The parametrical study shows that,

The parametrical study shows that, in the linear zone (Fig. 4),
the sensor sensitivity S decreases strongly when the heating
duration t
increases (Fig. 5). From 0.4 s to 1.2 s heating durations,
the sensitivity S is divided by 2 (between 30 and 300 Pa). The best
sensitivity S of 12.8 mHz/Pa is obtained in the pressure range of
30e300 Pa for the experiment with the lowest heating duration
t
h
h
¼ 0.4 s. It is noticed that the heating duration must be less than
the time constant of the micro-thermocouple. If not, the temperature
would be compensated. The micro-thermocouple presents a
time constant of 30 ms corresponding to a cut-off frequency of
5 Hz at atmospheric pressure [12]. In an experimental study with
Pirani sensors, Jitshin showed that the time constant of the resistive
wire decreases when the vacuum increases [9]. We demonstrated
the same result with a micro-thermocouple [14]. So, the
time constant of our vacuum gauge is lower than 30 ms in vacuum
conditions.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การศึกษา parametrical แสดงที่ ในเขตเชิงเส้น (Fig. 4),ลดความไวของเซ็นเซอร์ S อย่างยิ่งเมื่อความร้อนที่ช่วงเวลา tเพิ่มขึ้น (Fig. 5) จาก 0.4 s เพื่อช่วงเวลา 1.2 s ทำความร้อนความไว S จะถูกหาร ด้วย 2 (ระหว่าง 30 และ 300 Pa) ดีที่สุดความไว S ของ 12.8 mHz Pa ได้รับในช่วงความดัน30e300 ป่าในการทดลองกับระยะเวลาความร้อนต่ำthh¼ 0.4 s จะพบว่า ระยะเวลาความร้อนต้องน้อยกว่าค่าคงเวลาของ thermocouple ไมโคร ถ้า ไม่ อุณหภูมิจะชดเชย ไมโคร-thermocouple แสดงเป็นค่าคงเวลาของ ms 30 ที่สอดคล้องกับความถี่ตัดHz 5 ที่ความกดอากาศ [12] ในการศึกษาทดลองด้วยเซนเซอร์ Pirani, Jitshin พบว่าค่าคงเวลาของการทานลวดลดลงเมื่อการดูดเพิ่มขึ้น [9] เราแสดงผลเดียวกันกับแบบไมโคร-thermocouple [14] ดังนั้น การค่าคงเวลาของมาตรวัดสุญญากาศของเราจะต่ำกว่า 30 ms ในสุญญากาศเงื่อนไขการ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การศึกษา parametrical แสดงให้เห็นว่าในเขตเชิงเส้น (รูปที่. 4),
ความไวของเซ็นเซอร์ S
ลดลงอย่างมากเมื่อความร้อนในช่วงระยะเวลาทีเพิ่มขึ้น
(รูปที่. 5) จาก 0.4 ถึง 1.2 s s ระยะเวลาความร้อน
S ไวโดยแบ่งเป็น 2 (ระหว่างวันที่ 30 และ 300 Pa) ที่ดีที่สุดของความไว S 12.8 เมกะเฮิรตซ์ / ป่าจะได้รับในช่วงความดันของ 30e300 ป่าสำหรับการทดสอบที่มีระยะเวลาความร้อนต่ำสุดทีเอชเอช¼ 0.4 s มันเป็นที่สังเกตเห็นว่าระยะเวลาในการทำความร้อนต้องน้อยกว่าเวลาคงที่ของไมโครทน ถ้าไม่ได้อุณหภูมิจะได้รับการชดเชย ไมโครวัดที่มีการจัดอย่างต่อเนื่องเวลา 30 มิลลิวินาทีที่สอดคล้องกับความถี่ตัดของ 5 เฮิร์ตซ์ที่ความดันบรรยากาศ [12] ในการศึกษาทดลองกับเซ็นเซอร์ Pirani, Jitshin คงแสดงให้เห็นว่าเวลาของการทานลวดลดลงเมื่อเพิ่มขึ้นสูญญากาศ[9] เราแสดงให้เห็นถึงผลเดียวกันกับไมโครวัด [14] ดังนั้นเวลาคงที่ของวัดสูญญากาศของเราต่ำกว่า 30 มิลลิวินาทีในสุญญากาศเงื่อนไข

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การศึกษา parametrical แสดงให้เห็นว่า ในเขตเชิงเส้น ( รูปที่ 4 ) , เซ็นเซอร์ความไว
s ลดลงอย่างมากเมื่อความร้อนเพิ่มระยะเวลาที

( รูปที่ 5 ) จาก 0.4 s 1.2 S ระยะเวลาความร้อน
ไวคือหารด้วย 2 ( ระหว่าง 30 และ 300 PA ) ดีที่สุด
ความไวของ 12 MHz / PA ได้ในความดันในช่วง
30e300 PA สำหรับการทดลองที่มีระยะเวลาความร้อนต่ำสุด T
H

H
¼ 0.4 วินาที จะสังเกตเห็นว่า ความร้อนเวลาต้องน้อยกว่า
เวลาคงที่ของเทอร์โมคัปเปิลขนาดเล็ก ถ้าไม่อุณหภูมิ
จะได้รับการชดเชย thermocouple ไมโครนำเสนอ
เวลาคงที่ 30 นางสาวเกี่ยวข้องกับตัดความถี่ 5 Hz ที่ความดันบรรยากาศ
[ 12 ] ในการทดลองกับ
พิรานิ เซ็นเซอร์ jitshin พบว่าเวลาคงที่ของตัวต้านทาน
ลวดลดลงเมื่อสุญญากาศเพิ่ม [ 9 ] เราพบ
ผลเดียวกันกับไมโครเทอร์โมคัปเปิ้ล [ 14 ] ดังนั้น
เวลาคงที่ของเกจ์วัดสูญญากาศของเราต่ำกว่า 30 นางสาวในสภาวะสุญญากาศ