Elements added diamond-like carbon

Elements added diamond-like carbon films (hydrogen, fluorine,
and sulfur) were prepared on Si (100) wafers by the PBII technique.
The films were investigated in term of their structures, mechanical
properties, and tribological properties by using Raman spectroscopy,
nano-indentation hardness testing, contact angle measurement, and
ball-on-disk friction testing. It was observed that by increasing the C:H,
C:F, and C:S flow rate ratio, the hydrogen, fluorine, and sulfur contents
in the films decreases while the hardness and the elastic modulus
increases. The hardness and elastic modulus of H-DLC films can
increase values up to 11.2 GPa and 107 GPa with a C:H flowrate ratio of
2:1. Furthermore, the contact angle of all films tends to increase, while
the total surface energy gradually decreases with the hydrogen,
fluorine, and sulfur incorporation. H-DLC films at C:H flow rate ratio of
1:4 under ambient air shows a friction coefficient of 0.08, which is
considerable improvement in the tribological properties. This is due to
the formation of transfer films on the interface and high hydrogen
contents. The H-DLC films show lower friction coefficients and shorter
friction endurance under high vacuum than the S-DLC films, which is
because high hydrogen contents and C–H bonds are broken more
easily than C–S bonds. F-DLC and DLC-SP films show the friction
endurance was failed easily during tests due to low hydrogen contents.
The decrease in the friction coefficient is greater under high vacuum
than under ambient air.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

องค์ประกอบเพิ่มฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชร (ไฮโดรเจน ฟลูออรีนและกำมะถัน) วจัดบนเวเฟอร์ศรี (100) โดยเทคนิค PBIIภาพยนตร์ถูกสอบสวนในระยะของโครงสร้างของพวกเขา กลและ tribological โดยใช้รามันสเปกโทรสโกเยื้องนาโนความแข็งการทดสอบ การวัดมุมสัมผัส และการทดสอบแรงเสียดทานของลูกบนดิสก์นั้น พบที่ โดยการเพิ่ม C:HC:F และ C:S ไหลอัตราอัตรา ไฮโดรเจน ฟลูออรีน และกำมะถันในลดภาพยนตร์ในขณะที่ความแข็งและโมดูลัสยืดหยุ่นเพิ่มขึ้น โมดูลัสความแข็งและยืดหยุ่นฟิล์ม H DLC สามารถเพิ่มค่าสูงสุด 11.2 107 และเกรดเฉลี่ย GPa C:H ไหลอัตราส่วนของนอกจากนี้ 2:1. มุมสัมผัสของภาพยนตร์ทั้งหมดมีแนวโน้มที่ เพิ่มขึ้น ในขณะที่พลังงานทั้งหมดที่ผิวค่อย ๆ ลด ด้วยไฮโดรเจนฟลูออรีน และกำมะถันรวมตัวกัน ฟิล์ม H DLC ใน C:H ไหลอัตราอัตรา1:4 ภายใต้อากาศแวดล้อมแสดงสัมประสิทธิ์แรงเสียดทาน 0.08 ซึ่งเป็นปรับปรุงที่สำคัญในคุณสมบัติ tribological ซึ่งจะครบกำหนดการก่อตัวของฟิล์มถ่ายโอนบนอินเทอร์เฟซและไฮโดรเจนสูงเนื้อหา ฟิล์ม H DLC แสดงสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ และสั้นความอดทนแรงเสียดทานภายใต้สุญญากาศสูงกว่าฟิล์ม S DLC ซึ่งเป็นเนื่องจากไฮโดรเจนสูงเนื้อหาและพันธะ C-H จะแตกมากขึ้นได้ง่ายกว่าพันธะ C – S ฟิล์ม F DLC และ DLC SP แสดงแรงเสียดทานความอดทนถูกล้มเหลวในระหว่างการทดสอบเนื่องจากไฮโดรเจนต่ำเนื้อหาได้อย่างง่ายดายการลดค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานมีมากขึ้นภายใต้สุญญากาศสูงกว่าภายใต้อากาศแวดล้อม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

องค์ประกอบเพิ่มเพชรเหมือนภาพยนตร์คาร์บอนไดออกไซด์ (ไฮโดรเจนฟลูออรีน
และกำมะถัน) ได้รับการจัดทำขึ้นในศรี (100) เวเฟอร์โดยเทคนิค PBII.
ภาพยนตร์ที่ได้รับการตรวจสอบในส่วนของโครงสร้างของพวกเขากล
คุณสมบัติและคุณสมบัติ tribological โดยใช้สเปกรามัน,
นาโน การทดสอบความแข็ง -indentation ติดต่อวัดมุมและ
ลูกบนดิสก์ทดสอบแรงเสียดทาน มันถูกตั้งข้อสังเกตว่าโดยการเพิ่ม C: H,
C: F, และอัตราส่วน C: S อัตราการไหลของไฮโดรเจนฟลูออรีนและเนื้อหากำมะถัน
ในภาพยนตร์ลดลงในขณะที่ความแข็งและความยืดหยุ่นโมดูลัส
เพิ่มขึ้น ความแข็งและความโมดูลัสยืดหยุ่นของภาพยนตร์ H-DLC สามารถ
เพิ่มค่าได้ถึง 11.2 GPa และ 107 GPa กับอัตราส่วน C: อัตราการไหลของ H
2: 1 นอกจากนี้มุมสัมผัสของภาพยนตร์ทุกเรื่องมีแนวโน้มที่จะเพิ่มขึ้นในขณะที่
พลังงานผิวทั้งหมดค่อยๆลดลงด้วยไฮโดรเจน
ฟลูออรีนและกำมะถันรวมตัวกัน ภาพยนตร์ H-DLC ที่ C: อัตราส่วนอัตราการไหลของ H
1: 4 ภายใต้อากาศแสดงให้เห็นว่าค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทาน 0.08 ซึ่งเป็น
การปรับปรุงอย่างมากในคุณสมบัติ tribological นี้เกิดจากการ
ก่อตัวของภาพยนตร์การถ่ายโอนในอินเตอร์เฟซและไฮโดรเจนสูง
เนื้อหา ภาพยนตร์ H-DLC แสดงค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำและสั้น
แรงเสียดทานความอดทนภายใต้สูญญากาศสูงกว่าภาพยนตร์ S-DLC ซึ่งเป็น
เพราะเนื้อหาไฮโดรเจนสูงและพันธบัตร C-H จะแตกมากขึ้น
ได้อย่างง่ายดายกว่าพันธบัตร C-S F-DLC และภาพยนตร์ DLC-SP แสดงแรงเสียดทาน
ความอดทนถูกล้มเหลวได้ง่ายในระหว่างการทดสอบเนื่องจากเนื้อหาไฮโดรเจนต่ำ.
การลดลงของค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานที่ยิ่งใหญ่ภายใต้สูญญากาศสูง
กว่าภายใต้อากาศโดยรอบ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

องค์ประกอบเพิ่มฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชร ( ไฮโดรเจน ฟลูออรีนและกำมะถัน ) เตรียมในจังหวัด ( 100 ) เวเฟอร์ ด้วยเทคนิค pbii .ภาพยนตร์ที่ถูกศึกษาในแง่ของโครงสร้างของเครื่องจักรกลคุณสมบัติ และ tribological คุณสมบัติโดยใช้ Raman spectroscopy ,ทดสอบความแข็งเยื้อง nano , การวัดมุมสัมผัส และในการทดสอบแรงเสียดทานดิสก์บอล พบว่าโดยการเพิ่ม C : H ,C : F , C : S อัตราส่วนอัตราการไหล , ไฮโดรเจน และซัลเฟอร์ปริมาณฟลูออรีนในการลดฟิล์มในขณะที่ความแข็งและค่าโมดูลัสยืดหยุ่นเพิ่มขึ้น ความแข็งและค่าโมดูลัสยืดหยุ่นของ h-dlc ภาพยนตร์สามารถเพิ่มค่าถึง 11.2 และเกรดเฉลี่ย GPA 107 กับ C : H อัตราส่วนอัตราการไหล2 : 1 . นอกจากนี้ มุมสัมผัสของหนังทั้งหมดมีแนวโน้มเพิ่มขึ้น ในขณะที่พลังงานพื้นผิวทั้งหมดค่อยๆลดลงกับไฮโดรเจนฟลูออรีน และซัลเฟอร์ บริษัท ภาพยนตร์ h-dlc ที่ C : H อัตราส่วนอัตราการไหลของ1 : 4 ในอากาศแสดงสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานเท่ากับซึ่งเป็นการปรับปรุงมากในคุณสมบัติ tribological . นี้คือเนื่องจากการก่อตัวของฟิล์มการอินเตอร์เฟซและไฮโดรเจนสูงสารบัญ h-dlc ลดแรงเสียดทานสัมประสิทธิ์ที่แสดงภาพยนตร์สั้นแรงเสียดทานความอดทนภายใต้สูญญากาศสูงกว่า s-dlc ภาพยนตร์ซึ่งเป็นเพราะเนื้อหาไฮโดรเจนสูงและ C และ H พันธบัตรจะแตกมากกว่าได้อย่างง่ายดายกว่า C ) ของพันธบัตร f-dlc dlc-sp ภาพยนตร์และแสดงการเสียดสีความอดทนคือล้มเหลวได้อย่างง่ายดายในระหว่างการทดสอบเนื่องจากเนื้อหาไฮโดรเจนต่ำลดสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานมากขึ้นภายใต้สูญญากาศสูงต่ำกว่าอุณหภูมิอากาศ