A repulsive-force out-of-plane larg

A repulsive-force out-of-plane large stroke translation micro electrostatic actuator is presented. A model of the actuator is presented and is used to relate the applied voltage to the out-of-plane displacement. Prototypes of the actuator are fabricated using the surface micromachining technology PolyMUMPs. The measured results show that the actuator can achieve a static out-of-plane translation of 86 µm for a driving voltage of 200 V. The measured static performance matches well with the results predicted by the model. The measured bandwidth (–3 dB) for the out-of-plane translation of the micro actuator is 80 and 200 Hz for input sinusoidal driving voltages varying in the ranges of 75–125 V and 125–175 V, respectively. The translation micro actuator can also achieve 2D rotation along any direction within a mechanical rotation range of ±1.5°. Vector display based on the actuator is also demonstrated.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การนำเสนอเป็นเส้นใหญ่ออกของเครื่องบินบังคับ repulsive แปลไมโครสถิต actuator แบบจำลองของ actuator ที่จะนำเสนอ และใช้ในการเกี่ยวข้องกับแรงดันไฟฟ้าที่ใช้แทนออกของเครื่องบิน ต้นแบบของ actuator ที่ fabricated ใช้เทคโนโลยี micromachining ผิว PolyMUMPs ผลการวัดแสดงว่า actuator ที่สามารถบรรลุการแปลออกของเครื่องบินคง 86 µm สำหรับแรงดันขับ 200 V วัดคงประสิทธิภาพการทำงานตรงกับผลลัพธ์ที่คาดการณ์ โดยแบบจำลอง วัดแบนด์ (–3 dB) สำหรับการแปล actuator ไมโครออกของเครื่องบินเป็น 80 และ 200 Hz สำหรับอินพุต sinusoidal ขับแรงดันแตกต่างกันไปในช่วง 75-125 V และ V 125-175 ตามลำดับ การแปล micro actuator สามารถยังบรรลุ 2D หมุนตามทิศทางภายในช่วงเพ็ช ±1.5 ° นอกจากนี้ยังมีสาธิตแสดงเวกเตอร์ตาม actuator ที่

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

น่ารังเกียจแรงออกจากเครื่องบินแปลโรคหลอดเลือดสมองที่มีขนาดใหญ่ตัวกระตุ้นไฟฟ้าสถิตขนาดเล็กที่นำเสนอ รูปแบบของตัวกระตุ้นที่จะนำเสนอและใช้ในการเกี่ยวข้องกับแรงดันไฟฟ้าที่นำมาใช้เพื่อออกจากเครื่องบินเคลื่อนที่ ต้นแบบของตัวกระตุ้นจะประดิษฐ์โดยใช้พื้นผิวไมโคร PolyMUMPs เทคโนโลยี ผลการวัดแสดงให้เห็นว่าตัวกระตุ้นจะประสบความสำเร็จคงออกจากเครื่องบินแปล 86 ไมโครเมตรสำหรับแรงดันขับรถ 200 โวลต์วัดประสิทธิภาพคงที่ตรงกับผลที่คาดการณ์โดยรูปแบบ แบนด์วิดธ์วัด (-3 dB) สำหรับการแปลออกจากเครื่องบินของตัวกระตุ้นไมโครคือ 80 และ 200 Hz สำหรับการป้อนแรงดันไฟฟ้าที่ขับรถซายน์ที่แตกต่างกันในช่วงของ 75-125 V และ V 125-175 ตามลำดับ แปลกระตุ้นไมโครยังสามารถบรรลุ 2D หมุนตามทิศทางใด ๆ ภายในช่วงการหมุนกลของ± 1.5 ° จอแสดงผลแบบเวกเตอร์อยู่บนพื้นฐานของตัวกระตุ้นที่มีการแสดงให้เห็นถึง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป็นแรงผลักออกจากเครื่องบินขนาดใหญ่ stroke แปล Micro Actuator ไฟฟ้าสถิตคือแสดง รูปแบบของตัวแสดงและใช้กับความต่างศักย์ที่ออกแบบเครื่องบิน ต้นแบบของตัวจะประดิษฐ์พื้นผิว micromachining polymumps โดยใช้เทคโนโลยีผลการตรวจวัดพบว่า Actuator สามารถบรรลุคงที่จากการแปลเครื่องบิน 86 µ M สำหรับขับแรงดัน 200 โวลต์ วัดสถิตแสดงเข้าคู่กันได้ดีกับผลทำนายด้วยแบบจำลองวัดแบนด์วิดธ์ ( - 3 ดีบี ) ออกมาจากเครื่องบินของ actuator ไมโครแปล 80 200 Hz สำหรับการป้อนข้อมูลต่างขับแรงดันที่แตกต่างกันในช่วงของ 75 - 125 ( 125 ) ( 175 ) แปล Micro Actuator สามารถหมุนไปทิศทางใด ๆให้บรรลุ 2D ภายในหมุนเครื่องกลช่วง± 1.5 องศา . แสดงเวกเตอร์ขึ้นอยู่กับตัวยังแสดงให้เห็นถึง