Micromechanical precision siliconwe

Micromechanical precision silicon
weight sensor

SOLUTION AND ITS BENEFITS
The weight sensor has an elastically suspended upper electrode and a
lower electrode. The upper electrode, or a structure connected to it, acts
as a pan surface. A device keeps the electrodes at a constant spacing,
irrespective of a mass being weighed. The mass can be resolved from a
feedback signal.

COMPETITIVE ADVANTAGE
Has improved stability and small size. Can measure one gram with an
accuracy of one millionth part per gram, or better.

TECHNICAL DESCRIPTION
At least one electrode is divided into at least two areas, to electrically
control the electrode surfaces, so that they remain
parallel, by separately adjusting the force on each partial
electrode surface. The upper electrode is suspended on
three symmetrical radial beams (1). The beams act as
springs, yielding elastically vertically. The other ends of
the beams are connected to a silicon substrate (4). The
lower electrode (15) is circular. The device is formed by
bonding a micromachined substrate on a glass plate (8),
on which the lower electrode is patterned.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ซิลิคอนความแม่นยำ Micromechanicalเซ็นเซอร์น้ำหนักแก้ปัญหาและเป็นประโยชน์เซ็นเซอร์น้ำหนักมีอิเล็กโทรดบนตัวหมายถึงการปิดระงับและไฟฟ้าต่ำกว่า อิเล็กโทรดบน หรือโครงสร้างการเชื่อมต่อ ทำหน้าที่เป็นพื้นผิวของถาด อุปกรณ์ช่วยให้หุงตในที่ห่างคงที่โดยไม่คำนึงถึงมวลชั่งน้ำหนัก มวลสามารถแก้ไขจากการความคิดเห็นสัญญาณได้เปรียบเชิงแข่งขันมีการปรับปรุงเสถียรภาพและขนาดเล็ก สามารถวัดหนึ่งกรัมมีการความถูกต้องส่วนหนึ่งชี้ต่อกรัม หรือดีกว่ารายละเอียดทางเทคนิคอิเล็กโทรดถูกแบ่งออกเป็นพื้นที่น้อยสอง การไฟฟ้าควบคุมพื้นผิวอิเล็กโทรด เพื่อให้พวกเขาอยู่พร้อมกัน ด้วยการปรับกำลังในบางส่วนแต่ละแยกต่างหากพื้นผิวอิเล็กโทรด อิเล็กโทรดบนถูกระงับในสามสมมาตรรัศมีคาน (1) คานทำหน้าที่เป็นสปริง ผลผลิตหมายถึงการปิดในแนวตั้ง ปลายของคานเชื่อมต่อกับพื้นผิวซิลิกอน (4) ที่ไฟฟ้าต่ำกว่า (15) เป็นวงกลม อุปกรณ์จะเกิดขึ้นโดยยึดติดกับพื้นผิว micromachined บนจานแก้ว (8),อิเล็กโทรดล่างเป็นลวดลายที่

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

Micromechanical แม่นยำซิลิคอน
เซ็นเซอร์น้ำหนักโซลูชั่นและประโยชน์ของเซ็นเซอร์น้ำหนักมีขั้วไฟฟ้าบนระงับยืดหยุ่นและอิเล็กโทรดที่ต่ำกว่า ขั้วไฟฟ้าบนหรือโครงสร้างเชื่อมต่อกับมันทำหน้าที่เป็นพื้นผิวกระทะ อุปกรณ์ช่วยให้ขั้วไฟฟ้าที่ระยะห่างคงที่โดยไม่คำนึงถึงมวลการชั่งน้ำหนัก มวลสามารถแก้ไขได้จากสัญญาณการตอบรับ. เปรียบเหนือคู่แข่งมีการปรับปรุงเสถียรภาพและขนาดที่เล็ก สามารถวัดกรัมหนึ่งที่มีความถูกต้องของส่วนหนึ่งล้านต่อกรัมหรือดีกว่า. รายละเอียดทางเทคนิคอย่างน้อยหนึ่งขั้วไฟฟ้าแบ่งออกเป็นอย่างน้อยสองพื้นที่การไฟฟ้าอิเล็กโทรดควบคุมพื้นผิวเพื่อให้พวกเขายังคงอยู่คู่ขนานโดยแยกการปรับแรงบน แต่ละส่วนพื้นผิวอิเล็กโทรด ขั้วไฟฟ้าบนถูกระงับในสามคานรัศมีสมมาตร (1) คานทำหน้าที่เป็นสปริงยอมยืดหยุ่นในแนวตั้ง ปลายอื่น ๆ ของคานที่มีการเชื่อมต่อกับพื้นผิวซิลิกอน (4) อิเล็กโทรดที่ลดลง (15) เป็นวงกลม อุปกรณ์จะเกิดขึ้นโดยพันธะพื้นผิว micromachined บนแผ่นกระจก (8), ที่ขั้วไฟฟ้าที่ลดลงเป็นลวดลาย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

micromechanical Precision ซิลิคอน


แก้เซนเซอร์น้ำหนักและน้ำหนักประโยชน์
เซ็นเซอร์มี elastically แขวนบนและล่าง
ขั้วอิเล็กโทรด ขั้วบน หรือโครงสร้างที่เชื่อมต่อกับมัน การกระทำ
เป็นกระทะพื้นผิว เป็นอุปกรณ์ที่ช่วยให้ขั้วไฟฟ้าที่ระยะห่างคงที่
ไม่มวลถูกชั่งน้ำหนัก มวลที่สามารถแก้ไขได้จาก

ความคิดเห็นสัญญาณ
ความได้เปรียบในการแข่งขันมีการปรับปรุงเสถียรภาพและขนาดเล็ก สามารถวัดหนึ่งกรัมกับ
ความถูกต้องของหนึ่งล้านส่วน ต่อ กรัม หรือดีกว่า

เทคนิครายละเอียด
อย่างน้อยหนึ่งขั้วแบ่งออกเป็นอย่างน้อย 2 ด้าน ให้ขั้วไฟฟ้า
ควบคุมพื้นผิวเพื่อที่พวกเขายังคง
ขนาน โดยแยกการปรับแรงในแต่ละส่วน
ขั้วพื้นผิวขั้วไฟฟ้าบนแขวนอยู่บนคาน
3 สมมาตรรัศมี ( 1 ) คานา
สปริงหยุ่น elastically แนวตั้ง ปลายอื่น ๆของ
คานเชื่อมต่อกับซิลิคอน ( 4 ) ขั้วล่าง
( 15 ) เป็นวงกลม อุปกรณ์รูปแบบโดย
เชื่อมพื้นผิว micromachined บนจานแก้ว ( 8 ) ,
ที่ขั้วล่างเป็นลวดลาย