Mechanical engineeringFrom Mounting

Mechanical engineering

From Mounting methodologies to measure EUV reticle nonflatness (SPIE Proceedings 7470, 2009), by UW–Madison Professor Roxanne L. Engelstad's lab. Notice how Battula et al. explain the limitations of their findings, and identify specific future developments that would make their proposal more accurately testable.

The horizontal whiffle tree mount should have performed the best considering the kinematics of the 16 support points, as well as theoretically displaying the least amount of gravitational distortions. However, due to possible friction at the pivoted joints and the current tolerances on the whiffle tree system, there were difficulties in using this mount. At this time, the process of averaging the measurements taken at four vertical orientations appears to be the best approach.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วิศวกรรมเครื่องกลจากวิธีติดวัด EUV reticle nonflatness (SPIE ตอน 7470, 2009), โดยอาจารย์ UW แมดิสัน Roxanne L. Engelstad ของแล็บ สังเกตว่า Battula et al. อธิบายข้อจำกัดของการค้นพบ และระบุการพัฒนาในอนาคตที่จะทำให้ข้อเสนอของ testable ได้แม่นยำมากขึ้นภูเขาต้นไม้ whiffle แนวนอนควรได้ปฏิบัติส่วนพิจารณา kinematics คะแนนสนับสนุน 16 ตลอดจนแสดงบิดเบือนความโน้มถ่วงน้อยตามหลักวิชา อย่างไรก็ตาม เนื่องจากแรงเสียดทานได้ที่รอยต่อ pivoted และยอมรับปัจจุบันระบบทรี whiffle มีความยากลำบากในการใช้เมาท์นี้ ตอนนี้ การหาค่าเฉลี่ยการวัดที่แนวแนวตั้งสี่แล้วเป็น วิธีดีที่สุด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

วิศวกรรมเครื่องกลจากการติดตั้งวิธีการในการวัดเส้นเล็ง EUV nonflatness (SPIE ดำเนินการ 7470 2009) โดยห้องปฏิบัติการ UW-Madison ศาสตราจารย์ร็อกแซนแอล Engelstad ของ ขอให้สังเกตว่า Battula et al, อธิบายข้อ จำกัด ของการค้นพบของพวกเขาและการพัฒนาในอนาคตระบุเฉพาะเจาะจงที่จะทำให้ข้อเสนอของพวกเขาถูกต้องมากขึ้นทดสอบ. พัดต้นไม้ติดแนวนอนควรจะมีการดำเนินการที่ดีที่สุดเมื่อพิจารณาจลนศาสตร์ของการสนับสนุน 16 จุดเช่นเดียวกับทฤษฎีการแสดงจำนวนน้อยที่สุดของแรงโน้มถ่วง บิดเบือน แต่เนื่องจากแรงเสียดทานที่เป็นไปได้ที่ข้อต่อหมุนและความคลาดเคลื่อนในปัจจุบันในระบบพัดต้นไม้มีความยากลำบากในการใช้ภูเขานี้ ในเวลานี้ขั้นตอนการวัดเฉลี่ยถ่ายในแนวตั้งแนวสี่ดูเหมือนจะเป็นวิธีที่ดีที่สุด

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

วิศวกรรมเครื่องกล

จากวิธีการติดตั้งเพื่อวัด euv Reticle nonflatness ( spie ตอน 7470 2009 ) โดย UW แมดิสันศาสตราจารย์ Roxanne L . engelstad แล็บ สังเกตเห็นว่า battula et al . อธิบายถึงข้อจำกัดของการค้นพบของพวกเขาและระบุการพัฒนาในอนาคตที่เฉพาะเจาะจงที่จะทำให้ข้อเสนอของพวกเขาถูกต้อง

ทดสอบได้มากขึ้นต้นไม้ภูเขาควรรวนเรแนวนอนได้กระทำที่ดีที่สุดพิจารณาการเคลื่อนที่ของ 16 สนับสนุนจุด รวมทั้งทฤษฎีความโน้มถ่วงแสดงจำนวนเงินที่น้อยที่สุดของการบิดเบือน อย่างไรก็ตาม เนื่องจากแรงเสียดทานที่เป็นไปได้ที่ pivoted ข้อต่อและคลาดเคลื่อนปัจจุบันในระบบต้นไม้รวนเร , มีปัญหาในการใช้ภูเขานี้ ในเวลาแบบนี้กระบวนการของการเฉลี่ยค่าการวัดที่ถ่ายแนวตั้ง ประเภท 4 ที่ดูเหมือนจะเป็นวิธีที่ดีที่สุด