These differences are probably caused by the presence of hydrogenous bonds in consequence of an incomplete decomposition of HMDS molecules during the low temperature and low r. f. power growth process.
ความแตกต่างเหล่านี้อาจเกิดขึ้นจากการปรากฏตัวของพันธบัตร hydrogenous ผลที่ตามมาของการสลายตัวไม่สมบูรณ์ของโมเลกุล HMDS ในระหว่างการอุณหภูมิต่ำและ f. r. ต่ำพลังงานกระบวนการเติบโต