Au thin film as the bottom electrode offers some advantages, such as good chemical stability, low oxidation, and high density that lead to a pristine and favorable nucleation sites for the AlN growth
Au ฟิล์มบางเป็นอิเล็กโทรด้านล่างมีข้อได้เปรียบบางอย่างเช่นเสถียรภาพทางเคมีที่ดีออกซิเดชั่ต่ำและความหนาแน่นสูงที่นำไปสู่เว็บไซต์ที่นิวเคลียสเก่าแก่และดีสำหรับการเจริญเติบโต ALN