The piezoelectric actuator/sensor i

The piezoelectric actuator/sensor is fabricated
on the deformable diaphragm as a vertical thick-film
structure, and consists of a bottom electrode, an
active PZT (Pb(Zr,Ti)O3) layer, and an upper
electrode. The PZT material for this structure is a
ferroelectric thick-film paste based on PZT 53/47
powder (PbZr0.53Ti0.47O3).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แอคชูเอเตอร์/เซ็นเซอร์ชั่นถูกประดิษฐ์บนไดอะแฟรม deformable เป็นฟิล์มหนาแนวตั้งโครงสร้าง และประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าด้านล่าง มีPZT ที่ใช้งานอยู่ (ชั้น Pb(Zr,Ti)O3) และใหญ่มีอิเล็กโทรด วัสดุ PZT สำหรับโครงสร้างนี้เป็นการวางฟิล์มหนา ferroelectric คะแนน PZT 53/47แป้ง (PbZr0.53Ti0.47O3)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

piezoelectric กระตุ้น / เซ็นเซอร์ถูกประดิษฐ์
บนไดอะแฟรม deformable เป็นฟิล์มหนาแนวตั้ง
โครงสร้างและประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าด้านล่างเป็น
PZT ที่ใช้งาน (Pb (Zr, Ti) O3) ชั้นและบน
ขั้วไฟฟ้า วัสดุ PZT สำหรับโครงสร้างนี้เป็น
วางหนาฟิล์ม ferroelectric อยู่บนพื้นฐานของ PZT 53/47
ผง (PbZr0.53Ti0.47O3)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เพียโซอิ Actuator / เซนเซอร์ ประดิษฐ์บนไดอะแฟรมเป็นแนวตั้ง โดยฟิล์มหนาโครงสร้าง ประกอบด้วยขั้วล่าง ,ปราดเปรียว PZT ( Pb ( ZR , Ti ) O3 ) ชั้น และ บนขั้วไฟฟ้า วัสดุสำหรับโครงสร้างนี้ว่าเป็นเฟอร์โรอิเล็กทริกฟิล์มหนาแปะตามวิธี 53 / 47ผง ( pbzr0.53ti0.47o3 )