TF-SOFC were produced starting from

TF-SOFC were produced starting from double-side polished
(100) silicon wafers coated with 200 nm of low-stress silicon
nitride. Free-standing silicon nitride square membranes arrays
with 150 μm sidelength were fabricated using lithography,
reactive ion etching and KOH anisotropic etching.12 The fuel
cells were then fabricated by sequentially sputtering the
electrolyte 80 to 95 nm thick from a 8 mol % yttria-stabilized
zirconia (YSZ) target, dry-etching the silicon nitride from the
bottom side, depositing the vanadium oxide (VOx) and/or
porous Pt anode on the bottom side and sputtering the porous
Pt cathode through a stainless steel shadow mask. RFsputtering
of the oxide electrolyte and vanadium oxide anode
were performed at 550 °C at pressures of 5 and 20 mTorr Ar
and powers of 100 and 150 W, respectively. The composition
of the vanadium oxide target was V2O5. DC-sputtering of Pt
porous cathode and anode were performed without substrate
heating at 75 and 85 mTorr, respectively. The fuel cells were
tested in a custom-built environmental station.12 The anodeside
was exposed to humidified 5% H2−Ar (specified purity of
99.999%) flowing at 30 mL min−1, while the cathode-side was
exposed to ambient stationary air. As shown schematically in
Figure 1a, fuel cells were fabricated with anodes consisting
either of a porous Pt film, a VOx film, or a bilayer VOx/porous
Pt film (further referred to as VOx/Pt). As we show later, the
VOx/Pt anode has higher performance than the VOx anode due
to lower anodic polarization losses.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

รหัส SOFC ผลิตเริ่มจากรับซิลิคอน polished
(100) สองด้านเคลือบ ด้วย 200 nm ซิลิคอนต่ำเครียด
nitride อาร์เรย์ตารางสาร nitride ซิลิคอนยืนฟรี
กับ 150 μm sidelength ได้หลังสร้างโดยใช้ภาพพิมพ์หิน,
ไอออนปฏิกิริยากัดและเกาะ anisotropic etching.12 เชื้อเพลิง
เซลล์ได้แล้วหลังสร้าง โดยพ่นตามลำดับการ
อิเล็กโทร 80-95 nm มีความหนาจากโมล% 8 เสถียร yttria
zirconia (YSZ) เป้าหมาย แห้งกัด nitride ซิลิคอนจากการ
ด้านล่าง ฝากออกไซด์วาเนเดียม (VOx) และ/ หรือ
porous แอโนด Pt บนด้านล่างและการพ่นแบบ porous
แคโทด Pt ผ่านตัวสเตนเลสเงาพราง RFsputtering
ของออกไซด์อิเล็กโทรและวาเนเดียมออกไซด์ขั้วบวก
ดำเนินที่ 550 ° C ที่ความดัน 5 และ 20 mTorr Ar
และอำนาจของ 100 และ 150 W ตามลำดับ องค์ประกอบ
ของออกไซด์วาเนเดียม เป้าหมายถูก V2O5 พ่น DC ของ Pt
porous แคโทดและแอโนดดำเนิน โดยพื้นผิว
ความร้อนที่ 75 และ 85 mTorr ตามลำดับ เซลล์เชื้อเพลิงถูก
ทดสอบใน station.12 สิ่งแวดล้อมมา anodeside
ได้สัมผัสกับ humidified 5% H2−Ar (ระบุความบริสุทธิ์ of
99.999%) ไหลที่ 30 mL min−1 ในขณะที่ด้านแคโทดถูก
สัมผัสกับอากาศแวดล้อม ตามที่แสดงใน schematically
รูป 1a น้ำมันเซลล์ถูกหลังสร้าง ด้วย anodes ประกอบด้วย
ของฟิล์ม Pt porous ฟิล์ม VOx หรือ bilayer ที่ VOx/porous
ฟิล์ม Pt (ต่อไปเรียกว่า VOx/Pt) เราแสดงในภายหลัง การ
แอโนด VOx/Pt มีประสิทธิภาพสูงกว่าแอโนด VOx ครบกำหนด
ลดขาดทุน anodic โพลาไรซ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

TF-SOFC ได้รับการผลิตที่เริ่มต้นจากสองด้านขัด
เวเฟอร์ (100) ซิลิกอนที่เคลือบด้วย 200 นาโนเมตรต่ำความเครียดซิลิกอน
ไนไตรด์ ยืนฟรีซิลิคอนไนไตรด์อาร์เรย์เยื่อเมตร
กับ 150 ไมโครเมตร sidelength ถูกประดิษฐ์โดยใช้การพิมพ์หิน,
ไอออนแกะสลักปฏิกิริยาและ KOH anisotropic etching.12 เชื้อเพลิง
เซลล์ถูกประดิษฐ์แล้วโดยลำดับสปัตเตอร์
อิเล็ก 80-95 นาโนเมตรหนาจาก 8 mol% yttria-เสถียรภาพ
เซอร์โคเนีย (YSZ) เป้าหมายแห้งแกะสลักซิลิคอนไนไตรด์จาก
ด้านล่างฝากวาเนเดียมออกไซด์ (VOX) และ / หรือ
มีรูพรุนขั้วบวก Pt ด้านล่างและสปัตเตอร์ที่มีรูพรุน
แคโทด Pt ผ่านหน้ากากเงาสแตนเลส RFsputtering
ของอิเล็กโทรไลออกไซด์และวานาเดียมออกไซด์ขั้วบวก
ได้ดำเนินการที่ 550 ° C ที่แรงกดดันจาก 5 และ 20 mTorr Ar
และอำนาจของ 100 และ 150 วัตต์ตามลำดับ องค์ประกอบ
ของเป้าวาเนเดียมออกไซด์เป็น V2O5 DC-สปัตเตอร์ของ Pt
แคโทดรูพรุนและขั้วบวกได้ดำเนินการโดยไม่ต้องตั้งต้น
ความร้อนที่ 75 และ 85 mTorr ตามลำดับ เซลล์เชื้อเพลิงได้รับการ
ทดสอบใน station.12 สิ่งแวดล้อมที่กำหนดเองที่สร้างขึ้น anodeside
ได้สัมผัสกับความชื้น 5% H2-Ar (ความบริสุทธิ์ระบุ
99.999%) ไหลวันที่ 30 มิลลิลิตรต่อนาที-1 ขณะที่แคโทดด้านได้
สัมผัสกับบรรยากาศนิ่ง อากาศ ดังแสดงแผนผังใน
ภาพที่ 1a, เซลล์เชื้อเพลิงถูกประดิษฐ์ด้วย anodes ประกอบด้วย
ทั้งของฟิล์มที่มีรูพรุน Pt, ฟิล์ม VOX หรือ bilayer VOX / รูพรุน
ภาพยนตร์ Pt (ต่อไปเรียกว่า VOX / PT) ในขณะที่เราแสดงต่อ
ขั้วบวก VOX / Pt มีประสิทธิภาพที่สูงกว่าขั้วบวก VOX เนื่องจาก
การลดการสูญเสียไลโพลาไรซ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

tf-sofc ถูกผลิตเริ่มจากคู่ด้านขัด
( 100 ) ซิลิคอนเวเฟอร์เคลือบด้วย 200 nm ของซิลิคอนไนไตรด์
ความเครียดต่ำ ยืนฟรีตารางแผ่นซิลิคอนไนไตรด์ เรย์
150 μ M sidelength ถูกประดิษฐ์โดยใช้หุ้นส่วน
ปฏิกิริยาไอออนแกะสลัก และเกาะอุบ etching.12 เซลล์เชื้อเพลิงถูกประดิษฐ์โดยพิจารณา

สอิเล็กโทรไลต์ 80 ถึง 95 nm หนาจาก 8 โมล % อิทเทรีความเสถียร
เซอร์โคเนีย ( ซึ่ง ) เป้าหมายบริการแกะสลักในซิลิคอนไนไตรด์จาก
ข้างล่างฝากวานาเดียมออกไซด์ ( VOX ) และ / หรือ
แอโนด PT พรุนด้านล่างและ sputtering แคโทด PT พรุน
ผ่านสแตนเลสเงาหน้ากาก rfsputtering
ของออกไซด์และออกไซด์โลหะวาเนเดียมอิเล็กโทรไลต์
มีการปฏิบัติที่ 550 องศา C ที่ความดัน 5 และ 20 mtorr ar
และพลังของ 100 และ 150 วัตต์ ตามลำดับ องค์ประกอบของวาเนเดียมออกไซด์
เป้าหมายคือ V2O5 . ดีซีสปัตเตอร์ PT
วัสดุแคโทดและขั้วบวกได้โดยไม่ต้องใช้ความร้อนที่ mtorr
75 และ 85 ตามลำดับ เซลล์เชื้อเพลิง
ทดสอบในสิ่งแวดล้อมที่ใหญ่ station.12 anodeside
โดน humidified 5 % H2 − AR ( ระบุความบริสุทธิ์ของ
99.999 % ) ไหล 30 มิลลิลิตรต่อนาที− 1 , ในขณะที่ฝั่งแคโทดคือ
ตากบรรยากาศนิ่งอากาศ แสดงแผนผังใน
รูป 1A , เซลล์เชื้อเพลิงถูกประดิษฐ์ด้วยไม่ประกอบด้วย
ให้ฟิล์ม PT พรุน , VOX ภาพยนตร์หรือสองชั้น VOX / พรุน
PT ภาพยนตร์ ( ต่อไปเรียกว่า VOX / PT ) เมื่อเราแสดงในภายหลัง
VOX / PT ขั้วบวกมีประสิทธิภาพสูงกว่าอัตราการลดความสูญเสียด้านขั้วบวกเนื่องจาก
การ .