2.5. Frequency measurements and IR

2.5. Frequency measurements and IR spectroscopy
The sensor chip was mounted in an aluminium vacuum chamber providing electrical connection, a glass window for optical readout and a zinc selenide window for IR irradiation (Fig. 3 (2)). The resonators were actuated with an external piezoelectric element and read out with a laser-Doppler vibrometer (MSA-500, Polytec GmbH) mounted with a 632.8 nm helium neon readout laser. The nanomechanical

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

2.5 การวัดความถี่และสเปกโทรสโก IRชิพในเซ็นเซอร์ถูกติดตั้งในห้องสุญญากาศอะลูมิเนียมให้เชื่อมต่อไฟฟ้า หน้าต่างแก้วสำหรับอ่านค่าแสง และหน้าต่าง selenide สังกะสีสำหรับฉายรังสี IR (รูป 3 (2)) เวลาการกระตุ้นกับองค์ประกอบภายนอก piezoelectric และอ่าน ด้วยเครื่อง Doppler เลเซอร์เครื่องวัดแรงสั่นสะเทือน (MSA-500, Polytec GmbH) ติดกับ 632.8 nm ฮีเลียมนีออนเลเซอร์อ่าน Nanomechanical การ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

2.5 การวัดความถี่และ IR สเปกโทรสโก
ชิปเซ็นเซอร์ได้รับการติดตั้งในห้องสูญญากาศอลูมิเนียมให้การเชื่อมต่อไฟฟ้า, หน้าต่างกระจกสำหรับมิเตอร์ที่อ่านได้แสงและหน้าต่าง selenide สังกะสีสำหรับการฉายรังสี IR (รูปที่. 3 (2)) resonators ถูกกระตุ้นด้วยองค์ประกอบ piezoelectric ภายนอกและอ่านออกด้วยเลเซอร์ Doppler Vibrometer (MSA-500 Polytec GmbH) ติดกับ 632.8 นาโนเมตรฮีเลียมนีออนเลเซอร์มิเตอร์ที่อ่านได้ nanomechanical

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

2.5 การวัดความถี่และอินฟราเรดสเปกโทรสโกปีเซ็นเซอร์ชิปที่ติดตั้งในอลูมิเนียมสูญญากาศให้การเชื่อมต่อไฟฟ้า , กระจกหน้าต่างสำหรับแสงและซิงค์ซีลีไนด์บนหน้าต่างสำหรับการฉายรังสี IR ( รูปที่ 3 ( 2 ) ที่ถูกกระตุ้นด้วยองค์ประกอบ piezoelectric resonators ภายนอกและอ่านออกด้วยเลเซอร์ดอปเปลอร์ vibrometer ( msa-500 polytec GmbH , ติดกับ 632.8 nm ฮีเลียมนีออน เลเซอร์ บน . การ nanomechanical