To be able to capture the effect of

To be able to capture the effect of manufacturing parameters on the resulting structures, equipment simulation is needed. The implementation of this analysis for a PECVD process has been demonstrated which needs treatment of a plasma process on the equipment as well as on the feature scale. The interface between both scales is based on transferring the relevant neutral and ion flux data.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เพื่อให้สามารถจับลักษณะของพารามิเตอร์ในโครงสร้างผลผลิต การจำลองอุปกรณ์จำเป็น ดำเนินการวิเคราะห์นี้สำหรับกระบวนการ PECVD ได้ถูกสาธิตจำเป็นต้องรักษากระบวนการพลาสมา บนอุปกรณ์เช่นเดียว กับ ในระดับคุณลักษณะ อินเทอร์เฟซระหว่างระดับทั้งสองตามโอนย้ายกลางที่เกี่ยวข้องและไอออนไหลข้อมูล

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เพื่อให้สามารถจับภาพผลของพารามิเตอร์การผลิตเกี่ยวกับโครงสร้างที่เกิดการจำลองอุปกรณ์ที่จำเป็น การดำเนินการของการวิเคราะห์กระบวนการ PECVD นี้ได้รับการแสดงให้เห็นถึงการรักษาที่ต้องการของกระบวนการพลาสม่าบนอุปกรณ์เช่นเดียวกับระดับคุณลักษณะ อินเตอร์เฟซระหว่างเครื่องชั่งน้ำหนักทั้งสองจะขึ้นอยู่กับการถ่ายโอนข้อมูลที่เป็นกลางและการไหลของไอออนที่เกี่ยวข้อง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

จะสามารถจับภาพผลกระทบของพารามิเตอร์ในการผลิตส่งผลให้โครงสร้างจำลองอุปกรณ์ที่จำเป็น การดำเนินงานของการวิเคราะห์ในกระบวนการ pecvd ได้แสดง ซึ่งต้องการการรักษาของกระบวนการพลาสมาบนอุปกรณ์ ตลอดจนคุณลักษณะขนาด อินเตอร์เฟซระหว่างทั้งสองระดับจะขึ้นอยู่กับการถ่ายโอนข้อมูลที่เป็นกลางและอิออนฟลักซ์