Irradiation of a thin film with a b

Irradiation of a thin film with a beam-shaped laser is proposed to achieve site-selectively controlled dewetting of the film into nanoscale structures. As a proof of concept, the laser-directed dewetting of an amorphous silicon thin film on a glass substrate is demonstrated using a donut-shaped laser beam. Upon irradiation of a single laser pulse, the silicon film melts and dewets on the substrate surface. The irradiation with the donut beam induces an unconventional lateral temperature profile in the film, leading to thermocapillary-induced transport of the molten silicon to the center of the beam spot. Upon solidification, the ultrathin amorphous silicon film is transformed to a crystalline silicon nanodome of increased height. This morphological change enables further dimensional reduction of the nanodome as well as removal of the surrounding film material by isotropic silicon etching. These results suggest that laser-based dewetting of thin films can be an effective way for scalable manufacturing of patterned nanostructures.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วิธีการฉายรังสีของฟิล์มบางมีเลเซอร์ลำแสงรูปจะนำเสนอเพื่อให้บรรลุการควบคุมไซต์เลือก dewetting ฟิล์มเข้าไปในโครงสร้าง nanoscale เป็นหลักฐานของแนวคิด การที่เลเซอร์โดยตรง dewetting เป็นฟิล์มบางซิลิคอนไปบนพื้นผิวแก้วจะแสดงโดยใช้แสงเลเซอร์รูปโดนัท เมื่อวิธีการฉายรังสีของพัลส์เลเซอร์เดียว ฟิล์มซิลิกอนที่ละลาย และ dewets บนพื้นผิวของพื้นผิว วิธีการฉายรังสี ด้วยแสงโดนัทแท้จริงโพรไฟล์กระเป๋าด้านข้างอุณหภูมิในฟิล์ม นำไปสู่การขนส่งทำให้เกิด thermocapillary ของซิลิคอนหลอมเหลวตัวของจุดลำแสง Solidification เมื่อมีแปลงฟิล์มซิลิคอน ultrathin ไปเพื่อ nanodome ผลึกซิลิคอนความสูงเพิ่มขึ้น การเปลี่ยนแปลงสัณฐานนี้ทำให้ nanodome การเพิ่มเติมมิติลดและกำจัดวัสดุฟิล์มรอบ โดยกัดซิลิคอน isotropic ผลลัพธ์เหล่านี้แนะนำว่า ใช้เลเซอร์ dewetting ของฟิล์มบางสามารถเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพสำหรับการผลิตสามารถปรับลวดลาย nanostructures

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การฉายรังสีของฟิล์มบางที่มีแสงเลเซอร์ที่มีรูปทรงจะเสนอให้บรรลุควบคุมการคัดเลือก dewetting เว็บไซต์ของภาพยนตร์เรื่องนี้เป็นโครงสร้างระดับนาโน ในฐานะที่เป็นหลักฐานการแนวคิดที่ dewetting เลเซอร์กำกับของซิลิกอนฟิล์มบางอะมอร์ฟับนพื้นผิวแก้วจะแสดงให้เห็นการใช้แสงเลเซอร์ที่มีรูปทรงโดนัท เมื่อฉายรังสีของชีพจรเลเซอร์เดียวฟิล์มซิลิกอนและ dewets ละลายบนพื้นผิว การฉายรังสีด้วยลำแสงโดนัทที่ก่อให้เกิดรายละเอียดด้านข้างอุณหภูมิไม่เป็นทางการในภาพยนตร์เรื่องนี้นำไปสู่​​การขนส่ง thermocapillary ที่เกิดของซิลิกอนที่หลอมละลายไปยังศูนย์กลางของจุดคาน เมื่อแข็งตัวที่บางเฉียบฟิล์มซิลิกอนอสัณฐานจะถูกเปลี่ยนไปเป็นผลึกซิลิคอน nanodome ของความสูงที่เพิ่มขึ้น การเปลี่ยนแปลงนี้จะช่วยให้ก้านลดมิติต่อไปของ nanodome เช่นเดียวกับการกำจัดของวัสดุภาพยนตร์รอบโดยการแกะสลัก isotropic ซิลิกอน ผลการศึกษานี้แสดงให้เห็นว่า dewetting เลเซอร์ที่ใช้ฟิล์มบางอาจจะเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพในการผลิตที่ปรับขนาดของโครงสร้างนาโนที่มีลวดลาย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การฉายรังสีของฟิล์มบางด้วยลำแสงเลเซอร์เป็นรูปเสนอเพื่อให้บรรลุเว็บไซต์เลือกควบคุม dewetting ของภาพยนตร์ในนาโนสเกลโครงสร้าง เป็นหลักฐานของแนวคิด , เลเซอร์กำกับ dewetting ของฟิล์มบางชนิดอะมอร์ฟัสซิลิกอนบนพื้นผิวกระจกเป็นรูปโดนัท ) การใช้แสงเลเซอร์ เมื่อรังสีของพัลส์เลเซอร์เดี่ยวซิลิคอนฟิล์มละลายและ dewets บนพื้นผิวพื้นผิว การฉายรังสีด้วยโดนัทคาน induces แหกคอกด้านข้างอุณหภูมิในหนัง ที่นำไปสู่การ thermocapillary การขนส่งของซิลิคอนหล่อ ศูนย์กลางของจุดคาน เมื่อความชื้น ลตร้าธินซิลิคอนอสัณฐานฟิล์มจะถูกเปลี่ยนไป nanodome ซิลิคอนผลึกของเพิ่มความสูงการเปลี่ยนแปลงลักษณะนี้ช่วยเพิ่มเติมมิติการลดของ nanodome เช่นเดียวกับการกำจัดของวัสดุโดยการกัดซิลิคอนแบบฟิล์มรอบ . ผลลัพธ์เหล่านี้ชี้ให้เห็นว่า เลเซอร์ที่ใช้ dewetting ของฟิล์มบางสามารถเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพเพื่อการผลิตขนาดของลวดลายนาโน .