Background and MotivationMicro-elec

Background and Motivation
Micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology has developed numerous micro
sensors, actuators and the related systems for diverse applications. Some notable examples
include pressure/tilt sensors, accelerometers, gyroscope, chemical sensors and micro biomedical
devices, lab-on-a-chip, resonators, displays, optical switches and radio frequency (RF) switches,
printer heads, energy harvesting and storage, and data storage [1]. Recently, the MEMS market
has grown dramatically with some exciting applications in consumer electronics. For example,
an accelerometer gears every iPhone with the function of detection of rotation for the proper
display of contents. Qualcomm’s MEMS display for mobile devices offers low power
consumption and superb viewing quality in a wide range of environmental conditions, including
bright sunlight. Tire Pressure Monitoring System (TPMS) became a standard feature equipped in
tens of millions of automobiles. Nintendo’s Wii game console uses accelerometers to detect
accelerations in three dimensions of the handheld pointing device.
To bring all these MEMS devices from development to commercialized products,
packaging is usually a major consideration. MEMS devices consist of fragile and movable
structures and packaging is a critical step to provide physical protection and connection to the
external environment. MEMS devices also require a controlled ambient, usually at vacuum, to
operate properly. Very often, the performance of the MEMS devices are determined by the
packaging quality [2-5]. In addition, packaging has to adapt to a diversity of applications, device

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

พื้นหลังและแรงจูงใจระบบไมโครอิเล็กทรอนิกส์ทางกล (MEMS) เทคโนโลยีได้พัฒนาไมโครมากมายเซนเซอร์ actuators และระบบที่เกี่ยวข้องสำหรับการใช้งานที่หลากหลาย ตัวอย่างที่โดดเด่นเซ็นเซอร์ความดัน/เอียง หัว ไจโรสโคป เซนเซอร์ทางเคมี และไมโครชีวการแพทย์อุปกรณ์ ห้องปฏิบัติการบนชิป เวลา แสดง สวิตช์แสง และ สลับคลื่นความถี่วิทยุ (RF)หัวเครื่องพิมพ์ การเก็บเกี่ยวพลังงาน และเก็บข้อมูล และจัดเก็บข้อมูล [1] เมื่อเร็ว ๆ นี้ MEMS ตลาดมีการเติบโตอย่างมากกับบางโปรแกรมที่น่าตื่นเต้นในเครื่องใช้ไฟฟ้า ตัวอย่างเช่นเร่งเดินทุก iPhone มีฟังก์ชั่นในการตรวจจับหมุนเหมาะสมของแสดงผลของเนื้อหา แสดง MEMS ของ Qualcomm สำหรับอุปกรณ์เคลื่อนที่มีพลังงานต่ำปริมาณและคุณภาพดูดีเลิศในรูปแบบของสภาพแวดล้อม รวมทั้งจ้า ยางความดันการตรวจสอบระบบ (TPMS) ได้กลายเป็น คุณลักษณะมาตรฐานในหลายสิบล้านรถยนต์ เกมคอนโซล Wii ของนินเทนโดใช้หัวในการตรวจเร่งในสามมิติของอุปกรณ์ชี้ตำแหน่งมือถือการนำอุปกรณ์ MEMS เหล่านี้ทั้งหมดจากการพัฒนาผลิตภัณฑ์รายได้เชิงพาณิชย์บรรจุภัณฑ์มักจะเป็นปัจจัยสำคัญ ประกอบด้วยอุปกรณ์ MEMS เปราะบาง และสามารถเคลื่อนย้ายโครงสร้างและบรรจุภัณฑ์เป็นขั้นตอนสำคัญเพื่อให้การป้องกันทางกายภาพและการเชื่อมต่อสภาพแวดล้อมภายนอก อุปกรณ์ MEMS ยังต้องควบคุมอุณหภูมิ โดยปกติเวลาสุญญากาศ การทำงานอย่างถูกต้อง บ่อย ประสิทธิภาพของอุปกรณ์ MEMS ถูกกำหนดโดยการบรรจุภัณฑ์คุณภาพ [2-5] นอกจากนี้ บรรจุภัณฑ์มีการปรับให้เข้ากับความหลากหลายของการใช้งาน อุปกรณ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความเป็นมาและแรงจูงใจใน
ระบบ Micro-กลไฟฟ้า (MEMS) ได้มีการพัฒนาเทคโนโลยีไมโครหลาย
เซ็นเซอร์ตัวกระตุ้นและระบบที่เกี่ยวข้องกับการใช้งานที่หลากหลาย บางตัวอย่างที่โดดเด่น
รวมถึงเซนเซอร์ความดัน / เอียง accelerometers, หมุน, เซนเซอร์ทางเคมีและชีวการแพทย์ไมโคร
อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการบนชิป, resonators แสดง, สวิทช์แสงและคลื่นความถี่วิทยุ (RF) สวิทช์
หัวเครื่องพิมพ์การเก็บเกี่ยวพลังงานและการเก็บรักษา และการจัดเก็บข้อมูล [1] เมื่อเร็ว ๆ นี้ตลาด MEMS
ได้เติบโตขึ้นอย่างมากกับการใช้งานที่น่าสนใจบางในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ ยกตัวอย่างเช่น
การ accelerometer เกียร์ iPhone ทุกฟังก์ชั่นของการตรวจสอบของการหมุนสำหรับที่เหมาะสม
การแสดงผลของเนื้อหา จอแสดงผล MEMS วอลคอมม์สำหรับอุปกรณ์มือถือมีพลังงานต่ำ
การบริโภคและคุณภาพดูที่ยอดเยี่ยมในช่วงกว้างของสภาพแวดล้อมรวมทั้ง
แสงแดดสดใส ระบบตรวจสอบความดันลมยาง (TPMS) กลายเป็นคุณสมบัติมาตรฐานการติดตั้งใน
หลายสิบล้านของรถยนต์ ของ Nintendo Wii เกมคอนโซลใช้ accelerometers เพื่อตรวจจับ
ความเร่งในสามมิติของอุปกรณ์ชี้ตำแหน่งที่มีด้ามจับ.
ที่จะนำทุกอุปกรณ์เหล่านี้ MEMS จากการพัฒนาเชิงพาณิชย์ให้กับผลิตภัณฑ์,
บรรจุภัณฑ์มักจะมีการพิจารณาที่สำคัญ MEMS อุปกรณ์ประกอบด้วยเปราะบางและสามารถเคลื่อนย้าย
โครงสร้างและบรรจุภัณฑ์ที่เป็นขั้นตอนสำคัญเพื่อให้การป้องกันทางกายภาพและการเชื่อมต่อกับ
สภาพแวดล้อมภายนอก MEMS อุปกรณ์นอกจากนี้ยังต้องมีการควบคุมโดยรอบปกติจะอยู่ที่สูญญากาศในการ
ทำงานอย่างถูกต้อง บ่อยครั้งมากที่ประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ MEMS จะถูกกำหนดโดย
คุณภาพของบรรจุภัณฑ์ [2-5] นอกจากนี้บรรจุภัณฑ์ที่มีการปรับให้เข้ากับความหลากหลายของการใช้งานอุปกรณ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แรงจูงใจและภูมิหลังระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค ( MEMS ) เทคโนโลยีมีการพัฒนามากมาย ไมโครเซ็นเซอร์ตัวกระตุ้นและระบบที่เกี่ยวข้อง สำหรับการใช้งานที่หลากหลาย ตัวอย่างที่น่าประทับใจบางอย่างได้แก่ความดัน / เอียงเซนเซอร์ accelerometers , gyroscope , เซ็นเซอร์เคมีและไมโครชีวการแพทย์อุปกรณ์ lab-on-a-chip Resonators , แสดง , สวิตช์แสงและความถี่วิทยุ ( RF ) สวิตช์หัวพิมพ์ , การเก็บเกี่ยวพลังงาน และเก็บข้อมูล และจัดเก็บข้อมูล [ 1 ] เมื่อเร็วๆ นี้ รวมทั้งที่ตลาดได้เติบโตขึ้นอย่างมากกับความตื่นเต้นในการประยุกต์ใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ผู้บริโภค ตัวอย่างเช่นaccelerometer เกียร์ทุก iPhone ด้วยฟังก์ชั่นตรวจจับการหมุนที่เหมาะสมแสดงเนื้อหา ควอลคอมม์ MEMS จอแสดงผลสำหรับอุปกรณ์มือถือที่มีพลังงานต่ำการบริโภคและยอดเยี่ยมดูคุณภาพในหลากหลายของเงื่อนไขด้านสิ่งแวดล้อม ได้แก่แสงแดดสดใส ระบบการตรวจสอบความดันยาง ( TPMS ) เป็นมาตรฐานคุณลักษณะที่ติดตั้งในนับล้านของรถยนต์ Nintendo Wii เกมคอนโซลใช้ accelerometers เพื่อตรวจหาความเร่งในสามมิติของมือถืออุปกรณ์ชี้ .นำทั้งหมดเหล่านี้อุปกรณ์ MEMS จากการพัฒนาเชิงพาณิชย์ผลิตภัณฑ์บรรจุภัณฑ์มักจะเป็นปัจจัยใหญ่ MEMS อุปกรณ์ประกอบด้วยกรอบ และเคลื่อนที่โครงสร้างและการบรรจุภัณฑ์ เป็นขั้นตอนที่สำคัญเพื่อให้การป้องกันทางกายภาพและความเกี่ยวข้องกับสภาพแวดล้อมภายนอก ซึ่งอุปกรณ์ยังต้องควบคุมอุณหภูมิ ปกติที่สูญญากาศ ,ทํางานได้อย่างถูกต้อง มากมักจะ , ประสิทธิภาพของ MEMS อุปกรณ์ที่กำหนดโดยบรรจุภัณฑ์คุณภาพ [ 2-5 ] นอกจากนี้บรรจุภัณฑ์ต้องปรับให้เข้ากับความหลากหลายของการใช้งานอุปกรณ์