Since the initial sealing ofFig. 4.

Since the initial sealing of
Fig. 4. Measured capacitance versus relative humidity for a 300-Å device at
37 C.
Fig. 5. Measured capacitance versus relative humidity plot from a 660-Å
device at 37 C.
TABLE I
A COMPARISON OF DIFFERENT POLYIMIDE
DESIGNS
the package is performed in a low humidity environment, the
polyimide sensor is expected to perform satisfactorily. Furthermore,
as the device is to be used for long term low to moderate
humidity levels (indicative of the environment inside the anodically
sealed packages) we have decided to test the sensor at
37 C with 50% RH constant humidity for longer durations (10
days). Fig. 7 shows the behavior of the device from this test.
Even though the drift obtained after 10 days of testing is relatively
low ( 3%RH), the authors note that polyimides in general
are known to have long term stability problems and hence
additional longer term tests need to be conducted prior to the
actual field use of these sensors.
200

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ตั้งแต่เริ่มต้นของการปิดผนึกรูป
4. ความจุเมื่อเทียบกับวัดความชื้นสัมพัทธ์สำหรับอุปกรณ์ 300 ที่
37
องศาเซลเซียสรูป 5. ความจุเมื่อเทียบกับพล็อตวัดความชื้นสัมพัทธ์จาก 660-A
อุปกรณ์ที่ 37
องศาเซลเซียสตารางฉันเปรียบเทียบ
polyimide ต่าง ๆ ให้
DESIGNS
แพคเกจที่จะดำเนินการในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นต่ำเซ็นเซอร์ ธ เธเธฃคาดว่าจะดำเนินการเป็นที่น่าพอใจ
นอกจากนี้เป็นอุปกรณ์ที่จะนำมาใช้ในระยะยาวต่ำถึงปานกลางระดับความชื้น(บ่งบอกถึงสภาพแวดล้อมภายใน anodically แพคเกจที่ปิดสนิท) ที่เราได้ตัดสินใจที่จะทดสอบเซ็นเซอร์ที่37 C 50% RH ความชื้นคงที่สำหรับระยะเวลานาน (10 วัน ) รูป 7 แสดงให้เห็นถึงการทำงานของอุปกรณ์จากการทดสอบนี้. แม้ว่าจะดริฟท์ได้รับหลังจาก 10 วันของการทดสอบที่ค่อนข้างต่ำ(3% RH) ที่ผู้เขียนทราบว่า polyimides โดยทั่วไปเป็นที่รู้จักกันจะมีปัญหาความมั่นคงในระยะยาวและด้วยเหตุนี้คำเพิ่มเติมอีกต่อไปการทดสอบจะต้องมีการดำเนินการก่อนที่จะมีการใช้สนามจริงของเซ็นเซอร์เหล่านี้. 200

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตั้งแต่เริ่มต้นซีล
รูปที่ 4 วัดความจุไฟฟ้าและความชื้นสัมพัทธ์สำหรับ 300 - •อุปกรณ์ที่ 37 C .

รูปที่ 5 วัดความจุเมื่อเทียบกับแปลงความชื้นสัมพัทธ์จากอุปกรณ์ 660 - •
37 C .

โต๊ะผมเปรียบเทียบการออกแบบ polyimide

แพคเกจการต่างๆ ในสภาพแวดล้อม ความชื้นต่ำ
polyimide เซนเซอร์คาดว่าจะดำเนินการน่าพอใจ นอกจากนี้
เป็นอุปกรณ์ที่จะใช้สำหรับในระยะยาวต่ำระดับความชื้นปานกลาง
( บ่งบอกถึงสภาพแวดล้อมภายใน anodically
ปิดผนึกบรรจุภัณฑ์ ) เราได้ตัดสินใจที่จะทดสอบเซ็นเซอร์ที่
37 องศาเซลเซียส ความชื้นสัมพัทธ์ 50% ความชื้นคงที่สำหรับระยะเวลานาน ( 10
วัน ) รูปที่ 7 แสดงให้เห็นพฤติกรรมของอุปกรณ์ทดสอบนี้ .
ถึงแม้ว่าดริฟท์ได้หลังจาก 10 วันของการทดสอบค่อนข้าง
ต่ำ ( 3 เปอร์เซ็นต์ )ผู้เขียนสังเกตว่า พอลิไอไมด์ในทั่วไป
รู้จักมีปัญหาเสถียรภาพระยะยาวและระยะยาวจึง
เพิ่มเติมทดสอบต้องดำเนินการก่อนที่จะใช้สนามของเซ็นเซอร์เหล่านี้จริง
.
200