนุนจากองค์การพัฒนาเทคโนโลยีอุตสาหกรรมและพลังงานใหม่ ( NEDO ) ประเทศญี่ปุ่น
.
photomasks าใช้ EB นักเขียน f5112 vd01 ที่
มหาวิทยาลัยโตเกียวได้ด้วยการออกแบบและการศึกษาศูนย์
( vdec ) ซึ่งเป็นการบริจาคโดย Advantest Corporation