Introduction
The metra oxynitrides, MeN (Me = early transition metal), belong to a new class of materials that is gaining importance because of their high potentail to be used for decorative application in high quality consumer products. During last years there has been published work about the production and characterization of metal oxinitride thin film [1-7], but the understanding of the fundamental mechanisms that explain both structural and mechanical behaviour is yes insufficient. To prepare these films, very careful control of the gas flow rates is needs since the final properties will depend much on their atomic ratio, and oxygen exhibits a stronger reactivity than nitrogen with the metal [2].
Tuning the oxide/nitride ratio changes the crystallographic order between oxide and nitride, hence elucidating the relationship between the corresponding physical, structural and mechanical properties [6]. Most of the published work related with Raman scattering in zirconium oxide concerns dynamical properties [8-10], structural transformations in duced by the additions of stabilizers [11-13] and nano-sized effects [14].
Zirconium oxide can be found basically in three different/ phases, cubic (c-ZrO2), tetragonal (t-ZrO2) and monoclinic/ (m-ZrO2). The structure of t-ZrO2 belong to the symmetry group /D (P42/nmc) two units of ZrO2 per unit cell, and 6/ Raman active mode, Cubic zircronai belongs to the O(Fm3m)/ group with ne units of ZrO2 per unit cell and only one Raman/ active modes, while the monoclinic structure belongs to the
D/ (9p21/c) with four units of ZrO2 per unit cell and 18 Raman /active modes [10-15]. Many transition-metal nitride, like ZrN,/ crystallise in the sodium-chloride-type structeres and, in an/ ideal "perfect" crystal, first order Raman scattering is forbidden. /Nevertheless sputtered coatings are known to have vacancies/ that induce distortion in the structure [7], and in consequence/ the Raman spectrum is composed of broadened bands due to /disorder and second order processses.
The main purpose of thin work is the preparation of single/-layered zirconium oxynitrides, ZrOxNy films and the relationship/ between the composition and structure. Thin films,/ prepared by DC reactive magnetron sputtering, were characterized/by Raman spectroscopy (RS), and the results are correlated /with the composition, evaluated by Rutherford Backscattering/ spectrometry (RBS), and the structure obtained by X-ray diffraction (XRD).
แนะนำOxynitrides metra ผู้ชาย (ผม =ช่วงเปลี่ยนโลหะ), เป็นชั้นของวัสดุใหม่ที่กำลังได้รับความสำคัญเนื่องจาก potentail สูงของพวกเขาที่จะใช้สำหรับสินค้าอุปโภคบริโภคคุณภาพสูงใช้ตกแต่ง ในช่วงสุดท้าย ปีได้มีการเผยแพร่งานเกี่ยวกับการผลิตและคุณสมบัติของฟิล์มบางของโลหะ oxinitride [1-7], แต่เข้าใจกลไกพื้นฐานที่อธิบายพฤติกรรมของโครงสร้าง และเครื่องจักรกลไม่ใช่เพียงพอ การเตรียมฟิล์มเหล่านี้ โปรดระมัดระวังควบคุมอัตราการไหลก๊าซเป็นความต้องการตั้งแต่คุณสมบัติสุดท้ายจะขึ้นมากในอัตราส่วนอะตอมของพวกเขา และการจัดแสดงออกซิเจนเกิดปฏิกิริยาแข็งแกร่งกว่าไนโตรเจนด้วยโลหะ [2]ปรับอัตราส่วนของ ออกไซด์/nitride เปลี่ยนสั่ง crystallographic ระหว่างออกไซด์และ nitride, elucidating ดังนั้น ความสัมพันธ์ระหว่างคุณสมบัติเกี่ยวข้องทางกายภาพ โครงสร้าง และเครื่องจักรกล [6] ส่วนใหญ่งานเผยแพร่ที่เกี่ยวข้องกับรามันที่โปรยในเซอร์โคเนียมออกไซด์คุณสมบัติ dynamical กังวล [8-10], แปลงโครงสร้าง ขนาดนาโน และ duced โดยเพิ่มของ stabilizers [11-13] [14] ผลเซอร์โคเนียมออกไซด์สามารถพบได้ทั่วไปในสามแตกต่างกัน / เฟส ลูกบาศก์ (c-ZrO2), tetragonal (t-ZrO2) และ monoclinic / (m-ZrO2) โครงสร้างของ t-ZrO2 เป็นสมมาตรกลุ่ม /D (P42 nmc) สองหน่วย ZrO2 ต่อเซลล์หน่วย และ 6 / รามันเปิดใช้งานโหมด zircronai ลูกบาศก์เป็นของ O(Fm3m) กลุ่มหน่วย ne ของ ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และรามันเดียว / ใช้งานโหมด ในขณะที่อยู่ในโครงสร้าง monoclinicD / (9 21 p/c) กับหน่วย 4 ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และ 18 รามัน /active ที่มีโหมด [10-15] ในโลหะทรานซิชัน nitride ชอบ ZrN / crystallise ใน structeres ชนิดโซเดียมคลอไรด์ และ อัน / เหมาะ "สมบูรณ์แบบ" คริสตัล สั่งห้าม scattering รามันก่อน / แต่เคลือบ sputtered ทราบว่ามีตำแหน่งที่ก่อให้เกิดความผิดเพี้ยน ในโครงสร้าง [7], และสัจจะ / ประกอบด้วยสเปกตรัมรามันขยายวงจาก processses สั่ง /disorder และที่สองวัตถุประสงค์หลักของงานบางเป็นการจัดเตรียม/ -ชั้นเดียว oxynitrides เซอร์โคเนียม ZrOxNy ภาพยนตร์ และความสัมพันธ์/ ระหว่างองค์ประกอบและโครงสร้าง บางฟิล์ม และเตรียมความพร้อม โดย DC magnetron ปฏิกิริยาพ่น มีลักษณะ/โดยกรามัน (RS), และผลลัพธ์มี correlated / มีองค์ประกอบ ประเมิน โดย Backscattering รูเทอร์ฟอร์ด / spectrometry (RBS), และโครงสร้างที่ได้รับ โดยการเอ็กซ์เรย์การเลี้ยวเบน (XRD)
การแปล กรุณารอสักครู่..
บทนำ
oxynitrides เมตรชาย ( ฉัน = ก่อนการเปลี่ยนโลหะ ) , เป็นสมาชิกของคลาสใหม่ของวัสดุที่เป็นดึงดูดความสำคัญเพราะศักยภาพสูงของพวกเขาที่จะใช้สำหรับการตกแต่ง สินค้าคุณภาพสูง ในปีที่ผ่านมามีการตีพิมพ์ผลงานเกี่ยวกับการผลิตและการหาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางโลหะ oxinitride [ 1-7 ]แต่ความเข้าใจในพื้นฐานกลไกที่อธิบายทั้งโครงสร้างและพฤติกรรมเชิงกลคือใช่ ไม่เพียงพอ เตรียมภาพยนตร์เหล่านี้ควบคุมระมัดระวังมากของอัตราการไหลของแก๊ส อัตราความต้องการเนื่องจากคุณสมบัติขั้นสุดท้ายจะขึ้นอยู่มากในอัตราส่วนโดยอะตอมของออกซิเจนและไนโตรเจน มีการจัดแสดงที่แข็งแกร่งกว่าโลหะ
[ 2 ]ปรับอัตราส่วนของออกไซด์ / ไนไตรด์เปลี่ยนแปลงการสั่งซื้อทางระหว่างออกไซด์และไนไตรด์ ดังนั้นการศึกษาความสัมพันธ์ระหว่างโครงสร้างกับสมบัติทางกายภาพ , [ 6 ] และกล ส่วนใหญ่ของงานที่ตีพิมพ์ที่เกี่ยวข้องกับรามันกระจัดกระจายในเซอร์โคเนียมออกไซด์เกี่ยวกับพลวัตคุณสมบัติ [ 8-10 ]การเปลี่ยนแปลงโครงสร้างใน duced โดยการเพิ่มของความคงตัว [ 11-13 ] และนาโนผล [ 14 ] .
เซอร์โคเนียมออกไซด์สามารถพบได้โดยทั่วไปใน 3 ขั้นตอนที่แตกต่างกัน / ลูกบาศก์ ( c-zro2 ) , เตตระโกนอล ( t-zro2 ) และโมโนคลินิก / ( m-zro2 ) โครงสร้างของ t-zro2 เป็นของสมมาตรกลุ่ม D ( p42 / NMC ) ของ ZrO2 ต่อเซลล์หน่วยสองหน่วย และโหมด 6 / รามันปราดเปรียว ,ลูกบาศก์ zircronai เป็นของ O ( fm3m ) / กลุ่มกับ NE หน่วยของ ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และเพียงหนึ่งรามัน / โหมดการใช้งาน ในขณะที่โครงสร้างโมโนคลินิกเป็นของ
D / ( 9p21 / C ) กับสี่หน่วยของ ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และ 18 รามัน / ใช้งานโหมด [ 4 ] การด์หลายโลหะ เช่น zrn / crystallise ในโซเดียมคลอไรด์ชนิด structeres และใน / อุดมคติ " คริสตัลที่สมบูรณ์แบบ "สั่งซื้อครั้งแรกรามันกระจัดกระจายเป็นสิ่งต้องห้าม / แต่ sputtered เคลือบ รู้จักมีตำแหน่งว่าง / ที่ก่อให้เกิดการบิดเบือนในโครงสร้าง [ 7 ] และในผล / รามันสเปกตรัมประกอบด้วยขยายวงเนื่องจาก / โรค และ processses อันดับสอง
วัตถุประสงค์หลักของบางงาน คือการเตรียมเดี่ยว / ชั้น oxynitrides เซอร์โคเนียม ,zroxny ภาพยนตร์และความสัมพันธ์ระหว่างองค์ประกอบและโครงสร้าง ฟิล์มบาง , / เตรียมโดยปฏิกิริยาแมกนีตรอนสปัตเตอร์ DC เป็น characterized โดยรามันสเปกโทรสโกปี ( RS ) และผลลัพธ์เป็นบวก / กับองค์ประกอบการประเมินโดย Rutherford backscattering / spectrometry ( RBS ) และโครงสร้างได้ด้วยเครื่อง X-ray diffraction ( XRD )
การแปล กรุณารอสักครู่..