The setup used to calibrate the wav

The setup used to calibrate the wavefront measurement device is represented in the Figures 10 and 11. This setup comprises 1calibration lens LCalib and 1 calibration mirror MCalib. The image of the fiber output by L1, L2 and BS is located at the focal plane of LCalib. This lens collimates and directs the beam toward MCalib placed in auto-collimation. The beam reflected by MCalib is transmitted by BS (respectively reflected) toward L3 and WFS (respectively toward L2, L1 and the Fiber output face).
LCalib is a commercial achromatic doublet of clear aperture diameter ΦLCalib = 22 mm and focal f = 50 mm manufactured by the company Thorlabs. The irregularity of the doublet surfaces is specified to be lower than 160 nm PTV over the clear aperture (λ/4 at λ = 633 nm). MCalib is a mirror of clear aperture diameter ΦMCalib = 40 mm manufactured by the company Newport. The surface error is specified to be lower than 63 nm PTV over the full clear aperture (λ/10 at λ = 633 nm). In our case, the beam footprint on LCalib and MCalib corresponds to a circle of diameter ΦFP < 5 mm. The suface covered by the beam foot print is thus 19 time (respectively 64 time) lower than LCalib useful surface (respectively MCalib useful surface). At first approach, we thus consider that the wavefront errors induced by LCalib and MCalib surface qualities can be neglected.
The calibration of the setup comprises 3 steps described hereafter. The step 1 consists of adjusting the orientation of MCalib to superimpose the fiber output (object) and the image of this fiber output by L1, L2, BS LCalib and MCalib. The control is done visually by observing the position of the image on the fiber output face. The step 2 consists of adjusting the axial position of LCalib to minimize the Focus term of the WFE measured by the wavefront sensor. The step 3 consists of referencing the position of the spot images provided by the micro-lenses on the WFS detector plane. The wavefront measured after the spot referencing is called the “Reference wavefront”.
We have assessed the calibration error by measuring this reference wavefront before and after measuring TStar WFE. In a first time, we measured the reference wavefront obtained just after the calibration and before measuring TStar WFE . This reference wavefront is represented in the Figure 12-left and the wavefront error is WFERef,1< 1 nm RMS. In a second time, we measured the reference wavefront after measuring the TStar WFE. The result is represented in the Figure 12Right. This time, the wavefront error on the reference wavefront is WFERef,2 ≈ 10 nm RMS. This error is due to the error in the orientation of MCalib to auto-collimate the beam. Indeed, any error in the orientation of MCalib induces off-axis aberrations and thus calibration errors. We thus deduce that the calibration error due to the mirror orientation error is
equal to 10 nm RMS typically.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การตั้งค่าใช้การปรับเทียบอุปกรณ์วัดหน้าคลื่นจะแสดงตัวเลข 10 และ 11 ตั้งค่านี้ประกอบด้วยเลนส์ 1calibration LCalib และกระจก 1 สอบเทียบ MCalib รูปภาพของผลผลิตเส้นใยโดย L1, L2 และบีอยู่ที่ระนาบโฟกัสของ LCalib เลนส์ collimates และนำไฟไปวางไว้ในรถยนต์ collimation MCalib ลำแสงสะท้อน โดย MCalib จะถูกส่ง โดยบี (ยอดตามลำดับ) L3 และ WFS (ตามลำดับไปที่ L2, L1 และเส้นใยออกหน้า)LCalib เป็นคำซ้อนในภาษาข้อมูลที่ค้าของรูรับแสงใสเส้นผ่าศูนย์กลาง ΦLCalib = 22 มม.และโฟกัส f = 50 มม.ผลิต โดยบริษัท Thorlabs ระบุความผิดปกติของพื้นผิวกว้างจะต่ำกว่า 160 nm PTV ผ่านรูรับแสงใส (λ/4 ที่λ = 633 nm) MCalib เป็นกระจกของรูรับแสงใสเส้นผ่าศูนย์กลาง ΦMCalib = 40 มม.ผลิต โดยบริษัทนิวพอร์ท ระบุข้อผิดพลาดสำหรับ surface จะต่ำกว่า 63 nm PTV ผ่านรูชัดเจนเต็ม (λ/10 λ = 633 nm) ในกรณีของเรา รอยลำแสง LCalib และ MCalib ตรงกับวงกลมของเส้นผ่าศูนย์กลาง ΦFP < 5 mm จึงต้องครอบคลุมเท้าลำพิมพ์ 19 (เวลาตามลำดับ 64) ต่ำกว่าพื้นผิวประโยชน์ LCalib (ลำดับ MCalib ประโยชน์พื้นผิว) ที่วิธีแรก เราจึงพิจารณาว่า หน้าคลื่นข้อผิดพลาดเกิดจาก LCalib และ MCalib สามารถละเลยคุณภาพพื้นผิวการปรับเทียบการตั้งค่าประกอบด้วย 3 ขั้นตอนที่อธิบายไว้ในอนาคต ขั้นตอนที่ 1 ประกอบด้วยการปรับการวางแนวของ MCalib สนับผลผลิตเส้นใย (วัตถุ) และภาพของผลลัพธ์นี้ใยโดย L1, L2 บี LCalib และ MCalib การควบคุมจะทำสายตา โดยการสังเกตตำแหน่งของภาพบนใบหน้าผลผลิตเส้นใย ขั้นตอนที่ 2 ประกอบด้วยการปรับตำแหน่งแนวแกนของ LCalib เพื่อลดระยะโฟกัสของ WFE วัดเซนเซอร์หน้าคลื่น ขั้นตอนที่ 3 ประกอบด้วยการอ้างอิงถึงตำแหน่งของจุดภาพโดยเลนส์ไมโครบนเครื่องบินตรวจจับ WFS หน้าคลื่นวัดหลังจากจุดอ้างอิงเรียกว่า "หน้าคลื่นอ้างอิง"เราได้ประเมินข้อผิดพลาดของการสอบเทียบ โดยหน้าคลื่นนี้อ้างอิงการวัดก่อน และ หลังการวัด TStar WFE ในครั้งแรก เราวัดหน้าคลื่นอ้างอิงที่ได้รับหลัง จากการปรับเทียบ และ ก่อนวัด TStar WFE หน้าคลื่นอ้างอิงนี้จะถูกแสดงในรูป 12 ซ้าย และหน้าคลื่นผิดพลาดคือ WFERef, 1 < 1 nm RMS ในครั้งสอง เราวัดหน้าคลื่นอ้างอิงหลังจากการวัด TStar WFE แสดงผลใน 12Right รูป เวลานี้ ข้อผิดพลาดหน้าคลื่นบนหน้าคลื่นอ้างอิงคือ WFERef, 2 ≈ 10 nm RMS ข้อผิดพลาดนี้ได้เนื่องจากข้อผิดพลาดในการวางแนวของ MCalib การ collimate ลำแสงอัตโนมัติ จริง ข้อผิดพลาดในการวางแนวของ MCalib ก่อให้เกิดความคลาดเคลื่อนปิดแกน และดังนั้นข้อผิดพลาดในการสอบเทียบ เราลูกว่าข้อผิดพลาดการสอบเทียบเนื่องจากข้อผิดพลาดการวางแนวกระจกเท่ากับ 10 นิวตันเมตร RMS โดยทั่วไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ตั้งค่าที่ใช้ในการสอบเทียบอุปกรณ์วัดคลื่นจะแสดงในรูปที่ 10 และ 11 การติดตั้งนี้ประกอบด้วยกระจกเลนส์ 1calibration LCalib 1 และสอบเทียบ MCalib ภาพของการส่งออกเส้นใยโดย L1, L2 และ BS ตั้งอยู่ที่ระนาบโฟกัสของ LCalib เลนส์นี้ collimates และชี้นำลำแสงไปยัง MCalib ที่วางอยู่ใน collimation อัตโนมัติ ลำแสงสะท้อนจาก MCalib จะถูกส่งโดย วท.บ. (สะท้อนให้เห็นตามลำดับ) ไปทาง L3 และ WFS (ตามลำดับไปยัง L2, L1 และใบหน้าเอาท์พุทไฟเบอร์).
LCalib เป็นคู่ไม่มีสีในเชิงพาณิชย์ของเส้นผ่าศูนย์กลางแสงใสΦLCalib = 22 มมโฟกัส f = 50 มม ผลิตโดย บริษัท Thorlabs ผิดปกติของพื้นผิวคู่มีการระบุจะต่ำกว่า 160 นาโนเมตร PTV กว่าแสงใส (λ / 4 ที่λ = 633 นาโนเมตร) MCalib เป็นกระจกของเส้นผ่าศูนย์กลางแสงใสΦMCalib = 40 มมผลิตโดย บริษัท นิวพอร์ต ข้อผิดพลาดของพื้นผิวที่มีการระบุจะต่ำกว่า 63 นาโนเมตร PTV กว่าแสงใสเต็ม (λ / 10 ที่λ = 633 นาโนเมตร) ในกรณีของเราการปล่อยลำแสงบน LCalib และ MCalib สอดคล้องกับวงกลมเส้นผ่าศูนย์กลางΦFPค่า <5 มม suface ปกคลุมด้วยพิมพ์เท้าคานจึงเป็นเวลา 19 (64 ตามลำดับเวลา) ต่ำกว่าพื้นผิวที่มีประโยชน์ LCalib (ตามลำดับ MCalib พื้นผิวที่มีประโยชน์) ที่วิธีแรกเราจึงพิจารณาว่าข้อผิดพลาดที่เกิดจากคลื่น LCalib และ MCalib คุณภาพพื้นผิวสามารถละเลย.
สอบเทียบของการติดตั้งประกอบด้วย 3 ขั้นตอนที่อธิบายต่อจากนี้ ขั้นตอนที่ 1 ประกอบด้วยการปรับทิศทางของ MCalib เพื่อเติมเอาท์พุทไฟเบอร์ (Object) และภาพของการส่งออกเส้นใยนี้โดย L1, L2, BS LCalib และ MCalib การควบคุมจะทำสายตาโดยการสังเกตตำแหน่งของภาพบนใบหน้าใยเอาท์พุท ขั้นตอนที่ 2 ประกอบด้วยการปรับตำแหน่งของแกน LCalib เพื่อลดระยะโฟกัสของ WFE วัดโดยเซ็นเซอร์คลื่น ขั้นตอนที่ 3 ประกอบด้วยการอ้างอิงตำแหน่งของจุดภาพที่มีให้โดยไมโครเลนส์บนเครื่องตรวจจับเครื่องบิน WFS คลื่นที่วัดได้หลังจากที่อ้างอิงจุดที่เรียกว่า "การอ้างอิงคลื่น".
เราได้ประเมินข้อผิดพลาดการสอบเทียบโดยการวัดคลื่นอ้างอิงนี้ก่อนและหลังการวัด TStar WFE ในครั้งแรกที่เราวัดคลื่นอ้างอิงที่ได้รับหลังจากการสอบเทียบและก่อนที่วัด TStar WFE คลื่นอ้างอิงนี้มีตัวแทนอยู่ในรูปที่ 12 ซ้ายและข้อผิดพลาดของคลื่นคือ WFERef 1 <1 นาโนเมตร RMS ในระยะเวลาสองเราวัดคลื่นอ้างอิงหลังจากวัด TStar WFE ผลที่ได้เป็นตัวแทนในรูป 12Right เวลานี้ข้อผิดพลาดบนหน้าคลื่นคลื่นอ้างอิง WFERef 2 ≈ 10 นาโนเมตร RMS ข้อผิดพลาดนี้เนื่องจากข้อผิดพลาดในการวางแนวของ MCalib อัตโนมัติ collimate คาน อันที่จริงข้อผิดพลาดใด ๆ ในการวางแนวของ MCalib ก่อให้เกิดความผิดปรกติปิดแกนและทำให้ข้อผิดพลาดการสอบเทียบ เราจึงได้ข้อสรุปว่าข้อผิดพลาดการสอบเทียบเนื่องจากข้อผิดพลาดการปฐมนิเทศกระจกคือ
เท่ากับ 10 นาโนเมตร RMS โดยทั่วไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การติดตั้งใช้เพื่อปรับคลื่นอุปกรณ์การวัดแสดงในรูปที่ 10 และ 11 การตั้งค่านี้ประกอบด้วย lcalib 1calibration mcalib เลนส์และกระจก 1 การสอบเทียบ รูปภาพของผลผลิตเส้นใยโดย L1 , L2 และ BS ตั้งอยู่ที่ระนาบโฟกัสของ lcalib . เลนส์ตัวนี้ collimates และชี้นำคานต่อ mcalib วางไว้ในรถยนต์ การล่าถอย . แสงสะท้อนจาก mcalib ส่งโดย BS ( ตามลำดับ ) และ L3 ( ตามลำดับ ) ต่อ WFS ต่อ L2 , L1 และไฟเบอร์ผลผลิตหน้า )lcalib เป็นดับเลตโครมาติกพาณิชย์ ใส รูขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางΦ lcalib = 22 มิลลิเมตรความยาวโฟกัส F = 50 มม. ผลิตโดย thorlabs บริษัท ผิดปกติของดับเลตพื้นผิวถูกระบุให้ต่ำกว่า 160 nm พีทีวีผ่านรูรับแสงที่ชัดเจน ( λ / 4 ที่λ = 633 nm ) mcalib เป็นกระจกใส รูขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางΦ mcalib = 40 มม. ที่ผลิตโดย บริษัท นิวพอร์ต พื้นผิวข้อผิดพลาดถูกระบุให้ต่ำกว่า 63 nm พีทีวีผ่านรูชัดเจน เต็ม ( λ / 10 ที่λ = 633 nm ) ในกรณีของเรา , คานและรอยเท้าบน lcalib mcalib สอดคล้องกับวงกลมเส้นผ่าศูนย์กลางΦ FP < 5 มิล การ suface ปกคลุมด้วยคานพิมพ์เท้าจึงได้ 19 ครั้ง ( ตามลำดับ 64 เวลาต่ำกว่าพื้นผิวที่มีประโยชน์ lcalib ( ตามลำดับ mcalib ประโยชน์ผิว ) ในวิธีแรก เราจึงพิจารณาว่าคลื่นข้อผิดพลาดที่เกิดจาก lcalib และคุณภาพผิว mcalib สามารถหลงค่าติดตั้ง ประกอบด้วย 3 ขั้นตอนที่อธิบายต่อไปนี้ ขั้นตอนที่ 1 ประกอบด้วยการปรับทิศทางของ mcalib เพื่อเสริมเส้นใยออก ( วัตถุ ) และภาพนี้ไฟเบอร์ออกโดย L1 , L2 , BS และ lcalib mcalib . การควบคุมทำสายตาสังเกตตำแหน่งของภาพบนเส้นใยออกหน้า ขั้นตอนที่ 2 ประกอบด้วย การปรับตำแหน่งตามแนวแกนของ lcalib ลดโฟกัสระยะของคลื่น wfe วัดจากเซนเซอร์ ขั้นตอนที่ 3 ประกอบด้วยการอ้างอิงตำแหน่งของจุดที่ภาพโดยเลนส์ไมโครบน WFS ตรวจจับเครื่องบิน คลื่นวัดหลังจากจุดอ้างอิงเรียกว่า " คลื่นอ้างอิง "เราประเมินการสอบเทียบความคลาดเคลื่อนโดยการวัดคลื่นนี้อ้างอิง ก่อน และ หลัง วัด tstar wfe . ในตอนแรก เราวัดอ้างอิงได้แค่คลื่นหลังจากการสอบเทียบและก่อนวัด tstar wfe . การอ้างอิงนี้จะแสดงในรูปที่ 12 คลื่น แล้วคลื่นข้อผิดพลาด wferef 1 < 1 nm เรื . ในช่วงเวลาที่สองเราวัดคลื่นอ้างอิงหลังวัด tstar wfe . ผลจะแสดงในรูปที่ 12right . คราวนี้คลื่นข้อผิดพลาดในการอ้างอิงเป็นคลื่น wferef 2 ≈ 10 nm เรื . ข้อผิดพลาดนี้เกิดจากความผิดพลาดในการ mcalib อัตโนมัติทำให้ขนานกันคาน แน่นอน มีข้อผิดพลาดในการก่อให้เกิดความผิดปกติของ mcalib นอกแกนและดังนั้นการสอบเทียบข้อผิดพลาด เราจึงอนุมานว่าค่าความผิดพลาดเนื่องจากการผิดพลาดคือกระจกเท่ากับ 10 nm ค่าโดยทั่วไป