The samples thickness, measured by

The samples thickness, measured by ball cratering, and the
atomic composition determined by RBS are given in Table 1. A
closer look of these results indicates three distinct zones of the
composition of the thin films. The films deposited with reactive
gas flow lower than 10 sccm present a non-metal to zirconium
atomic ratio less than one, with a constant increase of the
oxygen and nitrogen content. With further increase of the reactive
gas flow (10–14 sccm) the samples present an (N + O)/Zr
atomic ratio varying from 1.17 to 1.44 with further increases in
the oxygen content resulting in approximately the same nitrogen
content. For the sample deposited with the highest reactive gas
flow (15 sccm), there is a stabilization of the non-metal to metal
atomic ratio. When compared to the sample produced with a 14 sccm flow, a substantial increase in the oxygen content, is
observed compared to samples prepared with lower gas flow.
This evolution, observed for higher flow rates, with an abrupt
increase in the oxygen content when the non-metal to metal
atomic ratio is kept almost constant, suggests a change in the
structural arrangement of the coatings, as we will discuss in this
paper

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ความหนาของตัวอย่าง วัด โดยลูก cratering และองค์ประกอบของอะตอมกำหนด โดย RBS แสดงไว้ในตารางที่ 1 Aมองใกล้ผลลัพธ์เหล่านี้บ่งชี้ว่า โซนสามที่แตกต่างของการส่วนประกอบของฟิล์มบาง ฟิล์มฝาก ด้วยปฏิกิริยาไม่ใช่โลหะเซอร์โคเนียมเพื่อนำกระแสก๊าซต่ำกว่า 10 sccmอะตอมน้อยกว่าหนึ่ง มีการเพิ่มขึ้นคงที่ของอัตราการเนื้อหาออกซิเจนและไนโตรเจน มีเพิ่มเติมเพิ่มของปฏิกิริยาที่แก๊สไหล (10 – 14 sccm) นำเสนอตัวอย่าง (N + O) /Zrอัตราส่วนอะตอมที่แตกต่างกันจากความ 1.17 1.44 ด้วยเพิ่มเติมเนื้อหาออกซิเจนในประมาณไนโตรเจนเหมือนกันเนื้อหา สำหรับตัวอย่างที่ฝากไว้กับก๊าซปฏิกิริยาสูงสุดกระแส (15 sccm), มีเสถียรภาพของไม่ใช่โลหะกับโลหะอัตราส่วนอะตอม เมื่อเทียบกับตัวอย่างที่มีกระแส sccm 14 เพิ่มพบในเนื้อหาของออกซิเจน เป็นสังเกตเปรียบเทียบกับตัวอย่างพร้อมกระแสก๊าซต่ำกว่าวิวัฒนาการนี้ สังเกตสำหรับอัตราไหลสูง มีตัวอย่างทันทีทันใดเพิ่มออกซิเจนในเนื้อหาเมื่อไม่ใช่โลหะกับโลหะอัตราส่วนอะตอมอยู่เกือบคง แนะนำการเปลี่ยนแปลงในการการจัดโครงสร้างของไม้แปรรูป เราจะกล่าวถึงในนี้กระดาษ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความหนาของตัวอย่างวัดจากลูกอุกกาบาตและ
องค์ประกอบของอะตอมกำหนดโดย RBS จะได้รับในตารางที่ 1
มองใกล้ของผลลัพธ์เหล่านี้บ่งบอกถึงสามโซนที่แตกต่างของ
องค์ประกอบของฟิล์มบาง ภาพยนตร์ที่ฝากไว้กับปฏิกิริยา
การไหลของก๊าซต่ำกว่า 10 SCCM นำเสนอโลหะที่ไม่ใช่เซอร์โคเนียม
อัตราส่วนอะตอมน้อยกว่าหนึ่งกับการเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องของ
ออกซิเจนและไนโตรเจน ด้วยการเพิ่มขึ้นต่อไปของปฏิกิริยา
การไหลของก๊าซ (10-14 SCCM) ตัวอย่างนำเสนอ (N + O) / Zr
อัตราส่วนอะตอมแตกต่างกัน 1.17-1.44 กับการเพิ่มขึ้นต่อไปใน
ปริมาณออกซิเจนที่เกิดขึ้นในเวลาประมาณไนโตรเจนเดียวกัน
เนื้อหา สำหรับตัวอย่างฝากไว้กับก๊าซปฏิกิริยาสูงสุด
ไหล (15 SCCM) มีเสถียรภาพของโลหะที่ไม่ใช่โลหะ
อัตราส่วนอะตอม เมื่อเทียบกับตัวอย่างการผลิตที่มีการไหล 14 SCCM, เพิ่มขึ้นมากในปริมาณออกซิเจนจะ
สังเกตเมื่อเทียบกับกลุ่มตัวอย่างที่จัดทำขึ้นด้วยการไหลของก๊าซที่ลดลง.
วิวัฒนาการนี้สังเกตอัตราการไหลที่สูงขึ้นอย่างกระทันหันที่มี
การเพิ่มขึ้นของปริมาณออกซิเจนเมื่อ โลหะที่ไม่ใช่โลหะ
อัตราส่วนอะตอมจะถูกเก็บไว้อย่างต่อเนื่องเกือบจะแสดงให้เห็นการเปลี่ยนแปลงใน
การจัดโครงสร้างของสารเคลือบที่เราจะหารือในเรื่องนี้
กระดาษ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อย่างหนา วัดด้วยลูก cratering และ
อะตอมองค์ประกอบกำหนดโดย RBS จะได้รับในตารางที่ 1 เป็นลักษณะของผลลัพธ์เหล่านี้บ่งชี้ว่า
ใกล้สามโซนที่แตกต่างกันของ
ส่วนประกอบของฟิล์มบาง ภาพยนตร์ที่ฝากไว้กับปฏิกิริยา
ก๊าซไหลต่ำกว่า 10 sccm ปัจจุบันเป็นอโลหะกับเซอร์โคเนียม
อัตราส่วนอะตอมน้อยกว่าหนึ่งกับการเพิ่มขึ้นคงที่ของ
ออกซิเจนและไนโตรเจน . กับปรับเพิ่ม reactive
ก๊าซไหล ( 10 – 14 sccm ) ตัวอย่าง ( n o ) / ZR
อัตราส่วนอะตอมที่แตกต่างจาก 1.44 1.17 ให้กับการเพิ่มขึ้นใน
ปริมาณออกซิเจนที่เกิดประมาณไนโตรเจน
เดียวกัน สำหรับตัวอย่างที่ฝากไว้กับการไหลของก๊าซปฏิกิริยา
สูงสุด ( 15 sccm ) มีเสถียรภาพของโลหะต่อโลหะอะตอม

เมื่อเทียบกับตัวอย่างที่ผลิตด้วยการเพิ่มขึ้นอย่างมากใน sccm 14 , ปริมาณออกซิเจน ,
) เมื่อเทียบกับตัวอย่างที่เตรียมไว้กับอัตราการไหลของแก๊สลดลง
วิวัฒนาการนี้ สังเกตที่อัตราการไหลสูง เพิ่มขึ้นทันทีทันใด
ในปริมาณออกซิเจนเมื่ออัตราส่วนอะตอมอโลหะโลหะ
เก็บไว้เกือบคงที่ แสดงให้เห็นการเปลี่ยนแปลงใน
จัดโครงสร้างของไม้แปรรูปที่เราจะหารือในบทความนี้