We developed a simple, capacitive,

We developed a simple, capacitive, AAO (Anodic Aluminum Oxide) based humidity sensor structure with integrated heating and temperature measuring capabilities. The sensor was prepared by conventional semiconductor processing steps and an additional electrochemical oxidation of a deposited thin film aluminum layer. The achieved average sensitivity (approx. 2.5 pF/RH%) was one magnitude higher than the commercially available discrete capacitive sensors’. With a p-n junction below the capacitive structure we were able to heat the chip to the desired temperature. At the same time the temperature was calculated form the measured forward voltage using calibration data. The integrated heating enabled the study of the sensing mechanism at different sensor temperatures and was also useful for eliminating the drift (“reset the sensor”) caused by measurements at high humidity and several days of storage at room-conditions.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เราพัฒนาง่าย ควบคุม AAO (Anodic อลูมิเนียมออกไซด์) โดยความชื้นเซ็นเซอร์โครงสร้างเครื่องทำความร้อนรวมและวัดความสามารถ การเซ็นเซอร์ถูกเตรียมจากสารกึ่งตัวนำธรรมดาที่ประมวลผลขั้นตอนการออกซิเดชันทางเคมีไฟฟ้าเพิ่มเติมของชั้นอลูมิเนียมฟิล์มบางนำฝาก ความไวเฉลี่ยทำได้ (ประมาณ 2.5 pF/RH%) มีขนาดสูงกว่าใช้ได้ในเชิงพาณิชย์แยกกันควบคุมเซนเซอร์ของหนึ่ง กับ p-n เชื่อมต่อด้านล่างโครงสร้างควบคุม เราไม่สามารถความร้อนอุณหภูมิต้องการชิป ขณะเดียวกันอุณหภูมิไม่ได้เป็นการวัดแรงดันไปข้างหน้าโดยใช้ข้อมูลการปรับเทียบ ความร้อนรวมเปิดการศึกษากลไก sensing ที่อุณหภูมิเซนเซอร์ต่าง ๆ และยังเป็นประโยชน์สำหรับดริฟท์ ("รีเซ็ตการเซ็นเซอร์") เกิดจากการวัดที่ความชื้นสูงและหลายวันของการจัดเก็บที่ห้องพักเงื่อนไขการตัด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เราได้พัฒนาง่าย capacitive, AAO (ขั้วบวกอลูมิเนียมออกไซด์) โครงสร้างเซ็นเซอร์ความชื้นตามที่มีความร้อนแบบบูรณาการและความสามารถในการวัดอุณหภูมิ เซ็นเซอร์ถูกจัดทำขึ้นโดยขั้นตอนการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์แบบธรรมดาและการเกิดออกซิเดชันไฟฟ้าที่เพิ่มขึ้นของอลูมิเนียมชั้นฟิล์มบางฝาก ประสบความสำเร็จไวเฉลี่ย (ประมาณ. 2.5 pF / RH%) เป็นหนึ่งในขนาดที่สูงกว่าเซ็นเซอร์ capacitive ที่ไม่ต่อเนื่องในเชิงพาณิชย์ ' ด้วยทางแยก PN ด้านล่างโครงสร้าง capacitive เราก็สามารถที่จะให้ความร้อนชิปเพื่ออุณหภูมิที่ต้องการ ในขณะเดียวกันอุณหภูมิที่คำนวณได้รูปแบบวัดแรงดันไปข้างหน้าโดยใช้ข้อมูลการสอบเทียบ ความร้อนใช้งานแบบบูรณาการการศึกษากลไกการตรวจวัดที่อุณหภูมิเซ็นเซอร์ที่แตกต่างกันและยังเป็นประโยชน์สำหรับการขจัดลอย ("ตั้งค่าเซ็นเซอร์") ที่เกิดจากการวัดที่มีความชื้นสูงและเป็นเวลาหลายวันในการจัดเก็บที่ห้องพักเงื่อนไข

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เราพัฒนาง่าย capacitive aao ( อลูมิเนียมออกไซด์ anodic ) ตามโครงสร้างเซ็นเซอร์ความชื้นกับความร้อนและอุณหภูมิแบบบูรณาการความสามารถในการวัด เซ็นเซอร์ที่ถูกเตรียมไว้ โดยขั้นตอนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบปกติ และ เพิ่มไฟฟ้าออกซิเดชันของฝากชั้นอลูมิเนียมฟิล์มบาง มีความไวปานกลาง ( ประมาณ 25 ทำไม PF / ความชื้นสัมพัทธ์ร้อยละหนึ่งขนาดสูงกว่าในเชิงพาณิชย์แบบ capacitive เซ็นเซอร์ ' ด้วยโครงสร้างแบบรอยต่อพีเอ็นที่เป็นสารกึ่งตัวนำด้านล่างเราสามารถให้ความร้อนถึงอุณหภูมิที่ต้องการชิป . ในเวลาเดียวกันมีอุณหภูมิที่คำนวณแบบวัดแรงดันไปข้างหน้าโดยใช้ข้อมูลการสอบเทียบระบบความร้อนใช้ศึกษากลไกในการตรวจวัดอุณหภูมิเซ็นเซอร์ที่แตกต่างกัน และยังมีประโยชน์สำหรับการ Drift ( " ตั้งค่าตัว " ) ที่เกิดจากการวัดที่ความชื้นสูง และหลายวันของกระเป๋าที่สภาพห้อง