Listed in Table 1, are the results

Listed in Table 1, are the results of a mass balance
analysis for the PECVD and CVD reactions, using the
same process conditions as given in the preceding paragraph.
The zinc in the film is calculated from the volume of
the deposit times an assumed density of 5:6g=cm3 [13]. The
deposition efficiency is obtained by dividing the Zn in the
film by the amount of Zn fed to the reactor. The film
deposited by PECVD with O2 exhibited an average growth
rate of 37 nm/min, and a deposition efficiency of 17%.
Films grown by PECVD with carbon dioxide or CVD with
oxygen yielded slightly lower growth rates of 33 nm/min,
and the same deposition efficiency. On the other hand,
thermal CVD with CO2 exhibited the lowest growth rate
and efficiency, most likely due to the lower reactivity of
carbon dioxide with diethylzinc.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แสดงในตารางที่ 1 คือผลลัพธ์ของดุลมวล
วิเคราะห์สำหรับการ PECVD และผิว CVD ปฏิกิริยา ใช้
เหมือนกระบวนการเงื่อนไขที่กำหนดในก่อนหน้านี้ย่อหน้า
คำนวณจากปริมาณสังกะสีในฟิล์ม
ฝากเวลาความหนาแน่นการสันนิษฐานของ 5:6 = cm3 [13] ใน
ประสิทธิภาพสะสมจะได้รับ โดยแบ่ง Zn ใน
ฟิล์มที่ Zn ที่เลี้ยงไปปล่อย ฟิล์ม
ฝากด้วย PECVD กับ O2 จัดแสดงการเจริญเติบโตเฉลี่ย
อัตรา 37 nm/min และประสิทธิภาพการสะสมของ 17%.
Films พัฒนา โดย PECVD กับก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์หรือผิว CVD ด้วย
ออกซิเจนเต็มอัตราเติบโตต่ำกว่า 33 nm/min,
และประสิทธิภาพสะสมกัน บนมืออื่น ๆ,
ผิว CVD ร้อนกับ CO2 จัดแสดงอัตราการเติบโตต่ำ
และ ประสิทธิภาพ มักเนื่องจากการเกิดปฏิกิริยาต่ำของ
คาร์บอนไดออกไซด์กับ diethylzinc

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ที่ระบุไว้ในตารางที่ 1 เป็นผลของความสมดุลมวล
วิเคราะห์ PECVD และซีวีดีปฏิกิริยาโดยใช้
เงื่อนไขกระบวนการเดียวกันตามที่กำหนดในวรรคก่อน
สังกะสีในภาพยนตร์เรื่องนี้จะคำนวณจากปริมาณของ
เงินฝากครั้งความหนาแน่นสันนิษฐานของ 05:06 กรัม = cm3 [13]
ประสิทธิภาพการสะสมได้โดยแบ่งธาตุสังกะสีใน
ภาพยนตร์โดยปริมาณของธาตุสังกะสีเลี้ยงเครื่องปฏิกรณ์ ฟิล์ม
ฝากโดย PECVD ด้วย O2 แสดงการเติบโตเฉลี่ย
อัตราจาก 37 นาโนเมตร / นาทีและมีประสิทธิภาพการสะสมของ 17%
ภาพยนตร์เติบโตขึ้นโดย PECVD คาร์บอนไดออกไซด์หรือซีวีดีด้วย
ออกซิเจนให้ผลอัตราการเติบโตลดลงเล็กน้อยจาก 33 นาโนเมตร / นาที,
และ ประสิทธิภาพการสะสมเหมือนกัน ในขณะที่
ซีวีดีความร้อนด้วย CO2 แสดงอัตราการเติบโตที่ต่ำที่สุด
และมีประสิทธิภาพมากที่สุดเนื่องจากการลดลงของการเกิดปฏิกิริยา
ก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์ด้วย Diethylzinc

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ที่ระบุไว้ในตารางที่ 1 ผลของการวิเคราะห์สมดุล
มวลปฏิกิริยาและ pecvd ซีวีดีโดยใช้
เงื่อนไขกระบวนการเดียวกับที่ระบุในวรรคก่อน
สังกะสีในฟิล์มจะถูกคำนวณจากปริมาณของ
ฝากครั้ง สันนิษฐาน 5:6g = ความหนาแน่นของ cm3 [ 13 ]
ของประสิทธิภาพได้โดยการหาร Zn ใน
ภาพยนตร์โดยปริมาณของสังกะสีในอาหารเครื่องปฏิกรณ์ได้ ภาพยนตร์
ฝากด้วย pecvd กับ O2 มีอัตราการเจริญเติบโตเฉลี่ย
37 nm / นาที และจากประสิทธิภาพของ 17 %
ภาพยนตร์เติบโตโดย pecvd ด้วยก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์หรือ CVD กับ
ออกซิเจนลดลงเล็กน้อยจากอัตราการเติบโตของ 33 nm / min
และประสิทธิภาพการเดียวกัน บนมืออื่น ๆ , โรคหัวใจและหลอดเลือด
ความร้อนกับ co2 มีต่ำสุดอัตราการเจริญเติบโต
และประสิทธิภาพมากที่สุด เนื่องจากการลดปฏิกิริยาของ
คาร์บอนไดออกไซด์กับ diethylzinc .