Boron atoms in an area concentratio

Boron atoms in an area concentration of 10^16 cm^-2 are introduced into an n-type wafer from boron source in a carrier gas. The setting n- type wafer has a uniform donor concentration of 5*10^15 cm^-3 . The subsequent dive-in diffusion is carried out at 1100 C in a oxygen ambient. The desired junction depth is 2 micron. How long should the drive-in diffusion be continued? Assume that the diffusion coefficient of boron is 10^-12 cm^2/sec at 1100 C.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

อะตอมโบรอนในความเข้มข้นการตั้ง 10 ^ 16 ซม. ^ -2 จะนำเข้าสู่การแผ่นเวเฟอร์ชนิด n จากแหล่งโบรอนในก๊าซผู้ขนส่ง แผ่นเวเฟอร์ชนิด n ตั้งค่ามีผู้บริจาคเครื่องแบบเข้มข้น 5 * 10 ^ 15 ซม. ^ -3 ดับแพร่ต่อมาจะดำเนินที่ 1100 C ออกซิเจนที่แวดล้อม ความลึกต้องแยกเป็น 2 ไมครอน ควรต่อแพร่ไดรฟ์อินอย่างนานเท่าใด สมมติว่าค่าสัมประสิทธิ์การแพร่ของโบรอน 10 ^-12 cm ^ 2/วินาที ที่ราว 1100

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

อะตอมโบรอนในความเข้มข้นพื้นที่ 10 ^ ^ 16 ซม -2 จะนำเข้าสู่เวเฟอร์ชนิดเอ็นจากแหล่งโบรอนในก๊าซ เวเฟอร์ชนิด n- การตั้งค่ามีความเข้มข้นบริจาคเครื่องแบบ 5 * 10 ^ 15 ซม. ^ -3 การแพร่กระจายการดำน้ำในภายหลังจะดำเนินการที่ 1100 ซีในออกซิเจนโดยรอบ ความลึกทางแยกที่ต้องการคือ 2 ไมครอน นานแค่ไหนที่ควรจะไดรฟ์ในการแพร่กระจายอย่างต่อเนื่อง? สมมติว่าค่าสัมประสิทธิ์การแพร่ของโบรอนคือ 10 -12 ซม. ^ ^ 2 / วินาทีที่ 1,100 องศาเซลเซียส

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โบรอนอะตอมในพื้นที่ความเข้มข้น 10
16 cm
- 2 จะแนะนำเป็นเวเฟอร์ทั่วไปจากแหล่งธาตุโบรอนในผู้ให้บริการก๊าซ การตั้งค่า - เวเฟอร์ชนิดมีความเข้มข้นบริจาคเครื่องแบบ 5 * 10
15 cm
- 3 ดำน้ำที่ตามมาในการแพร่กระจาย คือ ดำเนินการที่ 1100 องศาเซลเซียส ในอากาศแวดล้อม ชุมทางที่ต้องการมีความลึก 2 ไมครอน นานเท่าไหร่ควรไดรฟ์ในการแพร่กระจายต่อไป ?สมมติว่า การแพร่ของสารคือ 10
- 12 cm
2 / วินาทีที่ 1100 ซี.